泄漏检查装置及泄漏检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种泄漏检查方法及泄漏检查装置，能够安全、低成本、高效率地进行将溶解有气体的液体作为探测流体且为1MPa以上的高压下的泄漏检查。泄漏检查装置包括：气体溶解部(1)，具备新液的脱气功能；液体注入/循环部(2)，向被试验体(TP)注入溶解有气体的液体；高压施加部(3)，对注入的溶解有气体的液体施加高压；泄漏检查部(4)，对因施加高压而穿过被试验体的泄漏孔并漏出至真空容器(41)内的液体蒸气中的气体进行检测；以及液体回收部(5)，释放高压而回收溶解有气体的液体。在封闭回路中进行高压下的泄漏检查的工序。进行高压下的泄漏检查的工序。进行高压下的泄漏检查的工序。

【技术实现步骤摘要】
泄漏检查装置及泄漏检查方法


[0001]本专利技术涉及一种泄漏检查装置及泄漏检查方法，能够安全、低成本、高效率地进行将溶解有气体的液体作为探测流体且为1MPa以上的高压下的泄漏检查。

技术介绍

[0002]为了检查民用以及工业用的各种零件或容器等的因结构体自身、或焊接等的接合部及密封部的缺陷而产生的泄漏，利用有加压发泡法、水中发泡法、比色检验法、超声波法、差压法、真空容器法等。用于这些泄漏检查的探测流体是气体。因此，在高压下执行使用气体作为探测流体的泄漏检查的情况下，存在被试验体因高压气体而发生大破裂的危险性。因此，需要采取将被试验体及检查装置放置于防护室内、在气体加压时进行无人运转等安全对策。
[0003]除此之外，公开了一种使用液体作为探测流体的泄漏检查装置及泄漏检查方法(例如，参照专利文献1)。在1MPa以上的高压下执行使用液体作为探测流体的泄漏检查的情况下，不需要防护室或液体加压时的无人运转等，与气体加压相比而相对安全。进而，由于相对于气体加压，液体加压容易，因此也具有低成本的优点。
[0004]另一方面，公开了一种在水等液体中溶解或混合氦气，将其注入至被试验体中，利用氦气检测器(氦检漏仪)检测漏出至真空中的液体中的氦气的泄漏检查装置或泄漏检查单元(例如，参照专利文献2及专利文献3)。这些装置或单元利用了如下情况：使用氦作为探测气体的泄漏检查法为高灵敏度且能够连续使用。
[0005]另外，还公开了一种使用溶解有气体的液体的1MPa以上的高压下泄漏检查(例如，参照专利文献1)。在此现有技术中，作为溶解的气体而公开了容易溶解于液体中的气体二氧化碳、过氧化氢水、氨等。
[0006]另外，一种方法是将经气密密封的容器作为被试验体，以小于1MPa的压力将其加压浸渍于溶解有过氟化气体的过氟化液体中，使所述溶解有气体的液体穿过所述被试验体的泄漏孔而浸入，然后，将所述被试验体插入至泄漏检测单元的检查腔室中，使所述检查腔室的压力低于所述被试验体内部的压力，使侵入的所述溶解有气体的液体漏出而进行检测(将此泄漏检查方法称为浸渍法)。据公开，作为探测流体，利用在低于1MPa的低压下与气体相比液体的密度高这一点，浸渍时间可为短时间(例如，参照专利文献4)。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：国际公开2012/005199号公报
[0010]专利文献2：日本专利特开昭63
‑
256833号公报
[0011]专利文献3：日本专利特开平10
‑
227712号公报
[0012]专利文献4：日本专利特开平6
‑
18355号公报

