物体传送装置和物体传送方法制造方法及图纸

公开了一种物体传送装置，该物体传送装置包括：载具，其沿着安装在天花板上的驱动轨道行进；起吊模块，其拾取待传送物体；载具主体，在其上安装所述起吊模块，并且所述载具主体连接至所述载具；防掉落构件，设置在所述载具主体中，并且防止在所述载具行进的同时所述待传送物体掉落；以及控制器，其接收所述待传送物体的装载/卸载信息以确定所述待传送物体的尺寸，并且根据所述待传送物体的尺寸驱动所述防掉落构件。掉落构件。掉落构件。

【技术实现步骤摘要】
物体传送装置和物体传送方法


[0001]本文描述的本专利技术构思的实施例涉及物体传送装置和物体传送方法。

技术介绍

[0002]通常，为制造半导体器件，在半导体生产线中布置各种工艺诸如沉积工艺、光刻工艺和蚀刻工艺以及执行所述工艺的装置。用于执行半导体器件制造工艺的目标物体诸如晶片或掩模在被容纳于容器中的同时可以被提供给各种半导体处理装置。此外，已进行所述工艺的目标物体可以被放回容器中，并且可以将该容器传送到外部。
[0003]容器可以通过高架起吊运输装置(Overhead Hoist Transport，OHT)来进行馈送。OHT将容纳有目标物体的容器馈送到半导体处理装置中的任一者的装载端口。而且，OHT可以从装载端口拾取容纳有经处理的目标物体的容器并送到外部，或者可以将容器传送到半导体处理装置中的另一者。
[0004]OHT在沿着驱动轨道驱动期间可能产生振动，并且容器可能由于振动而分离并掉落。为防止这种情况，OHT设有防掉落构件，并且防掉落构件的设置位置根据待传送的容器的大小而不同。传统上，安装有获取容器的宽度信息的测量部件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物体传送装置，包括：载具，被配置用于沿着安装在天花板上的驱动轨道行进；起吊模块，被配置用于拾取待传送物体；载具主体，在其上安装所述起吊模块，并且所述载具主体连接至所述载具；防掉落构件，设置在所述载具主体中，并且被配置用于防止在所述载具行进的同时所述待传送物体掉落；以及控制器，被配置用于接收所述待传送物体的装载/卸载信息以确定所述待传送物体的尺寸，并且根据所述待传送物体的尺寸驱动所述防掉落构件。2.根据权利要求1所述的物体传送装置，其中所述控制器通过上级控制器的通信信息接收所述待传送物体的装载/卸载信息。3.根据权利要求2所述的物体传送装置，其中所述防掉落构件包括：一对支撑部，被配置用于朝向所述待传送物体的底表面水平移动；以及一对驱动部，设置在所述载具主体的内部，并且被配置用于调节所述一对支撑部之间的间距。4.根据权利要求3所述的物体传送装置，其中所述驱动部根据所述控制器的控制信号调整所述一对支撑部之间的所述间距。5.根据权利要求2所述的物体传送装置，还包括：填充检测传感器部，被配置用于检测在所述载具主体的内部是否存在所述待传送物体。6.根据权利要求5所述的物体传送装置，其中所述填充检测传感器部检测所述待传送物体的凸缘，所述凸缘供所述起吊模块夹取。7.根据权利要求4所述的物体传送装置，其中所述待传送物体包括：容纳相移掩模的容器，以及容纳远紫外线掩模的容器。8.根据权利要求7所述的物体传送装置，其中所述控制器驱动所述驱动部，使得当通过所述待传送物体的装载/卸载信息识别出所述待传送物体是容纳所述相移掩模的容器时，将所述一对支撑部之间的所述间距调整到针对小尺寸容器的间距。9.根据权利要求7所述的物体传送装置，其中所述控制器驱动所述驱动部，使得当通过所述待传送物体的装载/卸载信息识别出所述待传送物体是容纳所述远紫外线掩模的容器时，将所述一对支撑部之间的所述间距调整到针对大尺寸容器的间距。10.一种物体传送装置的传送方法，所述方法包括：夹取待传送物体并将所述待传送物体移动到载具主体的容纳空间中；检测在所述容纳空间中是否存在所述待传送物体；当检测到所述待传送物体时，通过所述待传送物体的装载/卸载信息确定所述待传送物体的尺寸；根据所述待传送物体的尺寸驱动防掉落构件；以及在通过所述防掉落构件防止所述待传送物体掉落的状态下，使所述待传送物体行进到传送目的地。11.根据权利要求10所述的传送方法，其中控制器通过上级控制器的通信信息接收所述待传送物体的装载/卸载信息并确定所述待传送物体的尺寸。
12.根据权利要求11所述的传送方法，其中所述防掉落构件包括：一对支撑部，被配置用于朝向所述待传送物体的底表面水平移动；以及一对驱动部，设置在所述载具主体的内部，由所述控制器控制，并且被配置用于调节所述一对支撑部之间的间距；并且其中所述防掉落构件...

【专利技术属性】
技术研发人员：金元永，金懃祐，朴泰昱，成爀济，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：