器件面形检测方法、装置及系统制造方法及图纸

本申请涉及器件质量检测技术领域，提供一种器件面形检测方法、装置及系统，该方法首先获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；然后基于每个重叠区域对应的检测结果，在第一方向上对多个检测区域的检测结果进行拼接，并对第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到待检测器件的面形检测结果。该方法利用每个重叠区域对应的检测结果，先后在两个方向上进行拼接，可以得到待检测器件全幅面的面形检测结果，进而可以实现对全幅面的光栅制造误差进行标定，为后续补偿工作的顺利进行提供保障。而且，该方法先后在两个方向上进行拼接，可以大大减少拼接次数，提高拼接效率，进而提高面形检测效率。进而提高面形检测效率。进而提高面形检测效率。

【技术实现步骤摘要】
器件面形检测方法、装置及系统


[0001]本申请涉及光学系统质量检测
，尤其涉及一种器件面形检测方法、装置及系统。

技术介绍

[0002]大尺寸高精度的平面光栅尺是光刻系统中运动台位移反馈系统的重要部分，由于在平面光栅制作过程中，会因环境误差以及仪器误差等干扰的存在，导致平面光栅具有光栅制造误差，这将引起运动台位移反馈系统中干涉信号的非理想相移，使干涉仪的读数不能准确地反映出光刻机中工件台、掩膜台等台面的位移，导致位移测量结果不准确。基于此，需要对平面光栅进行面形检测，以实现对其光栅制造误差的标定及补偿，进而便于对其引起的位移测量误差进行校准。
[0003]现有技术中，通常借助于光学检测系统对平面光栅进行面形检测，以对其光栅制造误差进行标定。但是由于平面光栅尺寸较大，其口径通常大于光学检测系统的口径，这将导致利用光学检测系统无法对平面光栅进行全幅面的面形检测，导致检测结果不完整，无法实现对全幅面的光栅制造误差进行标定，进而使后续补偿工作无法顺利进行。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种器件面形检测方法、装置及系统，用以解决现有技术中存在的缺陷。
[0005]本申请提供一种器件面形检测方法，包括：
[0006]获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；所述多个检测区域与所述待检测器件的多个面形子区域一一对应，所述待检测器件的任意两个相邻检测区域之间均存在重叠区域；
[0007]基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果；
[0008]所述第一方向垂直于所述第二方向。
[0009]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果，包括：
[0010]基于所述第一方向对应的预设权重曲线，对所述第一方向上每个重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述第一方向的拼接结果；
[0011]基于所述第二方向对应的预设权重曲线，对所述拼接结果在所述第二方向上的重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述面形检测结果。
[0012]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述第一方向对应的预设权重曲线，和/或，所述第二方向对应的预设权重曲线，基于如下步骤确定：
[0013]对于所述第一方向以及所述第二方向中的任一方向，确定所述任一方向对应的基础权重曲线，并基于所述任一方向上每个重叠区域的尺寸，确定所述基础权重曲线中的基础采样点位置以及对应的权重值；
[0014]基于所述任一方向上每个重叠区域的位置以及尺寸，确定所述基础采样点位置对应的、所述任一方向上每个重叠区域中的目标采样点位置；
[0015]将所述基础采样点位置对应的权重值与所述基础采样点位置对应的目标采样点位置进行拟合，得到所述任一方向对应的预设权重曲线。
[0016]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果，之后包括：
[0017]对所述面形检测结果分别在所述第一方向以及所述第二方向上进行拟合，得到所述第一方向对应的第一拟合结果以及所述第二方向对应的第二拟合结果；
[0018]基于所述第一拟合结果以及所述第二拟合结果，分别在所述第一方向和所述第二方向对所述面形检测结果进行校正。
[0019]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，之前包括：
[0020]对于任一重叠区域所属的每个检测区域的所述检测结果，分别在所述任一重叠区域内的所述第一方向以及所述第二方向上进行拟合，得到所述第一方向对应的第三拟合结果以及所述第二方向对应的第四拟合结果；
[0021]基于所述第三拟合结果以及所述第四拟合结果，分别在所述第一方向和所述第二方向上，对所述任一重叠区域所属的两个相邻检测区域的所述检测结果进行倾斜匹配。
[0022]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述多个检测区域均为矩形区域。
[0023]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果，之前包括：
[0024]获取所述待检测器件的面形区域；
