【技术实现步骤摘要】
基于简易光路结构的法布里
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珀罗复合腔高温压力传感器
[0001]本专利技术涉及压力传感器结构，属于压力测量领域。
技术介绍
[0002]光学法布里
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珀罗(法珀)复合腔结构的高温压力传感器在化石燃料生产、航空航天推进应用和炼钢的生产起到了至关重要的作用，对于这些系统的压力和温度进行准确和实时监控，不仅可以预测系统的健康状况，还可以为提高能源效率提供有价值的信息，节省成本。
[0003]常规的法珀压力传感器系统由单根光纤向复合腔传感器芯片发送光源信号，因为单根光纤与复合腔传感器芯片之间存在间隙，该间隙叫做空气腔，当光源到达单根光纤平头处即将进入空气腔中时，因为单根光纤与空气腔的介质不同，光源会在单根光纤和空气腔连接处发生反射，因为单根光纤平头处相当于一个法珀表面(相当于一个光学平面)，具有反射性能，当光源进一步透射到空气腔与复合腔传感器芯片连接处时，在空气腔与复合腔传感器芯片连接处也会发出反射光，当光源进一步进入复合腔传感器芯片中时，又因复合腔传感器芯片是由压力敏感膜片，真空腔，基...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于简易光路结构的法布里
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珀罗复合腔高温压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括光源(1)、双光纤光路结构(2)、复合腔传感器芯片(7)和压力信号解调装置(9)；双光纤光路结构(2)包括一号单根光纤(4)、光纤一分二金属封装(5)、双光纤封装皮(6)和二号单根光纤(8)；一号单根光纤(4)的首端端面为8
°
倾斜端面，二号单根光纤(8)的首端端面为8
°
倾斜端面，一号单根光纤(4)的尾端端面和二号单根光纤(8)的尾端端面均为平齐端面；一号单根光纤(4)和二号单根光纤(8)各从光纤一分二金属封装(5)中的一个输入孔中进入，一同汇入到光纤一分二金属封装(5)内输出孔中，并从所述输出孔中一同输出；从光纤一分二金属封装(5)输出孔出来的一号单根光纤(4)和二号单根光纤(8)被双光纤封装皮(6)封装在一起；光源(1)发出的光从一号单根光纤(4)的首端端面进入一号单根光纤(4)中，从一号单根光纤(4)的尾端端面出射，进入到复合腔传感器芯片(7)中，经过复合腔传感器芯片(7)处理形成带有压力信号的干涉光；所述带有压力信号的干涉光从二号单根光纤(8)的尾端端面进入到二号单根光纤(8)中，再从二号单根光纤(8)的首端端面出射进入压力信号解调装置(9)中，压力信号解调装置(9)对带有压力信号的干涉光进行解调，得到压力值进行显示。2.根据权利要求1所述的基于简易光路结构的法布里
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【专利技术属性】
技术研发人员：孙志强，邵志强，王伟，宫占江，孙立凯，刘彬，单明广，徐兴烨，刘志远，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：
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