显示面板及其制备方法、电子装置制造方法及图纸

本申请提供一种显示面板及其制备方法、电子装置。其中，显示面板包括阵列基板、走线层和第一过孔保护层，阵列基板包括第一薄膜晶体管，第一薄膜晶体管包括第一金属层、第二金属层和第一钝化层，第一金属层和第二金属层绝缘，第一钝化层覆盖第二金属层，第一薄膜晶体管包括第一连接孔和第二连接孔，第一连接孔和第二连接孔贯穿第一钝化层厚度方向的两个表面；走线层层叠于部分第一钝化层的表面，走线层覆盖第一连接孔的孔壁并与第一金属层连接，并且走线层覆盖第二连接孔的孔壁并与第二金属层连接；第一过孔保护层填满第一连接孔和第二连接孔，且完全覆盖走线层和第一钝化层。通过设置第一过孔保护层，提高栅极驱动电路中薄膜晶体管的使用寿命。膜晶体管的使用寿命。膜晶体管的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制备方法、电子装置


[0001]本申请涉及显示
，特别是显示面板及其制备方法、电子装置。

技术介绍

[0002]TFT
‑
LCD(Thin film transistor liquid crystal display，薄膜晶体管液晶显示器)面板作为中大尺寸的主流面板，拥有成熟的工艺和技术，以及极低的材料成本和极低的终端售价，成为了大多数客户群体的首选产品。为了最小化显示面板的尺寸，已有将栅极驱动电路(Gate Driver on Array，GOA)整合在显示面板上的技术，且逐渐广泛应用。然而，整合在显示面板上的栅极驱动电路中的薄膜晶体管容易受到外部水汽腐蚀，导致显示面板的可靠性问题及显示面板使用寿命缩短。

