驱动元件以及驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种驱动元件以及驱动装置。驱动元件(1)具备：基部(13)；可动部(30)，在与转动轴(R0)平行的方向上与基部(13)分离；第1连接部(14)以及第2连接部(15)，将基部(13)和可动部(30)连接；一对第1臂部(11a、11b)，夹着转动轴(R0)，在与转动轴(R0)平行的第1方向上延伸；一对第2臂部(12a、12b)，夹着转动轴(R0)，在与第1方向相反的第2方向上延伸；连结部(16a、16b)，将一对第1臂部(11a、11b)及一对第2臂部(12a、12b)连结于第1连接部(14)及第2连接部(15)；压电驱动体(17a、17b、27a、27b)，配置于一对第1臂部(11a、11b)以及一对第2臂部(12a、12b)的至少一者。12b)的至少一者。12b)的至少一者。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】驱动元件以及驱动装置


[0001]本专利技术涉及通过压电驱动体使可动部转动的驱动元件以及具备该驱动元件的驱动装置，例如，适合在通过配置于可动部的反射面使光进行扫描的情况下使用。

技术介绍

[0002]近年来，开发了利用MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)技术使可动部转动的驱动元件。在这种驱动元件中，将反射面配置于可动部，由此能够使入射到反射面的光以给定的摆角进行扫描。这种驱动元件例如搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像投影装置。除此之外，在利用激光检测物体的激光雷达等中，也能够使用这种驱动元件。
[0003]例如，在以下的专利文献1中，记载了通过所谓的音叉振子使可动部转动的方式的驱动元件。在此，在沿着转动轴延伸的一对臂部分别配置压电驱动体。通过对这些压电驱动体分别施加相位相差180
°
(相反相位的)交流电压，从而一对臂部彼此在相反方向上伸缩。由此，可动部关于转动轴转动，与之相伴，配置于可动部的反射面转动。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种驱动元件，具备：基部；可动部，在与转动轴平行的方向上与所述基部分离；连接部，将所述基部和所述可动部连接；一对第1臂部，夹着所述转动轴，在与所述转动轴平行的第1方向上延伸；一对第2臂部，夹着所述转动轴，在与所述第1方向相反的第2方向上延伸；连结部，将所述一对第1臂部以及所述一对第2臂部连结于所述连接部；和压电驱动体，配置于所述一对第1臂部以及所述一对第2臂部的至少一者。2.根据权利要求1所述的驱动元件，其中，所述压电驱动体配置于所述一对第1臂部和所述一对第2臂部的两者。3.根据权利要求1所述的驱动元件，其中，所述压电驱动体配置于所述一对第1臂部，未配置于所述一对第2臂部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的驱动元件，其中，所述压电驱动体还配置于所述连结部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的驱动元件，其中，设定所述第2臂部的长度，使得至少在所述第1臂部中实质上不产生扭曲。6.根据权利要求1至5中任一项所述的驱动元件，其中，设定所述第2臂部的长度，使得以目标频率使所述可动部绕着所述转动轴振动时的所述可动部的摆角成为最大。7.根据权利要求1至6中任一项所述的驱动元件，其中，分别具备所述基部、所述连接部、所述一对第1臂部、所述一对第2臂部、所述连结部以及所述压电驱动体的两个驱动单元，夹着所述可动部彼此相反朝向地配置，各所述驱动单元的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：石田贵巳，高山了一，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：