采用冰模板制作横截面为倒梯形结构微图案的方法技术

本发明专利技术提供了采用冰模板制作横截面为倒梯形结构微图案的方法。采用软印刷中毛细微模塑的方法，在基底表面制作具有正梯形横截面的冰薄膜微图案。将其浸渍与水不相混溶的聚合物有机溶液，有机溶剂挥发过程中，聚合物有机溶液在冰薄膜微图案表面去润湿，得到与冰薄膜图案互补的聚合物溶液薄膜图案。最后冰熔化成水并挥发，在基底表面留下具有与冰薄膜微图案三维形貌互补的具有倒梯形横截面的聚合物薄膜微图案。本发明专利技术的方法使用简单的软印刷和冷冻设备，工艺简单。采用了纯水形成的冰模板作为倒梯形结构的互补结构进行图案传递，对可图案化的介质材料普适性更强，冰模板更容易除去，有效降低对环境的污染。得到了精度为５微米的图案，加工精度较高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
采用冰模板制作横截面为倒梯形结构微图案的方法，其步骤和条件如下：　１）、选择表面图形横截面为正梯形结构的聚二甲基硅氧烷软模板，将聚二甲基硅氧烷软模板放置到基底上，聚二甲基硅氧烷软模板和基底之间形成毛细沟道；将水滴加到毛细沟道端口处，待水在 毛细力的作用下流进毛细沟道后，将聚二甲基硅氧烷软模板和基底一起放置在零下２０至零下５℃的冰箱中，使水冷却形成冰；所述的基底是玻璃或具有铟锡氧化物镀膜的玻璃；　２）、将聚二甲基硅氧烷软模板与基底剥离，得到表面具有冰薄膜图案的基底，然后将基底 浸渍到质量浓度为０．２％－５％的聚合物的有机溶液中，而后取出；所述的聚合物是聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚乙烯或聚丙烯；溶剂是氯仿、四氯化碳、二硫化碳、三氯乙烯、均二氯乙烯、均四氯乙烷或二氯乙烷；　３）、将步骤２）处理后得到的基底放置于室 温中，使有机溶剂和冰模板熔化的水挥发，基底上得到具有倒梯形横截面的聚合物薄膜微图案。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：韩艳春，薛龙建，邢汝博，
申请(专利权)人：中国科学院长春应用化学研究所，
类型：发明
国别省市：82[]