【技术实现步骤摘要】
一种生物兼容材料双层薄膜电池及其制备方法
[0001]本专利技术涉及微电子
，具体涉及一种生物兼容材料双层薄膜电池及其制备方法。
技术介绍
[0002]传统的无机太阳能电池由于目前窄带隙半导体的严重光腐蚀限制了其发展，而最为廉价和有吸引力的太阳能电池材料非有机材料莫属：一方面由于有机材料合成成本低、功能易于调制、柔韧性及成膜性都较好；另一方面由于有机薄膜电池加工过程相对简单，可低温操作，器件制作成本也较低。但是有机薄膜电池存在的最大的缺点为几乎所有适用于电池的有机材料都具有较高的生物毒性，这对于未来生物电子的发展是极不兼容的。
[0003]随着生物电子以及可植入芯片等人工智能技术的发展，为了达到真正的生物可兼容性，电子器件对于材料的选择存在越来越高的要求。近年来，以GaAs、GaSb、GaInP、CuInSe2、CdS和CdTe等为代表的无机化合物薄膜太阳能电池，以及以双层异质结器件、本体异质结器件、混合蒸镀的小分子器件和有机/无机杂化器件等有机薄膜器件都有了长足的进展，但是以上器件均存在生物毒性，即无法完全与
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种生物兼容材料双层薄膜电池的制作方法，其特征在于，包括步骤：提供衬底；将制备底电极的靶材放在靶台上，利用底电极磁控溅射工艺在衬底上制备底电极，形成第一样品；在所述第一样品上形成第一旋涂薄膜，其中，所述第一旋涂薄膜为阴离子掺杂生物兼容材料溶液或者阳离子掺杂生物兼容材料溶液通过旋涂操作工艺制作的阴离子旋涂薄膜或者阳离子旋涂薄膜；在所述第一旋涂薄膜上形成第二旋涂薄膜；其中，所述第二旋涂薄膜为阳离子掺杂生物兼容材料溶液或者阴离子掺杂生物兼容材料溶液通过旋涂操作工艺制作的阳离子旋涂薄膜或者阴离子旋涂薄膜；将制备顶电极的靶材放在靶台上，利用磁控溅射工艺在第二旋涂薄膜形成顶电极。2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述第一样品上形成第一旋涂薄膜包括：在所述底电极上方进行旋涂操作工艺制作所述第一旋涂薄膜；或者，再次提供p形硅片或者本征硅片；在所述p形硅片或者本征硅片进行旋涂操作工艺制作第一旋涂薄膜；将述第一旋涂薄膜转印至所述第一样品上。3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述第一旋涂薄膜上形成第二旋涂薄膜包括：在所述第一旋涂薄膜上进行旋涂操作工艺制作第二旋涂薄膜；或者，再次提供p形硅片或者本征硅片；在所述p形硅片或者本征硅片进行旋涂操作工艺制作第二旋涂薄膜；将所述第二旋涂薄膜转印至所述第一旋涂薄膜上。4.如权利要求1至3任一项所述的制作方法，其特征在于，所述旋涂操作工艺包括步骤：滴涂阴离子或者阳离子掺杂生物兼容材料的溶液并进行至少一次旋涂操作，以将阴离子或者阳离子掺杂生物兼容材料溶液均匀涂在待涂衬底的表面；随后进行烘干工艺，形成阴离子旋涂薄膜或者阳离子旋涂薄膜，以制成旋涂薄膜的厚度为0.5μm
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10μm。5.权利要求4所述的制作方法，其特征在于，滴涂阴离子或者阳离子...
【专利技术属性】
技术研发人员：张冠张，李蕾，刘炎欣，
申请(专利权)人：北京大学深圳研究生院，
类型：发明
国别省市：
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