弹性波装置制造方法及图纸

提供即便在压电体层在线膨胀系数具有各向异性的情况下也能够抑制压电体层的翘曲的弹性波装置。本发明专利技术的弹性波装置(1)具备支承基板(2)、设置在支承基板(2)上且具有相对置的第一第二主面(4a、4b)的压电体层(4)、设置于第一主面(4a)的第一电极(5)及设置于第二主面(4b)且与第一电极(5)对置的第二电极(6)。支承基板(2)与压电体层(4)之间设置有能量封闭部。压电体层(4)具有第一方向(W1)及与第一方向(W1)正交的第二方向(w2)。在压电体层(4)中，第一方向(W1)上的压电体层(4)的线膨胀系数与第二方向(w2)上的压电体层(4)的线膨胀系数不同。压电体层(4)、第一电极(5)及第二电极(6)中的至少一个与第一方向(W1)平行地延伸。的至少一个与第一方向(W1)平行地延伸。的至少一个与第一方向(W1)平行地延伸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，在基板上设置有压电膜。在压电膜的一个主面设置有上部电极，在另一个主面设置有下部电极。在下部电极与基板之间设置有空隙。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2005
‑
347898号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]例如，在LiNbO3、LiTaO3这样的压电单晶中，线膨胀系数在面内不同。换言之，例如，LiNbO3、LiTaO3这样的压电体在线膨胀系数具有各向异性。在将这样的压电体用于专利文献1中的压电膜的情况下，当发生了温度变化时，有时由于线膨胀系数的偏差而在压电膜产生翘曲。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种即便在压电体层在线膨胀系数具有各向异性的情况下也能够抑制压电体层的翘曲的弹性波装置。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板；压电体层，其设置在支承基板上，具有相对置的第一主面及第二主面；第一电极，其设置在所述压电体层的所述第一主面上；以及第二电极，其设置在所述压电体层的所述第二主面上，与所述第一电极对置，在所述支承基板与所述压电体层之间设置有能量封闭部，所述压电体层具有第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向，所述压电体层在线膨胀系数具有各向异性，所述第一方向上的所述压电体层的线膨胀系数与所述第二方向上的所述压电体层的线膨胀系数不同，所述压电体层、所述第一电极及所述第二电极中的至少一个与所述第一方向平行地延伸。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第一电极及所述第二电极中的至少一个电极的线膨胀系数小于所述压电体层的所述第一方向的线膨胀系数及所述第二方向的线膨胀系数中的较小的一个线膨胀系数，并且，该电极直接设置在所述压电体层上，所述第一方向上的所述压电体层的线膨胀系数小于所述第二方向上的所述压电体层的线膨胀系数，在所述压电体层、所述第一电极及所述第二电极中的至少一个中，沿着与所述第一方向平行的方向的尺寸大于沿着与所述第二方向平行的方向的尺寸。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第一电极及所述第二电极中的至少一个电极的线膨胀系数大于所述压电体层的所述第一方向的线膨胀系数及所述第二方向的线膨...

【专利技术属性】
技术研发人员：大村正志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：