可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨舟清洗设备技术领域，且公开了可延长使用寿命的PE

【技术实现步骤摘要】
可延长使用寿命的PE
‑
poly石墨舟硝酸清洗设备


[0001]本技术涉及石墨舟清洗设备
，具体为可延长使用寿命的PE
‑
poly石墨舟硝酸清洗设备。

技术介绍

[0002]在太阳能光伏领域中PECVD设备所需的工装石墨舟，使用一定批次需对其清洗，常规手动石墨舟一直维持在手动搬运上下料阶段，产量低下(极大部分为4槽/台，即2舟/8小时/台)，需清洗完成后人工再搬运至另外配备的烘干设备。
[0003]但是现有的PE
‑
poly石墨舟硝酸清洗设备在进行等离子操作清洗时没有设置加热设备，而等离子清洗的方式需要一定的温度，这就导致清洗效果不佳，在使用时的效果不好，需要对此进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供可延长使用寿命的PE
‑
poly石墨舟硝酸清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：可延长使用寿命的PE
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poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.可延长使用寿命的PE
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poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机壳(1)，其特征在于：所述等离子清洗机壳(1)的顶部设置有辅助处理箱(2)，所述辅助处理箱(2)的背面设置有加热装置(4)，所述辅助处理箱(2)的内部设置有清洗装置(3)，所述等离子清洗机壳(1)的内部设置有真空吸泵；所述加热装置(4)包括进风槽(401)、加热箱(402)、分隔架板(403)、耐腐蚀放置壳(404)、连通孔(405)、风机(406)、顶端放置板(407)、加热棒(408)、密封门体(409)和放置十字型架(410)，所述进风槽(401)开设于辅助处理箱(2)的背面，所述加热箱(402)固定连接于辅助处理箱(2)的背面，所述分隔架板(403)固定连接于辅助处理箱(2)的内壁，所述耐腐蚀放置壳(404)固定连接于辅助处理箱(2)的内底部，所述连通孔(405)开设于分隔架板(403)的内部，所述放置十字型架(410)固定连接于加热箱(402)的内壁，所述风机(406)固定连接于放置十字型架(410)的正面，所述密封门体(409)铰接于加热箱(402)的背面。2.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE
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poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述清洗装置(3)包括射频电源(301)和发射器(302...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪布双，高昂，韦新松，张勇，
申请(专利权)人：江苏中清先进电池制造有限公司，
类型：新型
国别省市：