电极形成方法、电子元件的制造方法以及电极形成装置制造方法及图纸

技术编号:37857418 阅读:7 留言:0更新日期:2023-06-15 20:47
本发明专利技术涉及一种电子元件的电极形成方法,其特征在于:作为为了制造电子元件而形成电极的方法,包括:边界线形成步骤,通过喷墨打印形成相当于电极图案的边缘的边界线;以及,电极主体形成步骤,通过喷墨打印形成填充到所述边界线的内侧的电极主体;在所述电极主体形成步骤中,通过利用边界线限制所打印的油墨而防止其溢出到外部,从而对电极图案的高度以及宽度进行控制。本发明专利技术可以通过喷墨打印首先形成防止油墨扩散的边界线之后再形成电极主体,从而可以达成喷墨打印的效果即提升电极图案的精密度,而且可以以在过去的油墨打印中无法达成的高度形成电极。进而,可以降低接近于边界线的边缘与中心部之间的高度偏差。的边缘与中心部之间的高度偏差。的边缘与中心部之间的高度偏差。

【技术实现步骤摘要】
电极形成方法、电子元件的制造方法以及电极形成装置


[0001]本专利技术涉及一种形成电子元件的电极的方法,尤其涉及一种通过喷墨打印形成电子元件的电极的方法。

技术介绍

[0002]电子元件是指利用电子在固体内移动的传导性的电子部件,在电子元件中形成有用于电流移动的电极。
[0003]可以根据多种电子元件的特性形成不同形态的电极,而且伴随着电子元件的小型化以及精密化,电极的大小变得越来越小且形状要求越来越精密。
[0004]电子元件之一即多层陶瓷电容器(MLCC,Multi Layer Ceramic Capacitor)顾名思义,是一种以对陶瓷进行层叠的方式制作的电容器。
[0005]电容器(capacitor)由彼此隔开的导电板(电极)以及位于所述导电板之间的电介质构成,当向彼此隔开的导电板之间加载电压时,在导电板上将分别诱导生成阴极以及阳极的电荷,从而产生电性引力。借助于在导电板上产生的电性引力,电荷将聚集在导电板之间并对能量进行存储,在所存储的能量达到电容器的容量之后,将不会再有电流流过。因为如上所述的存储并收集能量的特性而被称之为电容器,但是除了对能量进行存储的效果之外,还可以执行屏蔽直流电只允许交流电流过的功能,而且可以通过与二极管并用而构成将交流转换成直流的整流电路。尤其是,可以通过在电压较高的情况下收集电荷(充电)并在电压较低的情况下释放电荷(放电)而维持与电源电压相同大小的电位差,从而执行抵抗电压变化并防止电压的急剧变化的功能,因此可以起到稳定地调节电子产品内的电流并防止部件之间的电磁干扰现象的作用,并被大量适用于精密电子产品。
[0006]如上所述的电容器可以根据材质或材料制作成多种不同的类型,最近使用最多的类型为陶瓷电容器。陶瓷电容器是一种使用陶瓷作为电介质的电容器,可以通过使用具有顺电体(paraelectic)或铁电体(ferroelectric)特性的陶瓷而实现高电容。多层陶瓷电容器(MLCC)是陶瓷电容器的一种,通过陶瓷电介质与电极交叉层叠的结构,不仅可以以较小的大小制造出高电容的元件,还可以根据各种目的制造成不同的形态以及容量。
[0007]多层陶瓷电容器(MLCC)因为其大小较小而作为直接安装到电路基板上的表面安装器件(SMD,surface mount device)使用,在智能手机中会使用大约800~1000个多层陶瓷电容器(MLCC),在个人计算机(PC)中会使用大约1200个多层陶瓷电容器(MLCC),而在发光二极管电视(LED TV)中会使用大约2000个。最近伴随着汽车中所使用的电子设备的增加以及对电动汽车和自动驾驶的关注度的逐渐增加,对汽车电子设备用多层陶瓷电容器(MLCC)的需求也在逐渐增加。目前,在一般的汽车中会使用大约3000个多层陶瓷电容器(MLCC),而在电动汽车中会使用大约15000个,价格也比现有的多层陶瓷电容器(MLCC)更高。
[0008]图15是对一般的多层陶瓷电容器(MLCC)制造工程进行说明的顺序图。
[0009]在多层陶瓷电容器(MLCC)的制造过程中,以在陶瓷材质的电介质板的表面形成电
极并对形成有电极的电介质板进行层叠的方式制造。具体来讲,在如印刷电路基板等电介质板上利用Ni等形成电极形状的图案并对形成有电极图案的电介质板进行层叠和挤压之后裁切成所需要的大小,然后通过煅烧以及烧结而形成中间夹有电介质的电极彼此相向的层叠结构。接下来,通过形成对所层叠的电极进行连接的外部电极而制造出多层陶瓷电容器(MLCC)。
[0010]通常来讲,在电介质板上形成电极图案的过程是通过丝网印刷的方式执行。目前,因为电介质板的厚度较厚且对多层陶瓷电容器(MLCC)的大小以及精密度的要求并不高,因此利用丝网印刷的方式形成电极图案并无不可。但是伴随着对小型多层陶瓷电容器(MLCC)的要求变得越来越高而开发出了厚度越来越薄的电介质板,而且伴随着对精密多层陶瓷电容器(MLCC)的要求变得越来越高而需要形成大小更小且更加精密的电极图案,因此通过传统的利用丝网印刷的电极图案形成方法难以完成制作。
[0011]因此,正在大力开展与通过可以形成更加精密的图案的喷墨打印方式形成电极图案的技术相关的研究活动。在通过喷墨打印形成电极图案的情况下,可以按照所需要的电极图案的形态进行精密印刷,但是因为喷墨打印的特性而具有电极图案的厚度(从电介质板表面的高度)过薄的问题。而在为了维持电极的厚度而吐出较厚的液滴的情况下,会因为需要形成液滴的喷墨打印的特性而导致油墨的粘度过低的问题,从而因为油墨的扩散而导致电极图案的宽度发生变形。
[0012]因此,正在积极开展不仅仅是通过喷墨打印在电介质板上形成电极图案,还通过喷墨打印形成电介质层的技术,但是在电介质板的厚度充分变薄的现有技术中,与使用电介质板的情况相比具有整体工程时间变长的问题。
[0013]如上所述,人们一直努力尝试在形成电子元件的电极的过程中适用喷墨打印方式,但是因为喷墨打印所具有的特性而导致其适用领域受到限制的问题。
[0014]先行技术文献
[0015]专利文献
[0016](专利文献1)大韩民国注册专利10

