一种铝硅酸盐玻璃制造技术

技术编号:38001297 阅读:29 留言:0更新日期:2023-06-30 10:15
本发明专利技术公开了一种铝硅酸盐玻璃,属于玻璃生产技术领域,该玻璃包括如下重量百分比原料:60

【技术实现步骤摘要】
一种铝硅酸盐玻璃


[0001]本专利技术属于玻璃生产
,具体涉及一种铝硅酸盐玻璃。

技术介绍

[0002]玻璃基板是LCD/OLED显示器的关键性基础材料,主要用于TFT制程、CF器件的载板,在玻璃表面进行电路和制程加工。由于显示效果和屏幕刷新速率提升的需要,采用低温多晶硅(LTPS)技术制备TFT,可使LCD/OLED显示产品具有高分辨率、反应速度快、解析度高、稳定性高、亮度高、开口率增大等特点。LTPS制程工艺是通过对沉积在玻璃基板表面的非晶硅进行热处理,使其转化成多晶硅,从而使电子迁移速率提高100倍以上。但是热处理温度高达600

700℃,而玻璃基板受热处理影响将产生不可逆收缩变形,导致上下基板在合片/成盒时出现像素点位置产生相对偏移,将产生永久漏光或黑点,造成像素显示不受控,形成显示疵点,影响显示面板质量。
[0003]低温多晶硅TFT在制造过程中需要在较高温度下多次处理,基板必须在多次高温处理过程中不能发生变形,这就对基板玻璃性能提出了更高的要求,优选的应变点高于650℃,以使基板在面板制程中具有尽量小的热收缩,因此基板的应变点温度越高越好。同时玻璃基板的热膨胀系数需要与硅的热膨胀系数相近,尽可能减小应力和破坏。为了便于生产,降低生产成本,作为显示器基板用的玻璃应该具有较低的熔化温度和液相线温度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种铝硅酸盐玻璃,以解决显示器基板用的玻璃热稳定性不足的问题。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:
[0006]一种铝硅酸盐玻璃,包括如下重量百分比原料:60

65%的SiO2、17

21.5%的Al2O3、0.4

1.5%的B2O3、1

5%的MgO、3

6%的CaO、0.9

2.1%的SrO、0.075

0.21%的ZnO、6

9.5%的BaO和0.15

0.3%的SnO2。
[0007]SiO2是玻璃形成体,构成玻璃骨架的成分,增加SiO2含量,会提升耐化学性、机械强度、应变点。如果SiO2过多,玻璃的高温粘度增加,造成难熔,加剧耐材侵蚀。SiO2含量较低则不易形成玻璃,应变点下降,膨胀系数增加,耐酸性和耐碱性均会下降;考虑到熔化温度、玻璃膨胀系数、机械强度、玻璃料性等性能,因此综合调整用量为60

65%的S iO2。
[0008]Al2O3是中间体氧化物,用于提高玻璃结构的强度和应变点,改善玻璃化学稳定性,降低玻璃析晶倾向,Al2O3含量过多,玻璃难以熔制、料性短,易析晶,Al2O3含量较低,玻璃容易失透,机械强度较低,不利于成型。因此综合调整用量为17

21.5%的Al2O3。
[0009]B2O3能单独生成玻璃,是一种很好的助熔剂,能降低玻璃粘度、介电损耗、振动损耗,改善玻璃脆性、韧性和光透过率。在玻璃中具有[BO4]四面体和[BO3]三角体两种结构,高温熔化条件下B2O3难于形成[BO4],可降低高温粘度,低温时B有夺取游离氧形成[BO4]的趋势,使结构趋于紧密,提高玻璃的低温粘度,防止析晶现象的发生,但加入过多的B2O3会降低
应变点温度,因此综合调整用量为0.4

