围绕中心波长1053nm具有大偏离角的介质型脉冲压缩光栅制造技术

技术编号:37973372 阅读:19 留言:0更新日期:2023-06-30 09:48
一种围绕中心波长1053nm具有大偏离角的介质型脉冲压缩光栅,包括金属介质和全介质两种构型,该光栅在纵向由下至上包括金属介质或全介质膜堆,高或低或高、低折射率材料搭配组成至少一层的阻隔层,以及顶部由低折射率材料经过部分或完全刻蚀形成的横向周期分布栅条的光栅层;两种光栅构型在未刻蚀前的反射率达99%。所述的光栅层栅条的周期在625~1000nm,刻蚀深度至少300nm,倾角大于70

【技术实现步骤摘要】
围绕中心波长1053nm具有大偏离角的介质型脉冲压缩光栅


[0001]本专利技术属于反射式光栅,特别是一种围绕中心波长1053nm具有大偏离角的介质型脉冲压缩光栅。

技术介绍

[0002]依托于高功率激光驱动的惯性约束聚变正处于重大突破的关键节点。国际上在加快提升激光能量以支持更大规模的聚变实验和能量增益,着力保障清洁能源和国家安全。全世界各科研机构利用啁啾脉冲放大技术(Chirped pulse amplification,以下简称为CPA)和光学参量啁啾脉冲放大技术(Optical parameter chirped pulse amplification,以下简称为OPCPA),将激光器输出能量推向千焦耳量级,使峰值功率达到数十拍瓦(PW)。
[0003]在CPA和OPCPA两种激光放大技术中,光栅压缩器是核心模块。光栅压缩器的关键元件是光栅。基于钕玻璃增益的皮秒(ps)大能量脉冲压缩器广泛采用高阈值介质型光栅,包括全介质光栅和金属介质混合光栅。
[0004]目前,由于中心波长1053纳米(nm)的脉冲压缩光栅的偏离角不超本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种围绕中心波长1053nm具有大偏离角的介质型脉冲压缩光栅,包括全介质和金属介质两种构型,其特征在于:所述的全介质的大偏离角的介质型脉冲压缩光栅,在纵向由下至上依次包括基层(1),高折射率材料和低折射率材料交替镀制的至少十六层的介质膜堆(2),高折射率材料和低折射率材料搭配组成至少一层的阻隔层(3),以及顶部由低折射率材料经过部分或完全刻蚀形成的横向周期分布栅条的光栅层(4);所述的金属介质的大偏离角的介质型脉冲压缩光栅,在纵向由下至上依次包括基层(1),高反射率的金属层(7),高折射率材料、低折射率材料交替镀制的至少六层的介质膜堆(2),高折射率材料和低折射率材料搭配组成至少一层的阻隔层(3),以及顶部由低折射率材料经过...

【专利技术属性】
技术研发人员:晋云霞韩昱行曹红超孔钒宇邵建达
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:

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