检查装置制造方法及图纸

检查装置包括：激光产生部，向检查对象基板照射激光；成像部，被检查对象基板的透过层反射的第一射出激光和被检查对象基板的散射层反射的第二射出激光入射至成像部；以及控制部，从第二射出激光获得基准图像，测量第一射出激光与第二射出激光之间的隔开距离。出激光与第二射出激光之间的隔开距离。出激光与第二射出激光之间的隔开距离。

【技术实现步骤摘要】
检查装置


[0001]本专利技术涉及检查方法和执行所述检查方法的检查装置。

技术介绍

[0002]在制造显示装置的工序中产生了异物的情况下，需要正确地检测所述异物的位置。为了检测所述异物的位置，主要使用向所述显示装置照射激光之后通过反射的激光获得图像的检查方法。但是，根据所述检查方法，很难正确检测在被弯曲或倾斜的显示装置中产生的异物的位置。

技术实现思路

[0003]本专利技术的一目的在于用于提供一种检查方法。
[0004]本专利技术的其他目的在于用于提供一种执行所述检查方法的检查装置。
[0005]但是，本专利技术的目的并不限于上述的目的，在不超出本专利技术的思想和领域的范围可以进行各种扩展。
[0006]为了达成前述的本专利技术的一目的，本专利技术的一实施例涉及的检查方法可以包括：向检查对象基板照射激光的步骤；第一射出激光被所述检查对象基板的透过层反射的步骤；第二射出激光被所述检查对象基板的散射层反射的步骤；从所述第二射出激光检测基准图像的步骤；以及测量所述第一射出激光与所述第二射出激光之间的隔开距离的步骤。
[0007]根据一实施例，可以是，所述激光被照射成与所述检查对象基板具有预定的角度。
[0008]根据一实施例，可以是，所述第一射出激光和所述第二射出激光彼此不重叠。
[0009]根据一实施例，可以是，所述检查方法还包括：从所述第一射出激光和所述第二射出激光获得图像流的步骤。
[0010]根据一实施例，可以是，从所述图像流中检测具有均匀的图案的所述基准图像。
[0011]根据一实施例，可以是，所述隔开距离基于所述激光与所述检查对象基板形成的角度和所述透过层的垂直厚度来测量。
[0012]根据一实施例，可以是，所述检查方法还包括：在从所述第一射出激光获得的图像中反映所述隔开距离来获得子图像的步骤。
[0013]根据一实施例，可以是，所述检查方法还包括：合并获得的所述子图像的步骤。
[0014]为了达成前述的本专利技术的其他目的，本专利技术的一实施例涉及的检查装置可以包括：激光产生部，向检查对象基板照射激光；成像部，被所述检查对象基板的透过层反射的第一射出激光和被所述检查对象基板的散射层反射的第二射出激光入射至所述成像部；以及控制部，从所述第二射出激光获得基准图像，测量所述第一射出激光与所述第二射出激光之间的隔开距离。
[0015]根据一实施例，可以是，所述激光被照射成与所述检查对象基板具有预定的角度。
[0016]根据一实施例，可以是，所述第一射出激光和所述第二射出激光彼此不重叠。
[0017]根据一实施例，可以是，所述控制部包括：图像流获得部，从所述第一射出激光和
所述第二射出激光获得图像流。
[0018]根据一实施例，可以是，所述控制部还包括：基准图像检测部，从所述图像流检测具有均匀的图案的所述基准图像。
[0019]根据一实施例，可以是，所述控制部包括：隔开距离测量部，基于所述激光与所述检查对象基板形成的角度和所述透过层的垂直厚度，测量所述隔开距离。
[0020]根据一实施例，可以是，所述控制部包括：子图像获得部，在从所述第一射出激光获得的图像中反映所述隔开距离来获得子图像。
[0021]根据一实施例，可以是，所述控制部还包括：图像合并部，合并获得的所述子图像。
[0022]根据一实施例，可以是，被相对于所述成像部倾斜的所述检查对象基板反射的所述第一射出激光和所述第二射出激光入射至所述成像部。
[0023](专利技术效果)
[0024]根据本专利技术的实施例涉及的检查装置和检查方法，测量被检查对象基板的透过层反射的第一射出激光与被所述检查对象基板的散射层反射的第二射出激光之间的隔开距离，从所述第二射出激光检测基准图像，从而可以与所述检查对象基板的位置和/或角度无关地正确地检测异物的位置。