技术实现思路

[0013]专利技术所要解决的问题
[0014]在所述专利文献1所记载的将高压液体作为探测流体的高压泄漏检查装置中，在将液体用作探测流体的情况下，需要使供被试验体插入的被试验体室成为小于0.1Pa的高真空，因此存在若为大型的被试验体则待机时间变长的问题。进而，在此方法中，在高压液体通过泄漏孔而漏出至真空中时会成为液体蒸气，变成对所述液体蒸气进行检测，但在使用四极质谱仪作为检测所述液体蒸气的气体检测器的情况下，由于液体蒸气的污染而容易改变灵敏度，在耐久性方面存在问题。
[0015]另外，在所述专利文献2所记载的使用气体溶解液的泄漏检查中，虽然公开了以多种形态的被试验体为对象的泄漏检查的结构，但对其实施例没有进行任何公开。即，对用于使溶解气体浓度为一定且高浓度的方法或可高浓度地进行气体溶解的液体没有进行任何公开。
[0016]另外，所述专利文献3所记载的使用气体溶解液的泄漏检查涉及配置于真空容器中的具有出入口的配管的泄漏检查，是如下的泄漏检查方法：通过将混合有氦气的微细气泡的水从配管的入口连续地注入并从出口排出，将混合有一定浓度的氦气气泡的水供给至作为被试验体的配管，对从配管的泄漏孔漏出至真空中的混合流体的氦气进行检测。在所述方法中，为了将氦气气泡的浓度保持为一定，需要使混合有氦气气泡的水持续流动，因此难以应用于任意形状的零件或容器的泄漏检查。特别是，为了执行使用高压液体的泄漏检查，在将液体注入至被试验体后，在封闭被试验体的状态下施加压力，因此无法使用所述方法。
[0017]另外，所述专利文献1所记载的使用气体溶解液体的1MPa以上的高压下泄漏检查中，对用于使溶解气体浓度为一定且高浓度的方法或可高浓度地进行气体溶解的液体没有进行任何公开。
[0018]另外，所述专利文献2所记载的泄漏检查中，虽然将溶解有过氟化气体的过氟化液体作为探测流体，但是并不将1MPa以上的高压施加作为对象。因此，对高压下的使用了溶解有气体的液体的泄漏检查单元或方法没有进行任何公开。
[0019]通常，为了实现将溶解有气体的液体用于探测流体的量产性的高压泄漏检查，需要在每次数分钟至10分钟左右的时间的检查中准备溶解有一定浓度的气体的液体，但为了实现此需求，需要在作为溶解有一定浓度的气体的液体的探测流体的制造及所述探测流体向被试验体的注入与加压进而回收手段方面下功夫。特别是，在液体中溶解有原本溶入的空气成分气体等杂质气体，若直接使用此液体，则在向内部为真空环境的被试验体注入液体时，溶解的杂质气体发生气化，若其滞留于泄漏孔中，则有可能出现泄漏检查的误认，需要避免此情况。
[0020]因此，本专利技术是鉴于所述现有技术的问题而完成，其目的在于提供一种泄漏检查装置及泄漏检查方法，能够安全、低成本、高效率地进行将溶解有气体的液体作为探测流体且为1MPa以上的高压下的泄漏检查。
[0021]解决问题的技术手段
[0022]用于实现所述目的的本专利技术的泄漏检查方法是对将溶解有气体的液体作为探测流体来对被试验体TP进行泄漏检查的泄漏检查方法，将所述被试验体TP配置于从所述气体
以一定浓度溶解的溶解罐12流出并返回至所述溶解罐12的封闭的循环回路的中途，使所述探测流体在所述封闭的循环回路中流动的同时注入至所述被试验体TP。
[0023]本专利技术的泄漏检查方法的第二特征在于，对于所述探测流体，在向所述被试验体TP注入之前，在所述溶解罐12中进行将所述气体以外的气体除去的脱气处理。
[0024]本专利技术的泄漏检查方法的第三特征在于，所述被试验体TP配置于内部成为真空状态的真空容器41的所述内部。
[0025]本专利技术的泄漏检查方法的第四特征在于，在注入所述探测流体之前，预先将所述被试验体TP的内部形成为真空状态。
[0026]本专利技术的泄漏检查方法的第五特征在于，在注入所述探测流体之前，将所述被试验体TP的内部预先利用所述气体形成为使所述气体溶解于所述液体的气体溶解压力以下的非真空状态。
[0027]本专利技术的泄漏检查方法的第六特征在于，对注入有所述探测流体的所述被试验体TP进行摇动、静置及利用所述气体的再加压。
