光电管制造技术

光电管包括：壳体，其包括光透过部；电子发射部，其由设置于壳体的凹部保持，包括在壳体内朝向光透过部侧的凹状的光电面；和电子捕捉部，其在壳体内配置于光透过部与光电面之间。电子捕捉部的至少一部分位于光电面的内侧的区域内。区域内。区域内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光电管


[0001]本专利技术涉及光电管。

技术介绍

[0002]已知有一种光电管，其包括：壳体，其包含光透过部；电子发射部(光电阴极)，其包含配置于壳体内的光电面；和网状或点状的电子捕捉部(阳极)，其形成于光透过部的电子发射部侧的表面(例如，参照专利文献1、2)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2019
‑
067494号公报
[0006]专利文献2：日本特开2018
‑
097925号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]在如上所述的光电管中，为了提高从外部入射到光透过部的光到达光电面的概率，如果粗略地形成网状的电子捕捉部或者较小地形成点状的电子捕捉部，则从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率有可能降低。另一方面，如果为了提高从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率而密集地形成网状的电子捕捉部或者较大地形成点状的电子捕捉部，则从外部入射到光透过部的光到达光电面的概率有可能降低。因此，如上所述的光电管的结构不能说是光的检测效率高的结构。
[0009]本专利技术的目的在于提供一种能够提高光的检测效率的光电管。
[0010]用于解决课题的方法
[0011]根据本专利技术的一个方面的光电管包括：壳体，其包括光透过部；电子发射部，其由设置于壳体的凹部保持，并且包括在壳体内朝向光透过部侧的凹状的光电面；和电子捕捉部，其在壳体中配置在光透过部与光电面之间，电子捕捉部的至少一部分位于光电面内侧的区域内。
[0012]在上述光电管中，电子发射部包括在壳体内朝向光透过部侧的凹状的光电面。由此，从外部入射到光透过部的光容易到达光电面。因此，能够提高从外部入射到光透过部的光到达光电面的概率。另外，电子捕捉部的至少一部分位于凹状的光电面的内侧的区域内。由此，从光电面放出的光电子容易到达电子捕捉部。因此，能够提高从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率。如上所述，根据上述光电管，能够提高光的检测效率。
[0013]在本专利技术的一个方面的光电管中，光电面可以包含底面和侧面，侧面可以以越远离底面倾斜度越增加的方式弯曲。由此，从光电面放出的光电子更容易到达电子捕捉部。因此，能够进一步提高从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率。
[0014]在本专利技术的一个方面的光电管中，光电面也可以在从光透过部侧观察的情况下呈圆形。由此，从光电面放出的光电子更容易到达电子捕捉部。因此，能够进一步提高从光电
面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率。
[0015]在本专利技术的一个方面的光电管中，电子捕捉部可以是板状的部件，以在从光透过部侧观察的情况下分割壳体内的区域的方式配置。由此，以大的入射角入射到光透过部的光也容易被电子捕捉部的一对主面分别反射而到达光电面。因此，能够进一步提高从外部入射到光透过部的光到达光电面的概率。另外，从光电面放出的光电子容易到达电子捕捉部的一对主面的每一个。因此，能够进一步提高从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率。
[0016]在本专利技术的一个方面的光电管中，也可以是，壳体还包括具有凹部的主体部，光透过部以封闭凹部的开口的方式安装于主体部，电子发射部和电子捕捉部由主体部支承。由此，能够容易且可靠地实现电子捕捉部的至少一部分位于凹状的光电面的内侧的区域内的结构。
[0017]在本专利技术的一个方面的光电管中，电子发射部可以配置于凹部的内表面，电子捕捉部可以架设于凹部的开口缘。由此，能够以高效的布局实现电子捕捉部的至少一部分位于凹状的光电面的内侧的区域内的结构。
