高灵敏度雨量传感器制造技术

高灵敏度雨量传感器采用单晶硅膜（１）作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷（３）作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块（６）的下表面作为电容上电极，在硅质量块（６）的上表面是一层氧化硅（４），绝缘衬底上溅射的金属（２）作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个２×２以上的二维阵列，衬底与硅质量块（６）用导电胶（５）进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。本传感器是将雨水的冲击力转换成压敏电容信号，根据电容的变化量间接检测雨量的大小。该传感器灵敏度高，温度稳定性好，体积小，便携性好，成本低的优点，能广泛应用于各种场合。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基于微机械(MEMS)硅体加工的雨量传感器，尤其是采用 硅作为敏感材料，玻璃或陶瓷等非硅材料作为衬底的电容式雨量传感器。
技术介绍
迄今为止，国内外已经投入使用的固态存储雨量计大部分是由翻斗式传感器与 固态数据采集记录装置-一固态存储记录仪(以下简称记录仪)连接组成。翻斗式雨量 计有两种形式一双翻斗式和单翻斗式，目前分别用于II型站和CAWS型站。现有固态存储雨量计存在着明显的缺陷和不足，主要是传感技术落后于信息处 理技术。现有翻斗式雨量传感器结构简单、无功耗的突出优点使其得到广泛推广使 用，但该传感器自身固有的缺陷和不足之处十分明显和突出，如:测量精度差、测量 误差随雨强变化剧烈、受外界随机因素影响大、仪器安装调整烦琐，使用中规范检 定困难，由于存在可动结构需要经常清理和维护等等。在其他的方面各种新型的雨 量传感器得到了大量的应用，如用于化工业，建筑和车辆上的雨量传感器。在雨量 传感器中常用的测量原理有(1)重量(2)光学变化(3)电容(4)电阻。比较典型的是自动控制汽车刮水系统的雨量传感器。该雨量传感器检测雨量的 方法主要有电容式、红外散射式。正常天气情况下，目前本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高灵敏度雨量传感器，其特征在于该传感器采用单晶硅膜（１）作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷（３）作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块（６）的下表面作为电容上电极，在硅质量块（６）的上表面是一层氧化硅（４），绝缘衬底上溅射的金属（２）作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个２×２以上的二维阵列，且单元并联在一起，衬底与硅质量块（６）用导电胶（５）进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾兴莲，秦明，余辉洋，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]