气体流量传感器芯片和气体流量传感器制造技术

本说明书实施方式关于流量传感器的技术领域，提供一种气体流量传感器芯片，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。通过上述技术方法，通过为所述测温电阻通电，使所述测温电阻处于发热的第二工作模式，从而在一定程度上降低流动介质中的污染物对该气体流量传感器芯片的污染程度，从而提高该气体流量传感器芯片的测量精度。的测量精度。的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
气体流量传感器芯片和气体流量传感器


[0001]本说明书中实施方式关于流量传感器的
，具体涉及一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器。

技术介绍

[0002]随着科技技术的发展，流量传感器在工业生产中得到广泛的应用。其中，该流量传感器可以对气体、液体、蒸汽等介质流量进行测量。随着技术的发展，MEMS技术得到发展，基于MEMS技术的热式气体流量传感器具有响应快、功耗低、体积小、高度集成等特点，使得基于MEMS技术的热式气体流量传感器得到了很大发展。热式气体流量传感器在测量过程中，污染物跟随流动介质达到该流量传感器芯片上，经过长时间的沉积后，达到一定程度后，污染物会改变该气体传感器芯片表面上的热传导值，以及气体传感器上游来流方向的微流场，从而影响测量信号。因此，沉积在该气体传感器芯片上的污染物会导致该气体传感器芯片的测量精度降低。
[0003]因此，现有技术中的气体传感器芯片可能会出现因为污染物降低了测量精度的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本说明书多个实施方式致力于提供一种气体流量传感器芯片和气体流量传感器，以一定程度上解决了流动介质中污染物在该气体芯片上沉淀，从而提高该气体流量新芯片的测量精度的问题。
[0005]为了实现上述目的，本说明书的一个实施方式提供一种气体流量传感器芯片，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。
[0006]本说明书的一个实施方式提供一种气体流量传感器，所述气体传感器包括上述的气体流量传感芯片。
[0007]本说明书提供的一种气体流量传感器芯片与现有技术相比，其有益效果在于：通过测温电阻具有用于测量气体流量的第一工作模式和通过为所述测温电阻通过电，使所述测温电阻发热的第二工作模式，通过该测温电阻发热阻挡流动介质中的污染物沉淀在该气体流量传感器芯片上，从而在一定程度上提高了该气体流量传感器芯片的测量精度。
附图说明
[0008]图1为本说明书的一个实施方式提供的一种气体流量传感器芯片的结构示意图。
[0009]图2为本说明书的一个实施方式提供的一种气体流量传感器芯片的结构示意图。
[0010]图3为本说明书的一个实施方式提供的一种气体流量传感器芯片的结构示意图。
[0011]图4为本说明书的一个实施方式提供的一种气体流量传感器芯片的结构示意图。
具体实施方式
[0012]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本说明书实施例中的附图，对本说明书实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本说明书一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本说明书中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0013]请参阅图1。本说明书的一个实施方式提供一种气体流量传感器芯片100，所述气体流量传感器芯片100包括：电路基板110，加热电阻120和测温电阻130；所述气体流量传感器芯片110具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻130通电，使所述测温电阻130发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻130的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻130的工作电流。