[0018]本专利技术的一个方面的光电管还可以包括与电子捕捉部电连接的导电部，导电部的一部分和电子发射部的一部分在主体部的与光透过部相反侧的表面向外部露出。由此，在不妨碍光向光透过部的入射且外部配线的接线容易的同一面(主体部中的与光透过部相反的一侧的表面)，能够将外部配线分别与导电部的一部分和电子发射部的一部分电连接。
[0019]根据本专利技术的一个方面的光电管还可以包括导电层，该导电层构成为在壳体内以与光电面相对的方式沿着光透过部配置，并使光通过。由此，例如，通过以电子捕捉部的电位为基准向电子发射部赋予负的电位，以电子发射部的电位为基准向导电层赋予负的电位(或与电子发射部的电位相同的电位)，即使从光电面放出的光电子中的一部分的光电子朝向光透过部行进，通过在该一部分的光电子与导电层之间产生的斥力，该一部分的光电子也会弹回而容易到达电子捕捉部。因此，能够进一步提高从光电面放出的光电子被电子捕捉部捕捉的概率。
[0020]专利技术效果
[0021]根据本专利技术，能够提供一种能够提高光的检测效率的光电管。
附图说明
[0022]图1是一个实施方式的光电管的俯视图。
[0023]图2是沿着图1所示的II
‑
II线的光电管的截面图。
[0024]图3是沿着图1所示的III
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III线的光电管的截面图。
[0025]图4是图1所示的光电管的分解立体图。
[0026]图5是第1变形例的光电管的截面图。
[0027]图6是第1变形例的光电管的截面图。
[0028]图7是第2变形例的光电管的截面图。
[0029]图8是第2变形例的光电管的电子捕捉部的立体图。
[0030]图9是第3变形例的光电管的分解立体图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0032]如图1、图2和图3所示，光电管1包括壳体2、电子发射部3、电子捕捉部4、导电层5、一对第1导电部(导电部)6和第2导电部7。在光电管1中，电子发射部3作为光电阴极发挥功能，电子捕捉部4作为阳极发挥功能。光电管1的检测对象的光例如是紫外线。
[0033]壳体2包括主体部21和光透过部22。主体部21具有在Z轴方向上的一侧开口的凹部23。在主体部21中，凹部23由底壁24和侧壁25划定。在凹部23与侧壁25之间设置有以大致包围凹部23的方式形成的槽部26，实现被赋予不同电位的部件间的耐电压特性的提高。主体部21例如是在从Z轴方向观察的情况下呈正方形(一边的长度：10mm左右)的板状的部件(厚度：数mm的程度)，由绝缘性材料(例如科瓦玻璃(Kovar glass))形成。光透过部22以封闭凹部23的开口的方式安装于主体部21。光透过部22使光电管1的检测对象的光透过。光透过部22例如是在从Z轴方向观察的情况下呈正方形(一边的长度：10mm左右)的板状的部件(厚度：1mm以下)，由绝缘性材料(例如石英玻璃)形成。在本实施方式中，壳体2内的区域维持为高真空。
[0034]如图4所示，在主体部21的侧壁25的端面25a(光透过部22侧的端面)呈框状配置有基底层11。在光透过部22的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光电管，其包括：壳体，其包括光透过部；电子发射部，其由设置于所述壳体的凹部保持，包含在所述壳体内朝向所述光透过部侧的凹状的光电面；和电子捕捉部，其在所述壳体内配置在所述光透过部与所述光电面之间，所述电子捕捉部的至少一部分位于所述光电面的内侧的区域内。2.如权利要求1所述的光电管，其中，所述光电面包含底面和侧面，所述侧面以越远离所述底面倾斜度越增加的方式弯曲。3.如权利要求1或2所述的光电管，其中，所述光电面在从所述光透过部侧观察的情况下呈圆形。4.如权利要求1～3中任一项所述的光电管，其中，所述电子捕捉部是板状的部件，以在从所述光透过部侧观察的情况下分割所述壳体内的区域的方式配置。5.如权利要求1～4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小玉刚史，山田将来，原真一，梅林直纪，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：