[0025]对所述面形区域进行划分，得到所述多个面形子区域。
[0026]根据本申请提供的一种器件面形检测方法，所述对所述面形区域进行划分，得到所述多个面形子区域，包括：
[0027]基于波前相位检测设备的口径，对所述待检测器件的面形区域进行划分，得到所述多个面形子区域。
[0028]本申请还提供一种器件面形检测装置，包括：
[0029]获取模块，用于获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；所述多个检测区域与所述待检测器件的多个面形子区域一一对应，所述待检测器件的任意两个相邻检测区域之间均存在重叠区域；
[0030]拼接模块，用于基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上的所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果；
[0031]所述第一方向垂直于所述第二方向。
[0032]本申请还提供一种器件面形检测系统，包括：波前相位检测设备、运动台以及处理器，所述波前相位检测设备与所述处理器连接；
[0033]所述运动台用于承载待检测器件，并带动所述待检测器件进行移动；
[0034]所述波前相位检测设备用于对所述待检测器件的多个面形子区域对应的检测区域分别进行波前相位检测，得到多个检测区域的波前相位的检测结果，并将所述多个检测区域的所述检测结果传输至所述处理器；
[0035]所述处理器用于执行上述的器件面形检测方法。
[0036]本申请还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述的器件面形检测方法。
[0037]本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的器件面形检测方法。
[0038]本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的器件面形检测方法。
[0039]本申请提供的器件面形检测方法、装置及系统，该方法首先获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；多个检测区域与待检测器件的多个面形子区域一一对应，待检测器件的任意两个相邻检测区域之间均存在重叠区域；然后基于每个重叠区域对应的检测结果，在第一方向上对多个检测区域的检测结果进行拼接，并对第一方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种器件面形检测方法，其特征在于，包括：获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；所述多个检测区域与所述待检测器件的多个面形子区域一一对应，所述待检测器件的任意两个相邻检测区域之间均存在重叠区域；基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果；所述第一方向垂直于所述第二方向。2.根据权利要求1所述的器件面形检测方法，其特征在于，所述基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果，包括：基于所述第一方向对应的预设权重曲线，对所述第一方向上每个重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述第一方向的拼接结果；基于所述第二方向对应的预设权重曲线，对所述拼接结果在所述第二方向上的重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述面形检测结果。3.根据权利要求2所述的器件面形检测方法，其特征在于，所述第一方向对应的预设权重曲线，和/或，所述第二方向对应的预设权重曲线，基于如下步骤确定：对于所述第一方向以及所述第二方向中的任一方向，确定所述任一方向对应的基础权重曲线，并基于所述任一方向上每个重叠区域的尺寸，确定所述基础权重曲线中的基础采样点位置以及对应的权重值；基于所述任一方向上每个重叠区域的位置以及尺寸，确定所述基础采样点位置对应的、所述任一方向上每个重叠区域中的目标采样点位置；将所述基础采样点位置对应的权重值与所述基础采样点位置对应的目标采样点位置进行拟合，得到所述任一方向对应的预设权重曲线。4.根据权利要求1所述的器件面形检测方法，其特征在于，所述对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果，之后包括：对所述面形检测结果分别在所述第一方向以及所述第二方向上进行拟合，得到所述第一方向对应的第一拟合结果以及所述第二方向对应的第二拟合结果；基于所述第一拟合结果以及所述第二拟合结果，分别在所述第一方向和所述第二方向对所述面形检测结果进行校正。5.根据权利要求1所述的器件面形检测方法，其特征在于，所述在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，之前包括：对于任一重叠区域所属的每个检测区域的所述检测结果，分别在所述任一重叠区域内的所述第一方向以及所述第二方向上进行拟合，得到所述第一方向对应的第三拟合结果以及所述第二方向对应的第四拟合结果；基于所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文钰，范玉娇，韩昱，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：