利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的粉末处理用等离子体装置中层积配置多个平板型且多孔性结构的过滤器电极，能够极大化一次可处理的处理容量，因此可提高处理效率。并且，利用吸附单元将粉末吸附于过滤器电极的表面的同时利用振动发生器向过滤器电极施加振动，粉末从而能够在过滤器电极的表面均匀地分散混合，因此能够对粉末均匀地进行表面处理。地进行表面处理。地进行表面处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置


[0001]本专利技术涉及利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，更具体来讲涉及通过将纳米或微米大小的粉末分散吸附在多孔性且平板形态的过滤器电极上，能够更均匀地进行表面处理的粉末表面处理用等离子体装置。

技术介绍

[0002]一般来讲，碳纳米管、石墨烯等碳纳米粉末材料虽然具有优异的物性，但容易相互凝聚，因此为了实现商业化必须有用于均匀混合到母材或溶剂的分散技术。
[0003]现有分散技术可区分为研磨等机械方式、利用化学反应的湿式方式及利用等离子体的干式方式等。
[0004]机械方式或湿式方式存在工序复杂、工序时间长、材料损伤、杂质残留、产生废水等问题。
[0005]相反，干式等离子体方式是一种在考虑量产性、环境亲和性等的情况下受欢迎的方法，但存在如下问题，即，必须具备为了对碳纳米粉末进行等离子体表面处理而均匀地混合碳纳米粉末的旋转、搅拌等装置，粉末大小越小，越难以实现均匀的表面处理，功能化效率越低，处理时间越长。
[0006]近来，在干式方式中采用利用旋转或搅拌等机械方法，均匀地混合粉末的技术，但存在难以均匀、高效地等离子体处理腔体中悬浮的大量粉末的问题。

