一种用于风囊泵的换向阀及控制方法技术

本发明专利技术公开了一种用于风囊泵的换向阀，包括阀体、阀杆套和阀杆，阀体内纵向设置有阀腔，阀体位于阀腔上中下分别设置有第一气体流道、外接进气端和第二气体流道；阀杆套固定设置在阀腔内，沿着阀杆套径向分别设置有与外接进气端连通的第一气孔、与第一气体流道连通的第二气孔以及与第二气体流道连通的第三气孔；阀杆滑动连接在阀杆套内，阀杆沿着其轴向的外圆周设置有第一环形凹槽和第二环形凹槽，阀杆上下移动可通过第一环形凹槽连接第一气孔和第二气孔或通过第二环形凹槽连接第一气孔和第三气孔。本发明专利技术的换向阀可实现外接气源的流动方向切换，与风囊泵协同性好，在风囊泵部分结构发生故障时停止动作，降低风囊泵的二次损害风险。险。险。

【技术实现步骤摘要】
一种用于风囊泵的换向阀及控制方法


[0001]本专利技术涉及阀泵装置，尤其涉及一种用于风囊泵的换向阀及控制方法。

技术介绍

[0002]目前，国内半导体等行业中控制强酸、强碱等高腐蚀性流体状态的泵阀高度依赖进口，国内尚无可靠耐用的自动切换方向阀泵产品进行国产技术替代。为实现半导体等行业制程中，利用电磁阀切换方向与风囊泵配合实现高腐蚀流体输送的可控性、密封性、耐用性。现有的采用逻辑电路控制电磁阀切换方向实现风囊泵的工作，该过程中容易产生以下问题：（1）需要用逻辑电路控制电磁阀切换方向时，风囊泵才能切换工作方向；（2）当风囊泵局部故障时不能识别停止工作，电磁阀会继续切换工作方向，容易加重风囊泵的损伤；（3）该种阀泵组件受限于电子元件使用，故障率高，且生产成本高。

技术实现思路

[0003]专利技术目的：本专利技术的目的是提供一种用于风囊泵的换向阀及控制方法，降低提高风囊泵逻辑切换控制安全性能。
[0004]技术方案：本专利技术所述的一种用于风囊泵的换向阀，所述换向阀包括：阀体，所述阀体内纵向设置有阀腔，所述阀体位于阀腔上下端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于风囊泵的换向阀，其特征在于，所述换向阀（2）包括：阀体（21），所述阀体（21）内纵向设置有阀腔（211），所述阀体（21）位于阀腔上下端两侧分别设置有第一气体流道（212）、第二气体流道（213），且阀体（21）位于第一气体流道（212）和第二气体流道（213）之间设置有外接进气端（22）；阀杆套（23），所述阀杆套（23）固定设置在阀腔（211）内；沿着所述阀杆套（23）径向分别设置有与外接进气端（22）连通的第一气孔（231）、与第一气体流道（212）连通的第二气孔（232）以及与第二气体流道（213）连通的第三气孔（233）；阀杆（24），所述阀杆（24）上下滑动连接在阀杆套（23）内；所述阀杆（24）沿着其轴向的外圆周设置有第一环形凹槽（241）和第二环形凹槽（242），所述阀杆（24）上下移动可通过第一环形凹槽（241）连接第一气孔（231）和第二气孔（232）或通过第二环形凹槽（242）连接第一气孔（231）和第三气孔（233）切换气体流动路径。2.根据权利要求1所述的用于风囊泵的换向阀，其特征在于，所述阀体（21）位于阀腔（211）上下端分别密封连接有密封件（25），所述密封件（25）内设置有气体过孔。3.根据权利要求1所述的用于风囊泵的换向阀，其特征在于，所述阀杆套（23）长度大于所述阀杆（24）长度，且阀杆套（23）上下端圆周分别设置有第四气孔（234）、第五气孔（235），且阀体（21）上分别与第四气孔（234）、第五气孔（235）对应设置有排气消声组件（26）。4.根据权利要求3所述的用于风囊泵的换向阀，其特征在于，所述阀腔（211）沿着其内壁圆周向设有与第一气孔（231）...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓飞，杨鹏，裴嘉宁，
申请(专利权)人：南京华榕微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：