本申请实施例提供了一种密封装置及半导体工艺设备，其中，所述密封装置包括：极靴组件、磁性件和磁性液体；所述极靴组件包括沿转轴的径向方向依次设置的导磁环、环形的柔性导磁件和非导磁件；所述柔性导磁件用于供所述转轴穿过，所述导磁环环绕所述柔性导磁件设置，且所述柔性导磁件与所述导磁环的内壁连接，所述非导磁件支撑于所述柔性导磁件的内壁与所述转轴之间；所述磁性件用于在所述极靴组件与所述转轴之间形成磁场，所述磁性液体在所述磁场的作用下分布于所述柔性导磁件与所述转轴的间隙区域。所述密封装置用于对密封装置与转轴的间隙进行密封。轴的间隙进行密封。轴的间隙进行密封。
【技术实现步骤摘要】
密封装置及半导体工艺设备
[0001]本申请涉及密封
，尤其涉及一种密封装置及半导体工艺设备。
技术介绍
[0002]磁流体密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的。当磁性液体注入磁场的间隙时，磁性液体可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”，从而利用磁性液体对间隙区域进行密封。
[0003]在相关技术中，可以使得转轴穿设于极靴组件，进而，可以在极靴组件与转轴之间的间隙中设置磁性液体，以利用磁性液体对极靴组件与转轴之间的间隙区域进行密封。在转轴偏摆量过大引起的间隙剧烈变化的情况下，磁性液体难以快速对变化的间隙进行封堵。从而，在转轴的偏摆量过大的情况下，存在密封失效的可能。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供了一种密封装置及半导体工艺设备，以解决在转轴的偏摆量过大的情况下，磁性液体对转轴进行密封可能出现密封失效的现象的问题。
[0005]本申请实施例提供的密封装置包括：极靴组件、磁性件和磁性液体；所述极靴组件包括沿转轴的径向方向依次设置的导磁环、环形的柔性导磁件和非导磁件；所述柔性导磁件用于供所述转轴穿过，所述导磁环环绕所述柔性导磁件设置，且所述柔性导磁件与所述导磁环的内壁连接，所述非导磁件支撑于所述柔性导磁件的内壁与所述转轴之间；所述磁性件用于在所述极靴组件与所述转轴之间形成磁场，所述磁性液体在所述磁场的作用下分布于所述柔性导磁件与所述转轴的间隙区域。
[0006]可选地，所述非导磁件的外径大于所述柔性导磁件在无压缩状态时的内径。
[0007]可选地，所述柔性导磁件包括导磁网和柔性密封层；所述柔性密封层用于对所述导磁网的网孔进行密封。
[0008]可选地，所述柔性密封层包括与所述导磁网连接的柔性薄膜.
[0009]可选地，所述非导磁件由非导磁金属丝制成。
[0010]可选地，所述非导磁件在垂直于所述转轴的轴线方向的截面呈完整环形；或者，所述非导磁件在垂直于所述转轴的轴线方向的截面包括多个沿圆周方向分布的弧形。
[0011]可选地，所述非导磁金属丝的直径为0.01至0.5毫米。
[0012]可选地，所述导磁环的数量为多个，多个所述导磁环沿所述转轴的轴线方向层叠设置。
[0013]可选地，所述柔性导磁件的数量与所述导磁环的数量相等，所述柔性导磁件一一对应地与所述导磁环连接。
[0014]可选地，所述柔性导磁件的厚度尺寸小于所述导磁环的厚度尺寸。
[0015]可选地，所述极靴组件的数量为至少两个；所述磁性件夹设于沿所述转轴的轴线方向分布的任意相邻两个所述极靴组件之间。
[0016]可选地，所述密封装置还包括壳体和第一密封圈，所述壳体设置有容置孔，所述极靴组件设置于所述容置孔内，所述导磁环的朝向所述容置孔的孔壁的部位开设有第一密封圈设置槽，所述第一密封圈设置于所述第一密封圈设置槽，且所述第一密封圈夹设于所述第一密封圈设置槽的槽壁与所述容置孔的孔壁之间。
[0017]可选地，所述密封装置还包括第二密封圈，所述壳体的外周部设置有沿背离所述容置孔的方向延伸的伸出部，所述伸出部的朝向所述容置孔的轴线方向的一侧壁开设有第二密封圈设置槽，所述第二密封圈设置于所述第二密封圈设置槽。
[0018]本申请实施例提供的半导体工艺设备包括：转轴、腔体和本申请实施例提供的任意一种密封装置；所述腔体开设有通孔和容置腔，所述通孔与所述容置腔连通，所述密封装置与所述通孔的孔口部位密封连接，所述转轴经所述柔性导磁件伸入所述容置腔内。
[0019]可选地，半导体工艺设备还包括晶圆承载装置，所述晶圆承载装置设置于所述容置腔内，所述晶圆承载装置与所述转轴的位于所述容置腔内的端部连接。
[0020]本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
[0021]在本申请的实施例中，转轴可穿设于柔性导磁件，且，非导磁件支撑于柔性导磁件的内壁与转轴之间。这样，在转轴发生偏摆现象的情况下，柔性导磁件可以随着转轴的偏摆对柔性导磁件与转轴之间的间隙进行补偿，可以使得柔性导磁件经非导磁件始终贴合于转轴的外周。进而，可以通过磁性液体分布于柔性导磁件与转轴的间隙区域的方式，利用磁性液体对柔性导磁件与转轴的间隙区域进行密封，以解决在转轴的偏摆量过大的情况下，磁性液体对转轴进行密封可能出现密封失效的现象的问题。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本申请实施例提供的一种密封装置的示意图；
[0024]图2为图1中示出的密封装置的局部示意图；
[0025]图3为本申请实施例提供的一种极靴组件的示意图，其示出了隐藏了柔性密封层的情形；
[0026]图4为本申请实施例提供的另一种密封装置的示意图；
[0027]图5为本申请实施例提供的一种包括密封装置的半导体工艺设备的示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]100
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密封装置；110
