高功率交流变频电源制造技术

技术编号:3796191 阅读:188 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种高功率交流变频电源,包括直流电源、接头系统、靶材系统,其直流电源包括阴极和阳极,阴极和阳极分别通过线与设有的电桥和开关组合的一端相连接,电桥和开关组合的另一端通过线与接头系统上设有的两个电源接头相连接,接头系统与靶材系统相连接,靶材系统与设有的喷头系统相连接,靶材系统中设有第一靶材和第二靶材,喷头系统中设有第一喷头和第二喷头。本发明专利技术具有可以直接将120KW的直流电源当做120KW的交流电源来用,在镀膜线生产过程中使所镀的膜层均匀,不会产生色差,从而提高生产效率,节约成本的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电源装置,特别是一种高功率交流变频电源
技术介绍
在镀膜线生产过程中,现有的电源均采用120KW的直流电源,如图l所示 的装置,使用时需要两个120KW的直流电源,在靶材系统中,两个靶材的两侧 分别设有阳极和阴极,且在接头系统中也设有两个阳极接头和两个阴极接头, 但在生产过程中,直流电源会给镀膜的生产工艺方法带来很多负面影响,如会 产生阳极消失效应,从而使所镀的膜层不均匀,从而产生色差,降低工作效率, 很多公司在生产时为了解决阳极消失效应, 一般都是将直流电源直接换成高功 率的交流电源,这样会造成很大的浪费,且交流电源的价格也相对较高,从而 浪费成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服以上的不足,提供一种可以直接将120KW的直流 电源当做120KW的交流电源来用,使所镀的膜层均匀,不会产生色差,从而提 高生产效率,节约成本的高功率交流变频电源。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现 一种高功率交流变频电源,包括 直流电源、接头系统、靶材系统,其直流电源包括阴极和阳极,阴极和阳极分 别通过线与设有的电桥和开关组合的一端相连接,电桥和开关组合的另一端通 过线与接头系统上设有的两个电源接头相连接,接头系统与靶材系统相连接, 靶材系统与设有的喷头系统相连接,耙材系统中设有第一靶材和第二靶材,喷头系统中设有第一喷头和第二喷头。本专利技术与现有技术相比具有以下优点在直流电源和靶材系统中加入一个 电桥和开关组成的组合,可以使直流电源输出的正负极互相转换,从而提高了 生产效率,节约成本,且使所镀的膜层均匀,不会产生色差。 附图说明图1为现有技术的结构示意图2为本专利技术的结构示意图中标号1-直流电源、2-接头系统、3-靶材系统、4-阴极、5-阳极、6-线、7-电桥和开关组合、8-电源接头、9-第一靶材、10-第二靶材、11-第一喷 头、12-第二喷头。 具体实施例方式为了加深对本专利技术的理解,下面将结合实施例和附图对本专利技术作进一步详 述,该实施例仅用于解释本专利技术,并不构成对本专利技术保护范围的限定。如图2示出了本专利技术高功率交流变频电源的一种具体实施方式,包括直流 电源l、接头系统2、靶材系统3,其直流电源1包括阴极4和阳极5,阴极4 和阳极5分别通过线6与设有的电桥和开关组合7的一端相连接,电桥和开关 组合7的另一端通过线6与接头系统2上设有的两个电源接头8相连接,接头 系统2与靶材系统3相连接,耙材系统3与外部的喷头系统相连接,靶材系统 3中设有第一靶材9和第二靶材10,喷头系统中设有第一喷头11和第二喷头 12,第一靶材9和第二靶材10分别对应喷头系统中设有第一喷头11和第二喷 头12,在120KW的直流电源和靶材系统之间增加一个电桥和开关组合7,使得 直流电源输出的正负极可以相互转换,当第一靶材9为阳极时,第二靶材10 为阴极;当第一靶材9为阴极时,第二靶材10为阳极,通过这种转换,就避免了阳极消失效应对膜层的影响,使得所镀的膜层均匀,不会产生色差,从而达 到120KW直流电源当做交流电源使用的效果,这样不仅提高了生产效率,较直 接更换直流电源为交流电源相比,降低了成本。权利要求1、一种高功率交流变频电源,包括直流电源(1)、接头系统(2)、靶材系统(3),其特征在于所述直流电源(1)包括阴极(4)和阳极(5),所述阴极(4)和阳极(5)分别通过线(6)与设有的电桥和开关组合(7)的一端相连接,所述电桥和开关组合(7)的另一端通过线(6)与所述接头系统(2)上设有的两个电源接头(8)相连接,靶材系统(3)连接在所述接头系统(2)上,所述靶材系统(3)与外部喷头系统相连接。2、 根据权利要求1所述高功率交流变频电源,其特征在于所述靶材系统 中设有第一靶材(9)和第二耙材(10)。3、 根据权利要求l所述高功率交流变频电源,其特征在于所述喷头系统 中设有第一喷头(11)和第二喷头(12)。全文摘要本专利技术公开了一种高功率交流变频电源,包括直流电源、接头系统、靶材系统,其直流电源包括阴极和阳极,阴极和阳极分别通过线与设有的电桥和开关组合的一端相连接,电桥和开关组合的另一端通过线与接头系统上设有的两个电源接头相连接,接头系统与靶材系统相连接,靶材系统与设有的喷头系统相连接,靶材系统中设有第一靶材和第二靶材,喷头系统中设有第一喷头和第二喷头。本专利技术具有可以直接将120KW的直流电源当做120KW的交流电源来用,在镀膜线生产过程中使所镀的膜层均匀,不会产生色差,从而提高生产效率,节约成本的优点。文档编号C23C14/40GK101586230SQ20091003340公开日2009年11月25日 申请日期2009年6月19日 优先权日2009年6月19日专利技术者杨德兵, 王贤荣 申请人:江苏蓝星玻璃有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高功率交流变频电源,包括直流电源(1)、接头系统(2)、靶材系统(3),其特征在于:所述直流电源(1)包括阴极(4)和阳极(5),所述阴极(4)和阳极(5)分别通过线(6)与设有的电桥和开关组合(7)的一端相连接,所述电桥和开关组合(7)的另一端通过线(6)与所述接头系统(2)上设有的两个电源接头(8)相连接,靶材系统(3)连接在所述接头系统(2)上,所述靶材系统(3)与外部喷头系统相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨德兵王贤荣
申请(专利权)人:江苏蓝星玻璃有限公司
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]

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