吸附仪气路系统技术方案

技术编号:38295437 阅读:14 留言:0更新日期:2023-07-28 23:59
本实用新型专利技术涉及物理吸附仪领域,具体提供一种吸附仪气路系统,旨在解决现有比表面积及孔径分析仪对空气压力的控制不够精准的问题。为此目的,本实用新型专利技术的吸附仪气路系统包括进气室、样品室、抽真空装置、真空室和外气室,抽真空装置的吸气端与真空室相连通,外气室包括缓冲腔,缓冲腔包括第一气口和第二气口,第一气口分别与进气室和真空室相连通,第二气口与样品室相连通,外气室还包括与缓冲腔连通且交叉设置的扩容腔。上述设置方式,能够控制空气压力在很小的范围内波动,使得获得的压力更为精准。精准。精准。

【技术实现步骤摘要】
吸附仪气路系统


[0001]本技术涉及物理吸附仪领域,具体提供一种吸附仪气路系统。

技术介绍

[0002]比表面积及孔径分析仪就是在一个密闭的真空系统中,将样品管置于液氮杜瓦瓶中,改变样品管总氮气压力,使粉体样品在不同的氮气压力下吸附氮气至饱和,用高精密压力传感器测出样品吸附前后样品室中氮气压力的变化,再根据气体状态方程计算出气体的吸附量,进而进行比表面计算或孔径分析的仪器。
[0003]要想实现上述过程,就需要在这个仪器实现诸如抽真空、精准充气等功能,所以既要将这几个部分独立出来,又需要结构部分的相互连接实现上述功能,外气室就是这个真空系统中连接样品管、真空室、进气管的中间部分。
[0004]现有的外气室结构通常较为复杂,从而导致比表面积及孔径分析仪对空气压力的控制不够精准,进而导致测量的吸附量存在偏差。
[0005]相应地,本领域需要一种新的吸附仪气路系统来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术旨在解决上述技术问题,即,解决现有比表面积及孔径分析仪对空气压力的控制不够精准的问题。
[0007]在第一方面,本技术提供一种吸附仪气路系统,其特征在于,所述吸附仪气路系统包括:进气室;样品室;真空室和抽真空装置,所述抽真空装置的吸气端与所述真空室相连通;外气室,所述外气室包括缓冲腔,所述缓冲腔包括第一气口和第二气口,所述第一气口分别与所述进气室和所述真空室相连通,所述第二气口与所述样品室相连通,所述外气室还包括与所述缓冲腔连通且交叉设置的扩容腔。
[0008]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述缓冲腔与所述扩容腔形成的结构为十字形或T字型结构。
[0009]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述外气室上的电磁阀仅包括设置于所述第一气口的第一电磁阀和设置于所述第二气口的第二电磁阀。
[0010]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述缓冲腔的中部设置有压力传感器。
[0011]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述压力传感器的数量为多个且量程不同。
[0012]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述缓冲腔的中部设置有用于测量所述缓冲腔内部气体温度的温度传感器。
[0013]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述吸附仪气路系统还包括公共气室,所述真空室和所述进气室均通过所述公共气室与所述第一气口相连通。
[0014]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述真空室包括多个并联的支管,各
个所述支管的第一端均与所述第一气口相连通,各个所述支管的第二端与所述吸气端相连通,每个所述支管上均设有真空阀,其中一个所述支管上设有分子泵。
[0015]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述进气室包括氦气管和吸附质气体管,所述氦气管和所述吸附质气体管均与所述第一气口相连通,所述氦气管上设有第一进气阀,所述吸附质气体上设有第二进气阀。
[0016]在上述吸附仪气路系统的优选技术方案中,所述吸附仪气路系统还包括检测管和真空管,所述检测管的一端与所述吸附质气体管相连通,另一端与所述样品室能够同时浸入杜瓦瓶中,所述检测管上设有第三进气阀,所述第三进气阀与所述另一端之间设有压力传感器,所述真空管的第一端连通于所述第三进气阀与所述另一端之间,所述真空管的第二端与所述吸气端相连通,所述真空管上设有真空阀。
[0017]本领域技术人员可以理解的是,本技术的吸附仪气路系统包括进气室、样品室、抽真空装置、真空室和外气室,抽真空装置的吸气端与真空室相连通,外气室包括缓冲腔,缓冲腔包括第一气口和第二气口,第一气口分别与进气室和真空室相连通,第二气口与样品室相连通,外气室还包括与缓冲腔连通且交叉设置的扩容腔。此种结构使得外气室只有两个方向、基本没有死角,且还能够对外气室进行扩容,从而在进气时能够控制空气压力在很小的范围内波动,使得获得的压力更为精准,从而能够更加精确地测量吸附质气体吸附量,提高检测精度。
附图说明
[0018]下面结合附图来描述本技术的优选实施方式,附图中:
[0019]图1是本技术的吸附仪气路系统的结构示意图;
[0020]图2是本技术的吸附仪气路系统的微孔模块示意图(图中缓冲腔上中部的三个虚线框为压力传感器安装位,其余虚线框均为电磁阀位)。
[0021]附图标记列表:
[0022]10