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极靴组件；111
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导磁环；112
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柔性导磁件；1121
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导磁网；1122
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柔性密封层；113
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非导磁件；120
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磁性件；130
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磁性液体；140
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壳体；141
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伸出部；150
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第一密封圈；160
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第二密封圈；170
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轴承；200
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转轴；300
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腔体；400
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驱旋转动器；500
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晶圆承载装置。
具体实施方式
[0030]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及
相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0031]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0032]此外，尽管本申请中所使用的术语是从公知公用的术语中选择的，但是本申请说明书中所提及的一些术语可能是申请人按他或她的判断来选择的，其详本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种密封装置，其特征在于，包括：极靴组件(110)、磁性件(120)和磁性液体(130)；所述极靴组件(110)包括沿转轴(200)的径向方向依次设置的导磁环(111)、环形的柔性导磁件(112)和非导磁件(113)；所述柔性导磁件(112)用于供所述转轴(200)穿过，所述导磁环(111)环绕所述柔性导磁件(112)设置，且所述柔性导磁件(112)与所述导磁环(111)的内壁连接，所述非导磁件(113)支撑于所述柔性导磁件(112)的内壁与所述转轴(200)之间；所述磁性件(120)用于在所述极靴组件(110)与所述转轴(200)之间形成磁场，所述磁性液体(130)在所述磁场的作用下分布于所述柔性导磁件(112)与所述转轴(200)的间隙区域。2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述非导磁件(113)的外径大于所述柔性导磁件(112)在无压缩状态时的内径。3.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述柔性导磁件(112)包括导磁网(1121)和柔性密封层(1122)；所述柔性密封层(1122)用于对所述导磁网(1121)的网孔进行密封。4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述柔性密封层(1122)包括与所述导磁网(1121)连接的柔性薄膜；所述非导磁件(113)由非导磁金属丝制成。5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述非导磁件(113)在垂直于所述转轴(200)的轴线方向的截面呈完整环形；或者，所述非导磁件(113)在垂直于所述转轴(200)的轴线方向的截面包括多个沿圆周方向分布的弧形。6.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述导磁环(111)的数量为多个，多个所述导磁环(111)沿所述转轴(200)的轴线方向层叠设置。7.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述柔性导磁...
【专利技术属性】
技术研发人员：李雪珍，杨帅，周厉颖，陈振伟，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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