超纯水制备双循环设备及其双循环控制方法技术

本发明专利技术公开一种超纯水制备双循环设备及其双循环控制方法，包括连接超纯水制备控制中心的纯水箱、第一水循环系统，还增设有一第二水循环系统，以形成超纯水制备双水循环回路。当第一水循环系统处于脉冲循环模式时，通过第一、二水循环系统的电磁阀切换，保持纯水箱内的存水通过在第二水循环回路中的持续循环；当纯水箱内的存水持续循环计时结束，再通过第一、二水循环系统的电磁阀切换，直至纯水箱内的存水切换回到内循环状态；直至下一个循环周期，如此往复即可。本发明专利技术设备增加的成本极低、耗能少，不仅降低纯水箱存水的总有机碳TOC，为后段超纯系统创造最佳总有机碳TOC条件；且可控制水箱存水的微生物指标在较低水平，防止后段污染。段污染。段污染。

【技术实现步骤摘要】
超纯水制备双循环设备及其双循环控制方法


[0001]本专利技术属于水处理
，具体涉及超纯水制备系统及其制备方法。

技术介绍

[0002]目前，在传统的小型超纯水制备系统中，其基本制备流程如图1所示。其原理是：经由反渗透或EDI原理产出的初/中级纯水首先被储存在纯水箱T内，然后经过循环泵P吸入一个由超纯化组件及必要动力阀门组成的内水循环系统中进行再纯化，从而制备出更高纯度的超纯水，经过电导率仪C检测合格后予以即时取水。所述超纯化组件包括紫外灯U、离子交换柱D和电导率仪C。由于超纯水极度不稳定，故在不取水时，这个内水循环系统会保持持续或脉冲循环模式以确保水质稳定，以便下次使用时得以快速达标。
[0003]在很多应用中，超纯水的有机物指标(以总有机碳TOC表示)达到痕量水平十分重要，它需要以下几个条件来保证(比如总有机碳TOC达到<10ppb)：
[0004]一是，给水(即水箱内的存水)总有机碳TOC足够低，通常总有机碳TOC应<50ppb；
[0005]二是，在线光氧化装置能够持续消解总有机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超纯水制备双循环设备，其特征是，包括连接超纯水制备控制中心的纯水箱、第一水循环系统和第二水循环系统；其中，第一水循环系统，包括循环泵(P)、在线过流式双波长紫外灯(U)、在线超纯柱(D)、在线电导率仪(C)，及第一动力阀门组；所述循环泵(P)连接纯水箱(T)，所述在线过流式双波长紫外灯(U)连接循环泵(P)和在线超纯柱(D)，所述在线超纯柱(D)连接一在线电导率仪(C)；所述在线电导率仪(C)连接取水阀门；所述第一动力阀门组包括相接的第一电磁阀(A)和第一单向阀(B)，第一电磁阀(A)的另一端连接在在线电导率仪(C)与取水阀门之间的管路上；所述第一单向阀(B)的另一端连接在纯水箱(T)和循环泵(P)之间的管路上；当取水阀门不工作时,所述第一水循环系统通过所述第一动力阀门组保持脉冲循环模式；第二水循环系统，包括第二电磁阀(E)和第二单向阀(F)；所述第二单向阀(F)的一端连接纯水箱(T)，另一端连接所述第二电磁阀(E)；所述第二电磁阀(E)的另一端连接在在线过流式双波长紫...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳勇斌，
申请(专利权)人：厦门锐思捷水纯化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：