微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置制造方法及图纸

微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器（１６）、差分放大器（１７）、自动增益控制器（１８）；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器（ａ）、第二功率传感器（ｂ）、第三功率传感器（ｃ）；而且这种结构是基于ＭＥＭＳ技术的，具有ＭＥＭＳ的基本优点，如重量轻、功耗低等。这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微波功率检测装置，属于微电子机械系统的

技术介绍
在微波技术研究中，微波功率是表征微波信号特征的一个重要参数。在微波信号的产生、传输及接收各个环节的研究中，微波功率的检测是必不可少的。最常见的微波功率检测器是基于热电转换原理的微波功率传感器，它把微波信号通过负载电阻转化成热，然后再利用热电堆的Seebeck效应把此热转换成与待测微波功率成正比的直流电压输出。传统微波功率传感器的缺点在于通过输出的直流电压计算待测微波功率时，并没有考虑微波损耗造成的待测功率的减少，从而影响检测的精确度。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，MEMS技术与硅(Si)工艺或砷化镓(GaAs)工艺相兼容从而使微波功率检测向系统级发展成为可能，本专利技术即为基于此工作原理的检测装置。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的是提供一种基于MEMS技术的微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率和微波功率时，检测出其差异以实现微波损耗补偿，从而提高微波功率检测的精确性。 技术方案本专利技术的微电子机械微波损耗本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，其特征在于该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器（１６）、差分放大器（１７）、自动增益控制器（１８）；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器（ａ）、第二功率传感器（ｂ）、第三功率传感器（ｃ）；功率分配器输入端（７）接待测微波功率，功率分配器第一输出端（８）接第二功率传感器（ｂ）的共面波导传输线（１）上，功率分配器第二输出端（９）接第三功率传感器（ｃ）的共面波导传输线（１）上，与第一待测微波功率Ｐ１和第二待测微波功率Ｐ２幅值相同的直流功率接到第一功率传感器（ａ）的共面波导传输线（１）上；第一功率传感器（ａ）的压焊块（４）连接到差分放大器...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，王德波，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[]