进气室;101

氦气管;102

吸附质气体管;11

第一进气阀;12

第二进气阀;20

样品室;30

真空室;301

支管;31

第一真空阀;32

第二真空阀;33

第三真空阀;34

分子泵;35

真空泵;40

外气室;41

缓冲腔;42

扩容腔;43

第一电磁阀;44

第二电磁阀;45

压力传感器;46

第一气口;47

第二气口;50

检测管;51

第三进气阀;52

真空管;53

真空阀;60

公共气室。
具体实施方式
[0023]需要说明的是,在本技术的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]此外,还需要说明的是,在本技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]如图1和图2所示,为了解决现有比表面积及孔径分析仪对空气压力的控制不够精
准的问题。本技术提供了一种吸附仪气路系统,该吸附仪气路系统包括进气室10、样品室20、抽真空装置、真空室30和外气室40,抽真空装置的吸气端与真空室30相连通,外气室40包括缓冲腔41,缓冲腔41包括第一气口46和第二气口47,第一气口46分别与进气室10和真空室30相连通,缓冲腔41的第二气口47与样品室20相连通,外气室40还包括与缓冲腔41连通且交叉设置的扩容腔42。优选地,缓冲腔41与扩容腔42形成的结构为十字形结构,也就是说,缓冲腔41和扩容腔42均为直管,缓冲腔41的中间部分与扩容腔42的中间部分连通,缓冲腔41与扩容腔42可以垂直或近似垂直设置,可以理解的是,扩容腔42的两端封闭。其中,抽真空装置优选本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸附仪气路系统,其特征在于,所述吸附仪气路系统包括:进气室;样品室;真空室和抽真空装置,所述抽真空装置的吸气端与所述真空室相连通;外气室,所述外气室包括缓冲腔,所述缓冲腔包括第一气口和第二气口,所述第一气口分别与所述进气室和所述真空室相连通,所述第二气口与所述样品室相连通,所述外气室还包括与所述缓冲腔连通且交叉设置的扩容腔。2.根据权利要求1所述的吸附仪气路系统,其特征在于,所述缓冲腔与所述扩容腔形成的结构为十字形或T字型结构。3.根据权利要求1所述的吸附仪气路系统,其特征在于,所述外气室上的电磁阀仅包括设置于所述第一气口的第一电磁阀和设置于所述第二气口的第二电磁阀。4.根据权利要求1所述的吸附仪气路系统,其特征在于,所述缓冲腔的中部设置有压力传感器。5.根据权利要求4所述的吸附仪气路系统,其特征在于,所述压力传感器的数量为多个且量程不同。6.根据权利要求1所述的吸附仪气路系统,其特征在于,所述缓冲腔的中部设置有用于测量所述缓冲腔内部气体温度的温度传感器。7.根据权利要求1所述的吸附仪气路系统...

【专利技术属性】
技术研发人员:范叶荣张福丽邬宝峰鲁毓柱刘小娟
申请(专利权)人:北京精微高博仪器有限公司
类型:新型
国别省市:

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