【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可用于半导体加工产业、高精度绘图仪等领域的平面电机， 特别涉及一种水平行程易扩展的单动子结构的气磁混合悬浮平面电机。二
技术介绍
随着先进制造业的快速发展，高精度定位平台技术得到了深入的研究和发 展，在半导体产业、微立体光刻、纳米工作台、高精度绘图仪等领域具有广阔 的应用前景，其中最重要的应用是半导体产业中的高精度光刻定位平台。光刻 定位平台需在一个近似平面的空间范围内进行精密运动控制(故被称为平面电机)，包括在水平X轴、Y轴方向实现大行程运动(用于实现晶圆的快速步进和精密扫描)，在垂直Z轴方向实现微小运动及绕X轴、Y轴、Z轴实现微 小转动(用于实现调平调焦)。高精度平面电机的第一个关键技术是平面电机的结构设计，平面电机的结构可划分为多动子结构和单动子结构两大类，其中多动子结构平面电机的动子平台常采用粗动台和精动台层叠的双层结构，粗动台由直线电机驱动，精动 台由音圈电机、压电陶瓷驱动器、电磁铁驱动，用来校正粗动台的定位误差和扭摆误差；单动子结构平面电机的动子平台采用单层结构， 一般由若干组永磁 同步直线电机和电磁铁驱动。早期的平面电机研究集中在...
【技术保护点】
一种水平行程易扩展的气磁混合悬浮平面电机，包括沿水平ＸＹ平面安放的定子基体（１）以及浮于定子基体（１）上且与定子基体（１）平行的动子基体（２），其特征在于，定子基体（１）上表面嵌有波长方向沿着Ｘ轴和Ｙ轴两个方向的两自由度Ｈａｌｂａｃｈ永磁阵列（１１），动子基体（２）的下表面四角分别设有第一推力绕组（２１）、第二推力绕组（２２）、第三推力绕组（２３）、第四推力绕组（２４），其中，第一推力绕组（２１）和第三推力绕组（２３）的波长方向与Ｘ轴同向，第二推力绕组（２２）和第四推力绕组（２４）的波长方向与Ｙ轴同向，动子基体（２）的下表面四边分别设有第一气体静压轴承气垫（２５）、第二气体...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周赣，黄学良，张前，黄莉，周勤博，傅萌，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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