[0025]但是，本专利技术的效果并不限于上述的效果，在不超出本专利技术的思想和领域的范围可以进行各种扩展。
附图说明
[0026]图1是用于说明本专利技术的一实施例涉及的检查方法的顺序图。
[0027]图2是用于说明执行图1的检查方法的检查装置的概念图。
[0028]图3是用于说明由图2的检查装置所包括的图像流获得部获得的图像流的图。
[0029]图4是用于说明由图2的检查装置所包括的基准图像检测部检测出的基准图像的图。
[0030]图5是用于说明由图2的检查装置所包括的隔开距离测量部测量隔开距离的方法的图。
[0031]图6是用于说明由图2的检查装置所包括的子图像获得部获得的子图像的图。
[0032]图7是用于说明由图2的检查装置所包括的图像合并部合并的合并基准图像的图。
[0033]图8是用于说明由图2的检查装置所包括的图像合并部合并的合并子图像的图。
[0034]图9是用于说明图2所示的检查对象基板的一例的剖视图。
[0035]图10是用于说明执行图1的检查方法的检查装置的概念图。
[0036]符号说明：
[0037]S1000：检查方法；1000：检查装置；100：激光产生部；200：成像部；300：图像流获得部；400：基准图像检测部；500：隔开距离测量部；600：子图像获得部；700：图像合并部；ITS：检查对象基板；TL：透过层；SL：散射层。
具体实施方式
[0038]以下，参照附图，更详细说明本专利技术的实施例。对于附图上的同一构成要素使用同一符号，省略对于同一构成要素的重复说明。
[0039]图1是用于说明本专利技术的一实施例涉及的检查方法的顺序图，图2是用于说明执行图1的检查方法的检查装置的概念图。
[0040]参照图1和图2，在本专利技术的一实施例涉及的检查方法S1000中，可以向检查对象基板ITS照射激光L(S100)，第一射出激光L1和第二射出激光L2入射至成像部200(S200)，从第一射出激光L1和第二射出激光L2获得图像流(例如，图3的图像流350)(S300)，从图像流350中检测具有均匀的图案的基准图像(例如，图4的基准图像450)(S400)，基于激光L与检查对象基板ITS之间的角度a和检查对象基板ITS(具体是，透过层TL)的垂直厚度h测量隔开距离x(S500)，在从第一射出激光L1获得的图像中反映隔开距离x来获得子图像(例如，图6的子图像650)(S600)，获得的子图像650被合并(S700)。
[0041]在一实施例中，检查方法S1000可以被检查装置1000执行。检查装置1000可以包括激光产生部100、成像部200和控制部CON。控制部CON可以包括图像流获得部300、基准图像检测部400、隔开距离测量部500、子图像获得部600和图像合并部700。
[0042]激光产生部100可以向检查对象基板ITS照射激光L。激光L可以与检查对象基板ITS具有预定的角度a。激光L可以被透过层TL和散射层SL分别反射。可以将被透过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，包括：激光产生部，向检查对象基板照射激光；成像部，被所述检查对象基板的透过层反射的第一射出激光和被所述检查对象基板的散射层反射的第二射出激光入射至所述成像部；以及控制部，从所述第二射出激光获得基准图像，测量所述第一射出激光与所述第二射出激光之间的隔开距离。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述激光被照射成与所述检查对象基板具有预定的角度。3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一射出激光和所述第二射出激光彼此不重叠。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述控制部包括：图像流获得部，从所述第一射出激光和所述第二射出激光获得图像流。5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：