一种高均匀性的UV固化装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高均匀性的UV固化装置，包括照射结构、传输结构和检测结构，其中：照射结构设置于照射工位的上方；检测结构设置于照射工位的下方；传输结构的输送端水平经过照射工位；照射结构被配置为照射照射工位的工件；检测结构被配置为检测照射工位的光量的均匀性；传输结构被配置为将工件传送经过照射工位；在照射工位对工件照射前，检测结构的检测端移动至照射工位进行光量均匀性的检测，然后由传输结构将工件移动经过照射工位，照射结构对照射工位的工件进行照射。通过检测结构的检测端设置为可调节伸缩，可避免与传输结构的输送端发生磕碰，有效提高检测精度和检测结构的传感器的使用寿命。传感器的使用寿命。传感器的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种高均匀性的UV固化装置


[0001]本专利技术属于半导体及显示
，尤其涉及一种高均匀性的UV固化装置。

技术介绍

[0002]在半导体产品制造过程中，部分工序需要使用UV灯进行照射。而现有的工艺为UV灯直接照射产品，由于灯管为弧形，不同角度有光量差异，使产品表面不同位置的受光量不同，无法满足产品生产要求。
[0003]而要使产品表面不同位置的受光量相同，则需要在照射位置设置检测点位，目前的检测设备的检测端与经过照射工位的工件距离过近，容易导致检测端损坏或偏移，使得检测结果精度下降。

技术实现思路

[0004]为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种高均匀性的UV固化装置通过将检测设备的检测端设置为可移动式，在工件照射过程中远离照射工位，避免发生磕碰，同时对检测端传感器进行罩盖保护，提高了检测端传感器的使用寿命和检测结果的精度。
[0005]技术方案如下：
[0006]一种高均匀性的UV固化装置，包括照射结构、传输结构和检测结构，其中：照射结构设置于照射工位的上方；检测结构设置于照射工位的下方；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高均匀性的UV固化装置，其特征在于，包括照射结构、传输结构和检测结构，所述检测结构还包括快门罩和开关驱动装置，其中：所述照射结构设置于照射工位的上方；所述检测结构设置于所述照射工位的下方；所述传输结构的输送端水平经过所述照射工位；所述照射结构被配置为照射所述照射工位的工件；所述检测结构被配置为检测所述照射工位的光量的均匀性；所述传输结构被配置为将工件传送经过所述照射工位；在所述照射工位对工件照射前，所述检测结构的检测端移动至所述照射工位进行光量均匀性的检测，所述照射结构根据检测结果调整照射效果；当所述照射工位的光量均匀性达到设定标准后，所述检测结构的检测端移动远离所述照射工位，然后由所述传输结构将工件移动经过所述照射工位，所述照射结构对所述照射工位的工件进行照射；当所述检测结构的检测端下降至最低位置时，所述快门罩罩设于所述检测结构的检测端上方；所述开关驱动装置被配置为驱动所述快门罩水平移动，使所述快门罩离开或返回所述检测结构的检测端上方进行罩盖。2.根据权利要求1所述的高均匀性的UV固化装置，其特征在于，所述检测结构包括升降驱动装置、升降平台和至少一个传感器，其中：所述升降平台设于所述照射工位的下方；所述升降平台与工件的传输方向平行设置；所述升降驱动装置被配置为驱动所述升降平台进行升降动作，使所述升降平台移动至所述照射工位或远离所述照射工位；所述传感器安装在所述升降平台的上表面；所述传感器被配置为检测所述照射工位的光量的均匀性。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：李宏伟，
申请(专利权)人：常熟五临天光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：