[0028]本专利技术的泄漏检查方法的第七特征在于，在从开始向所述被试验体TP注入所述探测流体至经本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种泄漏检查方法，将溶解有气体的液体作为探测流体来对被试验体(TP)进行泄漏检查，所述泄漏检查方法的特征在于，将所述被试验体(TP)配置于从所述气体以一定浓度溶解的溶解罐(12)流出并返回至所述溶解罐(12)的封闭的循环回路的中途，使所述探测流体在所述封闭的循环回路中流动的同时注入至所述被试验体(TP)。2.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，对于所述探测流体，在向所述被试验体(TP)注入之前，在所述溶解罐(12)中进行将所述气体以外的气体除去的脱气处理。3.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，所述被试验体(TP)配置于内部成为真空状态的真空容器(41)的所述内部。4.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，在注入所述探测流体之前，预先将所述被试验体(TP)的内部形成为真空状态。5.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，在注入所述探测流体之前，将所述被试验体(TP)的内部预先利用所述气体形成为使所述气体溶解于所述液体的气体溶解压力以下的非真空状态。6.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，对注入有所述探测流体的所述被试验体(TP)进行摇动、静置及利用所述气体的再加压。7.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，在从开始向所述被试验体(TP)注入所述探测流体至经过规定时间为止的期间，使注入的所述探测流体返回至回收罐(51)。8.根据权利要求7所述的泄漏检查方法，其特征在于，在经过所述规定时间后，使所述探测流体穿过所述被试验体(TP)的内部而循环，由此将所述探测流体注入至所述被试验体(TP)的内部。9.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，在注入所述探测流体之前，向所述被试验体(TP)的内部预先注入脱气完成后的所述液体。10.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，将向所述被试验体(TP)注入所述探测流体的注入系统(L24、L45)与对注入的所述探测流体进行加压的加压系统(L14)设为不同的系统。11.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，一边使罐(12、51)内的所述液体循环，一边对所述液体的液面的上部空间进行真空排气，将所述罐(12、51)内的所述液体的一部分导入至真空状态的容器(15b)，基于所述容器(15b)中的所述液体的液面的水位，判定脱气是否完成。12.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，一边使罐(12、51)内的所述液体循环，一边对所述液体的液面的上部空间进行真空排气，基于使贮存有脱气完成后的所述液体的容器(15a)和所述罐(12、51)连通时的所述容器(15a)的液面与所述罐(12、51)之间的液面差，判定脱气是否完成。13.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，
基于主漏孔(46)、第一气体检测器(45)、以及第二气体检测器(22)对泄漏检查的健全性进行确认，所述主漏孔(46)实现规定压力下的所述探测流体中的所述气体的规定泄漏量，所述第一气体检测器(45)对穿过所述主漏孔(46)而漏出的所述气体的泄漏量进行检测，所述第二气体检测器(22)对在所述封闭的循环回路中在所述主漏孔(46)的下游侧流动的所述探测流体中的所述气体的浓度进行检测。14.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，所述液体满足：[所述液体的密度/(所述液体的粘性系数
×
所述液体的分子量)]
×
[所述液体中的所述气体的溶解度]＞基于所述气体的规定系数
×
[水的密度/(水的粘性系数
×
水的分子量)]
×
[水中的所述气体的溶解度]。15.根据权利要求1所述的泄漏检查方法，其特征在于，所述气体为二氧化碳或包含氦及氩的第18族元素的惰性气体。16.一种泄漏检查装置，其特征在于，包括：气体溶解单元(1)，制造溶解有一定浓度的气体的液体；液体注入/循环单元(2)，将所述液体作为探测流体注入至被试验体(TP)；高压施加单元(3)，对注入至所述被试验体(TP)中的所述液体进行加压；泄漏检查单元(4)，对因加压而从所述被试验体(TP)漏泄的所述气体的漏泄量进行检测；液体回收单元(5)，回收所述被试验体(TP)中的所述液体并使其返回至所述气体溶解单元(...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川贡，井上恭司郎，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：