技术实现思路

[0003]本申请的目的是提供一种显示面板及其制备方法、电子装置，可有效阻隔外部水汽腐蚀栅极驱动电路中的元件，以避免造成栅极驱动电路的运行时长及显示装置使用寿命缩短。
[0004]本申请的第一方面提供一种显示面板，包括阵列基板、走线层和第一过孔保护层，所述阵列基板包括第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括沿着厚度方向层叠设置的第一金属层、第二金属层和第一钝化层，所述第一金属层和所述第二金属层绝缘，所述第一钝化层覆盖所述第二金属层，所述第一薄膜晶体管包括第一连接孔和与所述第一连接孔间隔设置的第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔贯穿所述第一钝化层的厚度方向的两个表面；
[0005]所述走线层层叠于部分所述第一钝化层的表面，所述走线层覆盖所述第一连接孔的孔壁并与所述第一金属层连接，并且所述走线层覆盖所述第二连接孔的孔壁并与所述第二金属层连接；
[0006]所述第一过孔保护层填满所述第一连接孔和所述第二连接孔，且完全覆盖所述走线层和所述第一钝化层。
[0007]一种可能的实施方式中，所述第一钝化层包括第一子层和第二子层，所述第二子层覆盖所述第一子层背向所述第一金属层的表面，所述第一子层的沉积速率为所述第二子层的沉积速率为
[0008]所述第一子层的厚度占所述第一钝化层的总厚度的94％，所述第二子层的厚度占所述第一钝化层的总厚度的6％。
[0009]一种可能的实施方式中，所述第一过孔保护层的材料为透明有机材料。
[0010]一种可能的实施方式中，所述第一薄膜晶体管还包括第一绝缘层、第一保护层和第二保护层，所述第一保护层覆盖所述第一金属层，所述第一绝缘层覆盖所述第一保护层，所述第二保护层覆盖所述第二金属层，所述第一连接孔贯穿所述第一保护层的厚度方向的两个表面和所述第一绝缘层的厚度方向的两个表面，所述第二连接孔贯穿所述第二保护层
的厚度方向的两个表面。
[0011]一种可能的实施方式中，所述显示面板还包括像素电极和第二过孔保护层，所述阵列基板还包括第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括沿着厚度方向层叠设置的栅极、漏极和第二钝化层，所述栅极和所述漏极绝缘，所述第二钝化层覆盖所述漏极，所述第二薄膜晶体管包括第三连接孔，所述第三连接孔贯穿所述第二钝化层的厚度方向的两个表面；
[0012]所述像素电极层叠于部分所述第二钝化层的表面，所述像素电极覆盖所述第三连接孔的孔壁并与所述漏极连接；所述第二过孔保护层填满所述第三连接孔，且覆盖所述像素电极位于所述第三连接孔内的区域表面。
[0013]一种可能的实施方式中，所述第二钝化层包括第三子层和第四子层，所述第四子层覆盖所述第三子层背向所述栅极的表面，所述第三子层的沉积速率为所述第四子层的沉积速率为
[0014]所述第三子层的厚度占所述第二钝化层的总厚度的94％，所述第四子层的厚度占所述第二钝化层的总厚度的6％。
[0015]一种可能的实施方式中，所述第二过孔保护层的材料为透明有机材料。
[0016]本申请的第二方面提供一种显示装置，包括如上所述的显示面板。
[0017]本申请的第三方面提供一种显示面板的制备方法，包括如下步骤：
[0018]提供第一薄膜晶体管，包括第一金属层、第二金属层和第一钝化层，所述第一薄膜晶体管还包括第一连接孔和与所述第一连接孔间隔设置的第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔贯穿所述第一钝化层厚度方向的表面；
[0019]在所述第一钝化层背向所述第二金属层的表面形成导电层，图案化所述导电层形成走线层，所述走线层覆盖所述第一连接孔的孔壁和所述第二连接孔的孔壁，并与所述第一金属层、所述第二金属层连接；
[0020]在所述走线层背向所述第一钝化层的表面形成绝缘材料层，且所述绝缘材料层填满所述第一过孔和所述第二过孔，且完全覆盖所述走线层和所述第一钝化层背向所述第一金属层的表面，固化后的所述绝缘材料层形成第一过孔保护层。
[0021]一种可能的实施方式中，还包括提供与所述第一薄膜晶体管间隔设置的第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括栅极、漏极和第二钝化层，所述第二薄膜晶体管包括第三连接孔，所述第三连接孔贯穿所述第二钝化层厚度方向的表面；
[0022]图案化所述导电层还形成像素电极层，所述像素电极层覆盖所述第三连接孔的孔壁并与所述漏极相连接；
[0023]在所述第一钝化层的表面形成所述绝缘材料层的同时，所述绝缘材料层覆盖所述像素电极背向所述第二钝化层的表面，所述绝缘材料层还填满所述第三连接孔，且覆盖所述像素电极位于所述第三连接孔内的区域表面。
[0024]本申请的有益效果在于：栅极驱动电路包括多个第一薄膜晶体管，多个第一薄膜晶体管表面设置走线层和第一过孔保护层。走线层通过第一连接孔与第一薄膜晶体管的第一金属层连接，通过第二连接孔与第一薄膜晶体管的第二金属层连接，从而使第一金属层和第二金属层电性导通。通过走线层的表面设置第一过孔保护层，并且使第一过孔保护层填满第一连接孔和第二连接孔，并且完全覆盖第一薄膜晶体管的表面，可以防止水汽通过
第一连接孔到达第一金属层，通过第二连接孔到达第二金属层，进而避免第一金属层和第二金属层发生腐蚀。同时，第一过孔保护层还能对走线层和半导体层起保护作用，从而提高栅极驱动电路中薄膜晶体管的使用寿命。
附图说明
[0025]图1是本申请实施例提供的显示面板的结构示意图；
[0026]图2是图1所示显示面板的分解结构示意图；
[0027]图3是图2所示显示面板的栅极驱动电路的部分结构示意图；
[0028]图4是图2所示显示面板的像素电路的部分结构示意图；
[0029]图5是图3所示栅极驱动电路的部分结构的制备工艺流程图；
[0030]图6
‑
1至图6
‑
4是图5所示栅极驱动电路的部分结构的制作工艺流程中的结构示意图；
[0031]图7是图4所示像素电路的部分结构的制备工艺流程图；
[0032]图8
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1至图8
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4是图7所示像素电路的部分结构的制作工艺流程中的结构示意图。
[0033]图中各本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括阵列基板、走线层和第一过孔保护层，所述阵列基板包括第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括沿着厚度方向层叠设置的第一金属层、第二金属层和第一钝化层，所述第一金属层和所述第二金属层绝缘，所述第一钝化层覆盖所述第二金属层，所述第一薄膜晶体管包括第一连接孔和与所述第一连接孔间隔设置的第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔贯穿所述第一钝化层的厚度方向的两个表面；所述走线层层叠于部分所述第一钝化层的表面，所述走线层覆盖所述第一连接孔的孔壁并与所述第一金属层连接，并且所述走线层覆盖所述第二连接孔的孔壁并与所述第二金属层连接；所述第一过孔保护层填满所述第一连接孔和所述第二连接孔，且完全覆盖所述走线层和所述第一钝化层。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一钝化层包括第一子层和第二子层，所述第二子层覆盖所述第一子层背向所述第一金属层的表面，所述第一子层的沉积速率为所述第二子层的沉积速率为所述第一子层的厚度占所述第一钝化层的总厚度的94％，所述第二子层的厚度占所述第一钝化层的总厚度的6％。3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一过孔保护层的材料为透明有机材料。4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一薄膜晶体管还包括第一绝缘层、第一保护层和第二保护层，所述第一保护层覆盖所述第一金属层，所述第一绝缘层覆盖所述第一保护层，所述第二保护层覆盖所述第二金属层，所述第一连接孔贯穿所述第一保护层的厚度方向的两个表面和所述第一绝缘层的厚度方向的两个表面，所述第二连接孔贯穿所述第二保护层的厚度方向的两个表面。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括像素电极和第二过孔保护层，所述阵列基板还包括第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括沿着厚度方向层叠设置的栅极、漏极和第二钝化层，所述栅极和所述漏极绝缘，所述第二钝化层覆盖所述漏极，所述第二薄膜晶体管包括第三连接孔，所述第三连接孔贯穿所述第二钝化层的厚度方向的两个表面；所述像素电极层叠于部分所述第二钝化层的表面，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙松，刘凯军，卢劲松，袁海江，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：