密封装置及半导体工艺设备制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种密封装置及半导体工艺设备，其中，所述密封装置包括：极靴组件、磁性件和磁性液体；所述极靴组件包括沿转轴的径向方向依次设置的导磁环、环形的柔性导磁件和非导磁件；所述柔性导磁件用于供所述转轴穿过，所述导磁环环绕所述柔性导磁件设置，且所述柔性导磁件与所述导磁环的内壁连接，所述非导磁件支撑于所述柔性导磁件的内壁与所述转轴之间；所述磁性件用于在所述极靴组件与所述转轴之间形成磁场，所述磁性液体在所述磁场的作用下分布于所述柔性导磁件与所述转轴的间隙区域。所述密封装置用于对密封装置与转轴的间隙进行密封。轴的间隙进行密封。轴的间隙进行密封。

【技术实现步骤摘要】
密封装置及半导体工艺设备


[0001]本申请涉及密封
，尤其涉及一种密封装置及半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]磁流体密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的。当磁性液体注入磁场的间隙时，磁性液体可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”，从而利用磁性液体对间隙区域进行密封。
[0003]在相关技术中，可以使得转轴穿设于极靴组件，进而，可以在极靴组件与转轴之间的间隙中设置磁性液体，以利用磁性液体对极靴组件与转轴之间的间隙区域进行密封。在转轴偏摆量过大引起的间隙剧烈变化的情况下，磁性液体难以快速对变化的间隙进行封堵。从而，在转轴的偏摆量过大的情况下，存在密封失效的可能。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种密封装置及半导体工艺设备，以解决在转轴的偏摆量过大的情况下，磁性液体对转轴进行密封可能出现密封失效的现象的问题。
[0005]本申请实施例提供的密封装置包括：极靴组件、磁性件和磁性液体；所述极靴组件包括沿转轴的径向方向依次设置的导磁环、环形的柔性导磁件和非导磁件；所述柔性导磁件用于供所述转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封装置，其特征在于，包括：极靴组件(110)、磁性件(120)和磁性液体(130)；所述极靴组件(110)包括沿转轴(200)的径向方向依次设置的导磁环(111)、环形的柔性导磁件(112)和非导磁件(113)；所述柔性导磁件(112)用于供所述转轴(200)穿过，所述导磁环(111)环绕所述柔性导磁件(112)设置，且所述柔性导磁件(112)与所述导磁环(111)的内壁连接，所述非导磁件(113)支撑于所述柔性导磁件(112)的内壁与所述转轴(200)之间；所述磁性件(120)用于在所述极靴组件(110)与所述转轴(200)之间形成磁场，所述磁性液体(130)在所述磁场的作用下分布于所述柔性导磁件(112)与所述转轴(200)的间隙区域。2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述非导磁件(113)的外径大于所述柔性导磁件(112)在无压缩状态时的内径。3.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述柔性导磁件(112)包括导磁网(1121)和柔性密封层(1122)；所述柔性密封层(1122)用于对所述导磁网(1121)的网孔进行密封。4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述柔性密封层(1122)包括与所述导磁网(1121)连接的柔性薄膜；所述非导磁件(113)由非导磁金属丝制成。5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述非导磁件(113)在垂直于所述转轴(200)的轴线方向的截面呈完整环形；或者，所述非导磁件(113)在垂直于所述转轴(200)的轴线方向的截面包括多个沿圆周方向分布的弧形。6.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述导磁环(111)的数量为多个，多个所述导磁环(111)沿所述转轴(200)的轴线方向层叠设置。7.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述柔性导磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雪珍，杨帅，周厉颖，陈振伟，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：