本实用新型专利技术公开了一种硅片废水回用处理装置，包括进水检测分流子系统、低氟回收子系统和微氟回收子系统，低氟回收子系统用于对低氟酸性废液处理，微氟回收子系统用于对微氟碱性废液处理，利用不同回收系统可协同应对不同生产废水情况，且各自保持稳定运行性能，低氟回收子系统和微氟回收子系统无需添加除氟药剂，可同时去除氟、磷及酸碱等废水污染物，本实用新型专利技术本不仅无需除氟药剂、极少泥渣，而且不易污堵、废水循环利用率70％以上。废水循环利用率70％以上。废水循环利用率70％以上。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片废水回用处理装置
[0001]本技术涉及一种硅片废水回用处理装置，属于工业废水处理回用与节水工程应用领域。
技术介绍
[0002]半导体与集成电路芯片技术是现代信息产业发展的核心，随着5G网、物联网、人工智能的崛起，手机、电脑、汽车等先导性产业驱动着国内半导体需求的持续增长，随之而来的能源和水资源紧张的压力也与日俱增。生产废水的有效处理和循环利用成为当下企业清洁生产的关键环节，节水减排并提高用水效率，这对促进行业健康可持续发展至关重要。
[0003]光伏半导体行业生产过程中，涉及到硅片切割、研磨、清洗、刻蚀等环节，都会使用大量的高纯水或超纯水，同时，硅晶圆制程中会排出大量硅片废水，其突出污染物为氢氟酸、盐酸、氢氧化钠和悬浮物。这类废水水量较大，有机物污染较轻，氟离子浓度不超过200mg/L，而其中氟低于100mg/L的废水占到60
‑
75%，如何提高这部分废水的回收利用率，成为行业研究热点。
[0004]但目前技术存在的问题是：酸碱废水、含氟废水混排不分，混和收集后不分浓度高低的混合处理，常规的处理工艺有酸碱中和、石灰混凝沉淀除氟，综合废水处理面临“三大一难”问题：水量大，加药量大，污泥量大、回用难。现有工艺物化处理后，废水中的盐分很高，尤其是钙离子，是中水回用系统的致命缺陷，往往只能满足氟离子的排放要求，而废水循环利用率很低，造成大量可重复利用的水资源浪费。因此，针对传统方法的局限，面对行业的水资源供需矛盾，亟待开发一套解决光伏半导体行业清洗废水的回用处理系统及方法。/>
技术实现思路
[0005]技术目的：为解决硅片废水回用困难的问题，本技术提供一种无需除氟药剂、极少泥渣、不易污堵、废水循环利用率70%以上、操作又简便的硅片废水回用处理装置。
[0006]技术方案：为实现上述目的，本技术采用的技术方案为：
[0007]一种硅片废水回用处理装置，包括进水检测分流子系统、低氟回收子系统和微氟回收子系统，所述进水检测分流子系统分别与低氟回收子系统和微氟回收子系统连接，其中：
[0008]所述进水检测分流子系统用于将硅片废水分为低氟酸性废水和微氟碱性废水，将低氟酸性废水通入到低氟回收子系统中，将微氟碱性废水通入到微氟回收子系统中。
[0009]所述低氟回收子系统用于对低氟酸性废水进行脱氟回用处理。
[0010]所述微氟回收子系统用于对微氟碱性废水进行脱氟回用处理。
[0011]优选的：所述低氟回收子系统包括依次连接的第一分水池、第一过滤器、第一原水箱、第一筒式自净器、第一超滤膜组、第一超滤产水箱、第一脱盐膜单元、第一回用水箱。所
述第一超滤膜组连接有UF化学清洗水箱，所述第一脱盐膜一连接有RO化学清洗水箱。所述第一原水箱通过第一过滤反洗进水管123与第一过滤器进行反洗连接。所述第一过滤反洗进水管上设置有第一过滤反洗泵。
[0012]优选的：所述微氟回收子系统包括依次连接的第二分水池、第二过滤器、第二原水箱、第二筒式自净器、第二超滤膜组、第二超滤产水箱、第二脱盐膜单元、第二回用水箱。
[0013]优选的：所述进水检测分流子系统包括进水管、低氟回收水管支路、微氟回收水管支路，所述低氟回收水管支路、微氟回收水管支路并联在进水管上，所述进水管上设置有监测仪表pH计和氟计，所述低氟回收水管支路上设置有低氟酸性废水管和高氟酸性废水管，所述低氟酸性废水管上设置有第一分水阀一，所述高氟酸性废水管上设置有第一分水阀二。所述微氟回收水管支路设置有微氟碱性废水管和碱性废水输送管，所述微氟碱性废水管上设置有第二分水阀一，所述碱性废水输送管上设置有第二分水阀二。监测仪表pH计和氟计与第一分水阀一、第一分水阀二、第二分水阀一、第二分水阀二联动连接。
[0014]优选的：所述低氟回收水管支路与第一分水池连接，所述碱性废水输送管与第一分水池连接。所述第一原水箱通过第一过滤反洗进水管与第一过滤器进行反洗连接，所述第一超滤膜组通过UF化学清洗回流管回流到UF化学清洗水箱内，所述UF化学清洗水箱通过UF化学清洗进水管流入第一超滤膜组内。所述第一超滤膜组通过第一超滤膜组错流管回流到第一分水池。
[0015]优选的：所述第一脱盐膜单元包括依次连接的第一脱盐膜一、第一脱盐膜二，所述第一脱盐膜二通过第一RO透过液回流管回流到RO化学清洗水箱内，所述第一脱盐膜二通过第一RO化学清洗回流管回流到RO化学清洗水箱内，所述第一脱盐膜二通过第一RO不合格回流管回流到第一超滤产水箱内，所述第一脱盐膜二通过第一快冲排水管回流到第一分水池内，所述第一回用水箱通过第一快冲进水管与第一脱盐膜一冲洗端口连接。
