压电体、压电元件以及液体喷出头制造技术

本申请提供压电体、压电元件以及液体喷出头，其不具有中间层地不易产生裂纹。一种压电体，包含钾、钠以及铌，并具有钙钛矿结构，针对多个测量区域进行拉曼光谱分析而得到的归属于A

【技术实现步骤摘要】
压电体、压电元件以及液体喷出头


[0001]本专利技术涉及压电体、压电元件以及液体喷出头。

技术介绍

[0002]用于液体喷出头的压电元件用两个电极夹着由具有机电转换功能的压电材料构成的压电体。作为压电材料，已知铌酸钾钠系的压电材料。
[0003]铌酸钾钠系的压电体存在制造时容易产生裂纹这一问题，当形成厚度大的压电体时尤其会成为问题。
[0004]例如在专利文献1中记载了通过在利用CSD法形成的第一压电体层和第二压电体层之间具备利用气相生长法形成的中间层而能够缓和压电体层的残余应力并能够抑制产生裂纹的压电元件。具体来说，在专利文献1的实施例中，使用具有作为KNN和BFO的混晶的组成的复合氧化物作为第一压电体层以及第二压电体层，并使用Pt作为中间层。
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
139923号公报
[0006]然而，在专利文献1所记载的压电元件中，在第一压电体层和第二压电体层之间设置有材料与第一压电体层以及第二压电体层不同的中间层。为此，第二压电体层的结晶结构有时会根据中间层的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电体，其特征在于，包含钾、钠以及铌，并具有钙钛矿结构，针对多个测量区域进行拉曼光谱分析而得到的归属于A
1g
的峰的拉曼位移为400cm
‑1以上且700cm
‑1以下，所述多个测量区域中的所述峰中的拉曼位移的最大值和最小值之差为11.0cm
‑1以下。2.根据权利要求1所述的压电体，其特征在于，所述压电体在(100)面优先取向。3.根据权利要求1或2所述的压电体，其特征在于，所述差为5.0cm
‑1以下。4.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：北田和也，酒井朋裕，挂村康人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：