1.5%的B2O3。
[0010]MgO,具有降低高温粘度、增加低温粘度的作用,能够增加玻璃杨氏模量,降低表面张力,抑制玻璃脆度增大的作用,因此用量为1

5%的MgO。
[0011]碱土金属氧化物RO(CaO、SrO、BaO)可以提高玻璃应变点、杨氏模量、降低热膨胀系数。可有效降低玻璃的高温粘度从而提高玻璃的熔融性及成形性,含量过多,会增加失透分相的发生几率。其中SrO可以提高玻璃的化学稳定性和加速玻璃熔化,但含量过高时会使澄清出现二次气泡,还会导致玻璃密度增加。因此综合调整用量为SrO含量为0.9

2.1%。
[0012]BaO用于降低玻璃的粘度并促进玻璃的熔融和防止玻璃出现析晶。因此用量为BaO优选为6

9.5%。促进硅酸盐反应进程和降低高温表面张力,在池炉料山后段引起泡层翻腾和气体分压改变,有效促进熔化及澄清过程。
[0013]ZnO可以改善玻璃的熔化质量,提高玻璃的均匀性,提高玻璃化学稳定性、热稳定性,但是过量玻璃易析晶,因此综合调整用量为0.075

0.21%的ZnO。
[0014]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,SiO2+Al2O3<83%。
[0015]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,SiO2/(Al2O3+B2O3)为2.6

3.6。
[0016]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,(Al2O3+B2O3)/
[0017](MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)为1.0

1.35。
[0018]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,BaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.38

0.53。
[0019]作为本专利技术的进一步方案,BaO的引入方式为BaCO3、BaSO4和Ba(NO3)2中的至少一种,优选BaCO3。
[0020]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,ZnO/
[0021](MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)为0.005

0.013。
[0022]作为本专利技术的进一步方案,铝硅酸盐玻璃中还包括复合澄清剂,所述复合澄清剂为硫酸盐、硝酸盐、氯化物和氟化物中的两种或者多种。
[0023]作为本专利技术的进一步方案,以重量百分比计,复合澄清剂的添加量≤1%。
[0024]作为本专利技术的进一步方案,应变点>695℃,30

380℃范围内的热膨胀系数为≤39
×
10
‑7/℃,密度≤2.60g/cm3,杨氏弹性模量>85GPa。
[0025]本专利技术的有益效果:
[0026]1.本专利技术制得的碱土铝硅酸盐玻璃,适用于大规模工业生产,适合于溢流法、浮法等多种方式生产制造,更适合制造8.5代及以上高世代玻璃基板;制得的玻璃具有弹性模量高(>85GPa)、600℃保温10mi n热收缩率低(≤10ppm)、高应变点(>695℃)等优良特性。
[0027]2.本专利技术的铝硅酸盐玻璃中各组分S iO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO之间的配合作用,使得玻璃具有优良的综合性能,该铝硅酸盐玻璃为环境友好型碱土铝硅酸盐玻璃体系,符合平板显示行业发展趋势。用溢流下拉法或者浮法工艺生产成玻璃基板,在高温制程中不变形,制备得到的玻璃具有较高的应变点、较低的熔化温度、较低的膨胀系数、较高的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铝硅酸盐玻璃,其特征在于,包括如下重量百分比原料:60

65%的SiO2、17

21.5%的Al2O3、0.4

1.5%的B2O3、1

5%的MgO、3

6%的CaO、0.9

2.1%的SrO、0.075

0.21%的ZnO、6

9.5%的BaO和0.15

0.3%的SnO2。2.根据权利要求1所述的一种铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以重量百分比计,SiO2+Al2O3<83%。3.根据权利要求1所述的一种铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以重量百分比计,SiO2/(Al2O3+B2O3)为2.6

3.6。4.根据权利要求1所述的一种铝硅酸盐玻璃,其特征在于,以重量百分比计,(Al2O3+B2O3)/(MgO+CaO+...

【专利技术属性】
技术研发人员:舒众众刘群娟刘伟超张叶陈晓丹王龙龙
申请(专利权)人:蚌埠中光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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