[0016]优选的：所述UF化学清洗水箱内设置有UF化学清洗加热器，所述UF化学清洗水箱上设置有UF化学清洗加药管，所述UF化学清洗进水管上设置有UF化学清洗泵、UF化学清洗进水自动阀。所述UF化学清洗回流管上设置有UF化学清洗回流自动阀。所述第一超滤产水箱通过第一超滤膜组反洗进水管与第一超滤膜组反洗连接。所述RO化学清洗水箱内设置有RO化学清洗加热器。
[0017]优选的：所述微氟回收水管支路与第二分水池连接，所述第二原水箱通过第二过滤反洗进水管与第二过滤器进行反洗连接，所述第二超滤膜组通过第二超滤膜组错流管回流到第二分水池，所述第二超滤产水箱通过第二超滤膜组反洗进水管与第二超滤膜组反洗连接。
[0018]所述第二脱盐膜单元包括依次连接的第二脱盐膜一、第二脱盐膜二，所述第二脱盐膜二通过第二RO不合格回流管回流到第二超滤产水箱内，所述第二脱盐膜二通过第二快冲排水管回流到第二分水池内，所述第二回用水箱通过第二快冲进水管与第二脱盐膜一冲洗端口连接。
[0019]本技术相比现有技术，具有以下有益效果：
[0020]1.本技术在废水源头实时监测，反馈速度快，废水分质收集和回收处理，不同回收系统可协同应对不同生产废水情况，且各自保持稳定运行性能，单套系统产水连续工作效率达到93.5%以上。
[0021]2.本技术分水和回用水系统精细，多模式参数化自动控制，系统各单元按照内置程序自动运行，并可根据运行工况实时调节，人工操作极少，能实现废水梯级化回用，满足各级回用水质要求。
[0022]3.本技术微氟和低氟回收系统无需添加除氟药剂，可同时去除氟、磷及酸碱等废水污染物，药剂成本低，污泥产量少，并且实现废水循环利用，可减少废水站60
‑
70%以上的硅片废水处理量，同时节省自来水用量60%以上。
[0023]4.本技术可解决光伏、半导体、金属表面处理等行业的清洗废水处理及回用的难题，适用范围广，可去除氟离子、重金属离子、磷酸盐等环境敏感污染物，在以膜滤和膜清洗的自控程序系统下，实现了废水资源最大化。
附图说明
[0024]图1为低氟回收子系统回收工艺流程图。
[0025]图2为微氟回收子系统回收工艺流程图。
[0026]附图标记说明：
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片废水回用处理装置，其特征在于：包括进水检测分流子系统、低氟回收子系统和微氟回收子系统，所述进水检测分流子系统分别与低氟回收子系统和微氟回收子系统连接，其中：所述进水检测分流子系统用于将硅片废水分为低氟酸性废水和微氟碱性废水，将低氟酸性废水通入到低氟回收子系统中，将微氟碱性废水通入到微氟回收子系统中；所述低氟回收子系统用于对低氟酸性废水进行脱氟回用处理；所述微氟回收子系统用于对微氟碱性废水进行脱氟回用处理。2.根据权利要求1所述硅片废水回用处理装置，其特征在于：所述低氟回收子系统包括依次连接的第一分水池（11）、第一过滤器（12）、第一原水箱（13）、第一筒式自净器（14）、第一超滤膜组（15）、第一超滤产水箱（16）、第一脱盐膜单元、第一回用水箱（18）；所述第一超滤膜组（15）连接有UF化学清洗水箱（41），第一脱盐膜一（171）连接有RO化学清洗水箱（42）；所述第一原水箱（13）通过第一过滤反洗进水管（123）与第一过滤器（12）进行反洗连接；所述第一过滤反洗进水管（123）上设置有第一过滤反洗泵（1231）。3.根据权利要求2所述硅片废水回用处理装置，其特征在于：所述微氟回收子系统包括依次连接的第二分水池（21）、第二过滤器（22）、第二原水箱（23）、第二筒式自净器（24）、第二超滤膜组（25）、第二超滤产水箱（26）、第二脱盐膜单元（27）、第二回用水箱（28）。4.根据权利要求3所述硅片废水回用处理装置，其特征在于：所述进水检测分流子系统包括进水管（31）、低氟回收水管支路（32）、微氟回收水管支路（33），所述低氟回收水管支路（32）、微氟回收水管支路（33）并联在进水管（31）上，所述进水管（31）上设置有监测仪表pH计和氟计，所述低氟回收水管支路（32）上设置有低氟酸性废水管（321）和高氟酸性废水管（322），所述低氟酸性废水管（321）上设置有第一分水阀一（3211），所述高氟酸性废水管（322）上设置有第一分水阀二（3221）；所述微氟回收水管支路（33）设置有微氟碱性废水管（331）和碱性废水输送管（332），所述微氟碱性废水管（331）上设置有第二分水阀一（3311），所述碱性废水输送管（332）上设置有第二分水阀二（3321）；监测仪表pH计和氟计与第一分水阀一（3211）、第一分水阀二（3221）、第二分水阀一（3311）、第二分水阀二（3321）联动连接。5.根据权利要求4所述硅片废水回用处理装置，其特征在于：所述低氟回收水管支路（32）与第一分水池（11）连接，所述碱性废水输送管（332）与第一分水池（11）连接；所述第一原水...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁香，戴美新，张子种，陈剑平，李佳蓬，
申请(专利权)人：江苏道同环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。