压电振动元件、压电振动器以及压电振荡器制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制蚀刻对布线电极的损伤的压电振动元件、压电振动器以及压电振荡器。晶体振动元件(10)具备：具有第一主面(12a)和第二主面(12b)的晶体片(11)、从第一主面(12a)到第二主面(12b)贯通地设置的导通电极(17)、在第二主面(12b)覆盖导通电极(17)的导电性的蚀刻阻挡膜(18)、以及在第二主面(12b)覆盖蚀刻阻挡膜(18)的外缘的至少一部分的引出电极(15b)。的引出电极(15b)。的引出电极(15b)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电振动元件、压电振动器以及压电振荡器


[0001]本专利技术涉及压电振动元件、压电振动器以及压电振荡器。

技术介绍

[0002]振动元件或者包含该振动元件的振动器在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，用于定时设备、传感器、振荡器等各种用途。随着电子设备的高功能化，需要小型的振动元件。
[0003]例如，在专利文献1中公开了一种压电体波装置，具备支承基板、绝缘层以及压电薄板振动部，压电薄板振动部包含压电薄板、形成于压电薄板的上表面的第一电极、以及形成于压电薄板的下表面的第二电极。该压电体波装置在压电薄板设置有导通孔电极，以使得和与第二电极连接的布线电极电连接。
[0004]专利文献1:国际公开第2013/031747号
[0005]在专利文献1所公开的压电体波装置中，通过蚀刻在压电薄板形成导通孔形成用电极孔，接下来形成导通孔电极。
[0006]然而，在蚀刻压电薄板时，形成在压电薄板上的布线电极容易因在蚀刻时使用的药剂而受到损伤。其结果是，存在经由导通孔电极以及布线连接而与形成于振动部的电极导通的性能(以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电振动元件，具备：压电片，具有第一主面和第二主面；导通电极，从上述第一主面到上述第二主面贯通地设置；导电性的蚀刻阻挡膜，在上述第二主面覆盖上述导通电极；以及布线电极，在上述第二主面覆盖上述蚀刻阻挡膜的外缘的至少一部分。2.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，还具备保护电极，上述保护电极在上述第二主面至少覆盖上述布线电极中的覆盖上述蚀刻阻挡膜的外缘的部分。3.根据权利要求2所述的压电振动元件，其中，上述保护电极的材料与上述布线电极的材料相同。4.根据权利要求2或3所述的压电振动元件，其中，上述保护电极的厚度为上述布线电极的厚度的2倍以上。5.根据权利要求1～4中任一项所述的压电振动元件，其中，上述布线电极的材料是铝。6.根据权利要求1～5中任一项所述的压电振动元件，还具备：第一激励电极，...

【专利技术属性】
技术研发人员：大川忠行，西村俊雄，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：