一种紫外激光器的和频晶体制造技术

本发明专利技术涉及激光紫外激光器的和频晶体技术领域，具体涉及一种紫外激光器的和频晶体，所述和频晶体的出光侧通光面上镀有保护膜，保护膜包括至少一层高介电常数金属氧化物膜层和至少一层光催化活性金属氧化物膜层，且高介电常数金属氧化物膜层和光催化活性金属氧化物膜层交替层叠设置。本发明专利技术通过在紫外激光器的和频晶体的出光侧通光面镀高介电常数金属氧化物膜层和光催化活性金属氧化物膜层作为保护膜，光催化活性粒子在紫外光子照射下可将表面的有机物彻底分解为CO2和H2O，减缓因有机物在单纯紫外光照射下反应不彻底生成固态状化合物吸附在通光面，同时高介电常数金属氧化物可以确保分解的水分子不会对晶体端面形成污染而影响输出特性。污染而影响输出特性。污染而影响输出特性。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外激光器的和频晶体


[0001]本专利技术涉及激光紫外激光器的和频晶体
，具体涉及一种紫外激光器的和频晶体。

技术介绍

[0002]基频激光通过倍频及和频技术转化为不同频率的激光，扩展了激光应用领域。但经过倍频、和频的激光，光子能量更高，倍频和紫外激光器的和频晶体通光面在长时间工作过程中会产生损伤和污染，影响激光稳定输出性能。特别是工业应用中，紫外激光器在7*24小时的使用条件下，不采用保护膜的方式，紫外激光器的和频晶体寿命往往只有2000小时，频繁的更换紫外激光器的和频晶体，造成产线宕机时间太长。

技术实现思路

[0003]为了克服上述现有技术存在的不足，本专利技术的目的是提供一种紫外激光器的和频晶体，能够有效解决现有的紫外激光器的和频晶体通光面容易损坏、需要经常更换和频晶体的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术的技术方案为一种紫外激光器的和频晶体，所述紫外激光器的和频晶体具有入光侧通光面和出光侧通光面，所述出光侧通光面上镀有保护膜，所述保护膜包括至少一层高介电常数金属氧化物膜层和至少一层光催化活本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外激光器的和频晶体，所述紫外激光器的和频晶体具有入光侧通光面和出光侧通光面，其特征在于：所述出光侧通光面上镀有保护膜，所述保护膜包括至少一层高介电常数金属氧化物膜层和至少一层光催化活性金属氧化物膜层，且所述高介电常数金属氧化物膜层和所述光催化活性金属氧化物膜层交替层叠设置。2.如权利要求1所述的紫外激光器的和频晶体，其特征在于：所述高介电常数金属氧化物膜层为HfO2膜层、ZrO2膜层、Ta2O5膜层中的任意一种，所述光催化活性金属氧化物膜层为TiO2膜层、Fe3O4膜层中的任意一种。3.如权利要求2所述的紫外激光器的和频晶体，其特征在于：所述高介电常数金属氧化物膜层为HfO2膜层，所述光催化活性金属氧化物膜层为TiO2膜层。4.如权利要求1
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3任一项所述的紫外激光器的和频晶体，其特征在于：所述保护膜靠近所述出光侧通光面一端的为高介电常数金属氧化物膜层，所述保护膜远离所述出光侧通光面一端的为光催化活性金属氧化物膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐开伟，徐进林，
申请(专利权)人：武汉华日精密激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：