[0014]在本实施方式中，气体流量传感器芯片100中测温电阻130对称设置在加热电阻120的两侧。在流动介质静止的时，距离加热电阻120等距离的测温电阻130所测得的温度是相同的。流动介质在所述气体流量传感器芯片表面流动的时，该测温电阻130所述测得的温度是有温度差的，气体流量传感器芯片100通过该温度差测出该流动介质的质量流量。所述测温电阻130可以具有用于测量气体流量的第一工作模式，通过给测温电阻130通电，使所测温电阻130为第二工作模式，即所述测温电阻130发热，使流动介质具有温度梯度。而流动介质中的污染物在具有温度梯度的流动介质中，由于较高温部分的气体分子要比较低温部分的气体分子以更高的动能与粒子碰撞，导致粒子从高温部分向低温部分运动，从而使流动介质中的污染物向低温部分运动，减少流动介质中的污染物气体流量传感器芯片表面的污染，进而提高气体流量传感器芯片的测量精度。
[0015]在本实施方式中，通过调节为测温电阻130通电的工作电流，控制测温电阻130的工作模式，工作电流达到一定的值时，测温电阻130为第一工作模式，即测量气体流量的工作模式。测温电阻130的工作电流达到一定电流值时，并且比处于第一工作模式的测温电阻130的工作电流的电流值大时，所述测温电阻130处于第二工作模式，即抗污工作模式，通过测温电阻130发热产生的热量阻挡流动介质中的污染物附着在所述气体传感器芯片100的表面。测温电阻130的工作电流越大，该测温电阻130产生的热量就越大。
[0016]在一些实施方式中，测温电阻130可以是可以调节电阻值大小的电阻。可以通过控制器调节测温电阻130的电阻值来控制测温电阻130的工作模式，所述测温电阻130的电阻值达到一定的值时，该测温电阻130为第一工作模式。测温电阻的电阻值达到一定电阻值时，并且比处于第一工作模式的测温电阻130的电阻值大时，所述测温电阻130处于第二工作模式。
[0017]在一些实施方式中，气体流量传感器芯片100上的所述测温电阻130包括第一电阻和第二电阻，在测温电阻130处于第二工作模式时，该发热电阻120处于不工作状态。当然，也可以是靠近流动介质的主流方向的第一电阻处于第二工作模式，而加热电阻120和远离流动介质的主流动方向的第二电阻处于不工作的状态。在一定程度上，降低功耗。
[0018]请参阅图2。在一些实施方式中，气体流量传感器芯片100至少包括外侧电阻对131
和内侧电阻对132时，外侧电阻对131处于第二工作模式时，内侧电阻对132处于第一工作模式，加热电阻120处于工作模式。
[0019]在一些实施方式中，气体流量传感器100是通过采集流体的温度、压力等信号，再换算成流量的仪器。气体流量传感器100的种类比较多，有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式和超声波式等若干种。其中，热式气体流量传感器100可以利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。
[0020]在一些实施方式中，第一工作模式可以是指测温电阻130为了测量流量而测量温度的工作模式。
[0021]在一些实施方式中，第二工作模式可以是指测温电阻130为了抵抗流动介质中的污染物沉积到该气体流量传感芯片100所处于的工作模式。测温电阻130在处于第二工作模式的时产生的热量在一定程度上使流动介质中的污染物远离。
[0022]在一些实施方式中，工作电流可以是使测温电阻130处于工作的电流。具体的，例如，测温电阻13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体流量传感器芯片，其特征在于，包括：电路基板，加热电阻和测温电阻；所述气体流量传感器芯片具有用于测量气体流量的第一工作模式；和，为所述测温电阻通电，使所述测温电阻发热的第二工作模式；其中，所述第二工作模式中所述测温电阻的工作电流，大于所述第一工作模式中所述测温电阻的工作电流。2.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，控制所述测温电阻的工作电流在所述第一工作模式和所述第二工作模式对应的所述工作电流之间进行交替转换。3.根据权利要求2所述的传感器芯片，其特征在于，设置所述交替转换的时间间隔；其中，所述时间间隔的取值不影响所述传感器芯片测量气体流量。4.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，流动介质具有一个主流动方向；在所述主流动方向上至少部分处于所述第二工作模式的所述测温电阻在处于所述第一工作模式的所述测温电阻的前面。5.根据权利要求4所述的传感器芯片，其特征在于，设置所述第二工作模式的所述测温电阻与所述第一工作模式的所述测温电阻的距离为1～2mm。6.根据权利要求1所述的传感器芯片，其特征在于，至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：段所行，
申请(专利权)人：祎智量芯江苏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：