技术实现思路

[0007]技术问题
[0008]本专利技术的目的是提供能够均匀地处理纳米粉末、缩短处理时间且提高处理容量的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置。
[0009]技术方案
[0010]根据本专利技术的一个方面的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置包括：腔体，其形成生成等离子体的空间；过滤器电极，其设置于所述腔体的内部，形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；吸附单元，其通过降低所述过滤器电极的内部压力在所述过滤器电极的表面吸附所述粉末；以及振动发生器，其设置于所述腔体和所述过滤器电极中任意一个，对所述过滤器电极向上下方向和水平方向中至少一个方向施加振动以在所述过滤器电极的表面分散所述粉末。
[0011]所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括粉末喷射器，所述粉末喷射器配置于每个所述相隔空间，向所述相隔空间供应所述粉末使得所述粉末吸附于所述过滤器电极的上面、下面。
[0012]所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括粉末喷射器，所述粉末喷射器设置成能够沿着所述相隔空间移动，向每个所述相隔空间连续地供应
所述粉末使得所述粉末吸附于所述过滤器电极的上面、下面。
[0013]还包括：支架(Rack)，其设置于所述腔体的内部，形成为卡入所述多个过滤器电极；以及冲击吸收部件，其设置于所述支架和所述过滤器电极之间，在所述过滤器电极振动时吸收冲击。
[0014]所述吸附单元包括：真空泵，其从所述多个过滤器电极的各下部吸入空气将所述过滤器电极的各内部形成为真空状态；以及真空流道，其连接所述真空泵和所述多个过滤器电极的各下部。
[0015]所述吸附单元包括：真空泵，其吸入所述过滤器电极的内部空气以将所述过滤器电极的内部形成为真空状态。
[0016]所述过滤器电极包括：上面过滤器部，其形成上面且形成为多孔性结构；下面过滤器部，其形成下面且形成为多孔性结构；以及真空部，其形成于所述上面过滤器部和所述下面过滤器部之间，通过所述真空泵成为真空状态。
[0017]所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括向所述多个过滤器电极之间的相隔空间供应所述粉末的粉末喷射器。
[0018]所述振动发生器包括音响振动模块，其通过发生音响且使得共振施加音响振动。
[0019]所述振动发生器包括超声波振子，其通过发生超声波施加振动。
[0020]所述粉末包括纳米或微米大小的粉末。
[0021]根据本专利技术的另一方面的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置包括：腔体，其形成生成等离子体的空间；过滤器电极，其设置于所述腔体的内部，形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；吸附单元，其通过降低所述过滤器电极的内部压力在所述过滤器电极的表面吸附所述粉末；以及振动发生器，其设置于所述腔体和所述过滤器电极中任意一个，对所述过滤器电极向上下方向和水平方向中至少一个方向施加振动以在所述过滤器电极的表面分散所述粉末，所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，所述吸附单元包括：真空泵，其吸入所述多个过滤器电极的内部空气将所述过滤器电极的各内部形成为真空状态；以及真空流道，其连接所述真空泵和所述多个过滤器电极，所述振动发生器包括分别设置于所述过滤器电极，发生超声波进行振动的超声波振子。
[0022]所述粉末包括纳米或微米大小的粉末。
[0023]根据本专利技术的又一方面的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置包括：腔体，其形成生成等离子体的空间；过滤器电极，其设置于所述腔体的内部，形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；吸附单元，其通过降低所述过滤器电极的内部压力在所述过滤器电极的表面吸附粉末；以及振动发生器，其设置于所述腔体和所述过滤器电极中任意一个，对所述过滤器电极向上下方向和水平方向中至少一个方向施加振动以在所述过滤器电极的表面分散所述粉末，所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，所述吸附单元包括：真空泵，其设置于所述腔体，吸入所述多个过滤器电极的内部空气将所述过滤器电极的各内部形成为真空状态；以及真空流道，其连接所述真空泵和所述多个过滤器电极，所述振动发生器包括音响振动模块，所述音响振动模块分别设置于所述过滤器电极，发生音响且使得共振以发生音响振动。
[0024]所述粉末包括纳米或微米大小的粉末。
[0025]根据本专利技术的又一方面的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置包括：过滤器电极，其形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对纳米或微米大小的粉末进行表面处理使得功能化；振动发生器，其通过向所述过滤器电极施加振动，在所述过滤器电极的表面振动分散所述粉末；以及吸附单元，其通过减小所述过滤器电极的内部压力将粉末吸附于所述过滤器电极的表面，以此防止所述振动分散的所述粉末从所述过滤器电极向外部脱落。
[0026]所述振动发生器包括通过发生超声波施加振动的超声波振子和通过发生音响且使得共振施加音响振动的音响振动模块中至少一个。
[0027]所述吸附单元包括真空泵，其吸入所述过滤器电极的内部空气将所述过滤器电极的内部形成为真空状态。
[0028]所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极彼此具有相隔空间。
[0029]本专利技术的又一方面的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置包括：过滤器电极，其形成为具有多孔性结构的平板，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；接地电极，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，包括：腔体，其形成生成等离子体的空间；过滤器电极，其设置于所述腔体的内部，形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；吸附单元，其通过降低所述过滤器电极的内部压力在所述过滤器电极的表面吸附所述粉末；以及振动发生器，其设置于所述腔体和所述过滤器电极中任意一个，对所述过滤器电极向上下方向和水平方向中至少一个方向施加振动以在所述过滤器电极的表面分散所述粉末。2.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中：所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括粉末喷射器，所述粉末喷射器配置于每个所述相隔空间，向所述相隔空间供应所述粉末使得所述粉末吸附于所述多个过滤器电极的上面、下面。3.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中：所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括粉末喷射器，所述粉末喷射器设置成能够沿着所述相隔空间移动，向每个所述相隔空间连续地供应所述粉末使得所述粉末吸附于所述多个过滤器电极的上面、下面。4.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，还包括：支架(Rack)，其设置于所述腔体的内部，形成为卡入所述多个过滤器电极；以及冲击吸收部件，其设置于所述支架和所述过滤器电极之间，在所述过滤器电极振动时吸收冲击。5.根据权利要求2所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，所述吸附单元包括：真空泵，其从所述多个过滤器电极的各下部吸入空气将所述过滤器电极的各内部形成为真空状态；以及真空流道，其连接所述真空泵和所述多个过滤器电极的各下部。6.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，所述吸附单元包括：真空泵，其吸入所述过滤器电极的内部空气以将所述过滤器电极的内部形成为真空状态。7.根据权利要求6所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，所述过滤器电极包括：上面过滤器部，其形成上面且形成为多孔性结构；下面过滤器部，其形成下面且形成为多孔性结构；以及真空部，其形成于所述上面过滤器部和所述下面过滤器部之间，通过所述真空泵成为真空状态。8.根据权利要求7所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其
中：所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，还包括向所述多个过滤器电极之间的相隔空间供应所述粉末的粉末喷射器。9.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，所述振动发生器包括：音响振动模块，其通过发生音响且使得共振施加音响振动。10.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中，所述振动发生器包括：超声波振子，其通过发生超声波施加振动。11.根据权利要求1所述的利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，其中：所述粉末包括纳米或微米大小的粉末。12.一种利用平板型过滤器电极的粉末表面处理用等离子体装置，包括：腔体，其形成生成等离子体的空间；过滤器电极，其设置于所述腔体的内部，形成为平板形状且具有多孔性结构，被施加电源时生成等离子体对粉末进行表面处理使得功能化；吸附单元，其通过降低所述过滤器电极的内部压力在所述过滤器电极的表面吸附所述粉末；以及振动发生器，其设置于所述腔体和所述过滤器电极中任意一个，对所述过滤器电极向上下方向和水平方向中至少一个方向施加振动以在所述过滤器电极的表面分散所述粉末，所述过滤器电极层积配置成多个过滤器电极相互具有相隔空间，所述吸附单元包括：真空泵，其吸入所述多个过滤器电极的内部空气将所述过滤器电极的各内部形成为真空状态；以及真空流道，其连接所述真空泵和所述多个过滤器电极，所述振动发...

【专利技术属性】
技术研发人员：李悳渊，李昶荣，李慈殷，韩莲妃，
申请(专利权)人：伊诺普拉斯泰克有限公司，
类型：发明
国别省市：