0558448
[0017](专利文献2)大韩民国注册专利10

0606235

技术实现思路

[0018]本专利技术旨在解决如上所述的现有技术中存在的问题,其目的在于提供一种可以在维持喷墨打印的图案精密度的同时对电极图案的纵横比进行调节的全新的方法。
[0019]为了达成如上所述的目的,适用本专利技术的电子元件的电极形成方法,其特征在于:作为为了制造电子元件而形成电极的方法,包括:边界线形成步骤,通过喷墨打印形成相当于电极图案的边缘的边界线;以及,电极主体形成步骤,通过喷墨打印形成填充到所述边界线的内侧的电极主体;在电极主体形成步骤中,通过利用边界线限制所打印的油墨而防止其溢出到外部,从而对电极图案的高度以及宽度进行控制。
[0020]因为本专利技术通过喷墨打印形成电极,因此可以达成喷墨打印的效果即提升电极图案的精密度,进而通过在首先形成防止油墨扩散的边界线之后再形成电极主体,可以以在过去的油墨打印中无法达成的高度形成电极。
[0021]在所述边界线形成步骤中,通过对所打印的油墨的高度进行调节而对打印电极主
体的最大高度以及高度偏差进行控制为宜。
[0022]当喷墨打印的边界线的高度与目标电极主体高度相比过低时,构成边界线的油墨将无法防止构成电极主体的油墨扩散。
[0023]此外,当喷墨打印的边界线的高度过高时,填充到边界线内部的油墨的量也将随之增加,借此,可以减小电极主体中与边界线相接的电极主体的边缘高度以及远离边界线的电极主体的中心部高度之间的差异,从而降低电极图案的高度偏差。
[0024]因此,在所述边界线形成步骤中,所吐出的油墨的高度与目标电极主体高度相比达到40%以上为宜。
[0025]在所述边界线形成步骤中形成的边界线与本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子元件的电极形成方法,其特征在于:作为为了制造电子元件而形成电极的方法,包括:边界线形成步骤,通过喷墨打印形成相当于电极图案的边缘的边界线;以及,电极主体形成步骤,通过喷墨打印形成填充到所述边界线的内侧的电极主体;在所述电极主体形成步骤中,通过利用边界线限制所打印的油墨而防止其溢出到外部,从而对电极图案的高度以及宽度进行控制。2.根据权利要求1所述的电子元件的电极形成方法,其特征在于:在所述边界线形成步骤中,通过对所打印的油墨的高度进行调节而对打印电极主体的最大高度以及高度偏差进行控制。3.根据权利要求1所述的电子元件的电极形成方法,其特征在于:在所述边界线形成步骤中形成的边界线与在所述电极主体形成步骤中吐出的油墨不会发生混合的状态下执行所述电极主体形成步骤。4.根据权利要求3所述的电子元件的电极形成方法,其特征在于:在所述边界线的干燥状态下,在所述边界线形成步骤中形成的边界线以及在所述电极主体形成步骤中吐出的油墨将处于不会发生混合的状态。5.根据权利要求3所述的电子元件的电极形成方法,其特征在于:借助于在所述边界线形成步骤中使用的油墨以及在所述电极主体形成步骤中使用的油墨的性质差异,在所述边界线形成步骤中形成的边界线以及在所述电极主体形成步骤中吐出的油墨处于不会发生混合的状态。6.根据权利要求5所述的电子元件的电极形成方法,其特征在于:借助于在所述边界线形成步骤中使用的油墨以及在所述电极主体形成步骤中使用的油墨的溶剂差异,在所述边界线形成步骤中形成的边界线以及在所述电极主体形成步骤中吐出的油墨处于不会发生混合的状态。7.一种电子元件的制造方法,其特征在于:作为包括形成电极的工程的电子元件的制造方法,形成电极的工程,包括:边界线形成步骤,通过喷墨打印形成相当于电极图案的边缘的边界线;以及,电极主体形成步骤,通过喷墨打印形成填充到...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘在裂
申请(专利权)人:高山技术株式会社
类型:发明
国别省市:

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