电致发光显示装置以及方法制造方法及图纸

公开一种电致发光显示装置以及方法。根据本发明专利技术示例性实施方式的电致显示装置包括：基板，所述基板包括具有发光区的有源区以及非有源区；设置在所述基板上的平坦化层；设置在所述平坦化层上的发光元件；缓冲层，所述缓冲层设置在所述发光元件上并且在其表面中具有多个孔；以及设置在所述缓冲层上的氢陷阱层。结果，通过防止氢流入到氧化物薄膜晶体管，可改善薄膜晶体管的特性和可靠性。善薄膜晶体管的特性和可靠性。善薄膜晶体管的特性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
电致发光显示装置以及方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年12月3日在韩国提交的韩国专利申请No.10
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2021
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0171910的权益和优先权，通过引用将该专利申请的整体内容明确并入到本申请。


[0003]本专利技术涉及一种电致发光显示装置，更具体地，涉及一种使用氧化物薄膜晶体管的电致发光显示装置以及方法。

技术介绍

[0004]近来，随着我们的社会进入到面向信息的社会，用于在视觉上呈现电信息信号的显示装置的领域得到快速发展。相应地，正在开发在轻薄度和低功耗方面具有卓越性能的各种显示装置。
[0005]代表性显示装置包括液晶显示装置(LCD)、电润湿显示装置(EWD)、有机发光显示装置(OLED)等。
[0006]在这些各种显示装置之中，包括有机发光显示装置的电致发光显示装置是自发光显示装置，并且由于不同于具有单独光源的液晶显示装置，其不需要单独的光源，所以可被制造为轻且薄。此外，电致发光显示装置由于低压驱动而在功耗方面具有优势，并且在颜色的实现、响应速度、视角和对比度(CR)方面也表现优异。因此，期望电致发光显示装置应用于各个领域。
[0007]通过使用有机材料在被称为阳极和阴极的两个电极之间设置发光层来构建电致发光显示装置。然后，当来自阳极的空穴注入到发光层并且来自阴极的电子注入到发光层时，注入的电子和空穴彼此重新组合，以发光层中形成激子并且发光。

技术实现思路

[0008]本专利技术的一个方面是提供一种电致发光显示装置，其阻挡氢流入到氧化物薄膜晶体管。
[0009]本专利技术的目的不限于上述目的，所属领域的技术人员根据下文描述能够清楚地理解上文未提及的其他目的。
[0010]根据本专利技术示例性实施方式的电致发光显示装置可包括：基板，所述基板包括有源区以及非有源区，所述有源区具有发光区；设置在所述基板上的平坦化层；设置在所述平坦化层上的发光元件；缓冲层，所述缓冲层设置在所述发光元件上并且在其表面中具有多个孔；以及设置在所述缓冲层上的氢陷阱层。
[0011]根据本专利技术另一示例性实施方式的电致发光显示装置可包括：设置在基板上的平坦化层；设置在所述平坦化层上的发光元件；缓冲层，所述缓冲层设置在所述发光元件上并且在其表面中具有多个孔；以及氢陷阱层，所述氢陷阱层设置在所述缓冲层上并且在其表面上具有对应于所述孔的凹槽。
[0012]根据实施方式的方法包括：在基板上形成平坦化层；在所述平坦化层上形成发光元件；在所述发光元件上形成缓冲层；在所述缓冲层中形成多个孔；以及在所述缓冲层上形成氢陷阱层，所述氢陷阱层在其表面上具有多个凹槽，所述多个凹槽的每一个与所述多个孔的相应一个交叠。
[0013]根据实施方式的方法可以是制造电致发光显示装置的方法。
[0014]示例性实施方式的其他详细事项包括在详细描述和附图中。
[0015]根据本专利技术，通过在发光元件上形成氢陷阱层(hydrogen trap layer)阻挡氢流入到氧化物薄膜晶体管，从而可改善薄膜晶体管的特性和可靠性。
[0016]根据本专利技术的效果不限于以上例示的内容，在本申请中包括更多不同的效果。
附图说明
[0017]图1是根据本专利技术第一示例性实施方式的电致发光显示装置的框图。
[0018]图2是根据本专利技术第一示例性实施方式的电致发光显示装置的子像素的电路图。
[0019]图3是根据本专利技术第一示例性实施方式的电致发光显示装置的平面图。
[0020]图4是沿图3的线III
‑
III
’
截取的剖视图。
[0021]图5A和5B是图4的部分A的放大图。
[0022]图6是图解铝的氢陷阱特性的视图。
[0023]图7A至7C是图解在制造工艺期间图4的显示面板的一部分的视图。
[0024]图8是根据本专利技术第二示例性实施方式的电致发光显示装置的剖视图。
[0025]图9是图8的部分A的放大图。
[0026]图10是根据本专利技术第三示例性实施方式的电致发光显示装置的平面图。
[0027]图11是沿图10的线X
‑
X
’
截取的剖视图。
[0028]图12是图11的部分A的放大图。
[0029]图13是根据本专利技术第四示例性实施方式的电致发光显示装置的平面图。
[0030]图14是沿图13的线XIII
‑
XIII
’
截取的剖视图。
[0031]图15是图14的部分A的放大图。
具体实施方式
[0032]本专利技术的优点和特性及实现这些优点和特性的方法通过参照下面与附图一起详细描述的示例性实施方式将变得清楚。然而，本专利技术不限于在此公开的示例性实施方式，而是将以各种形式实现。仅通过示例的方式提供示例性实施方式，以便所属领域技术人员能够充分理解本专利技术的公开内容及本专利技术的范围。因此，本专利技术将仅由所附权利要求书的范围限定。
[0033]为了描述本专利技术的示例性实施方式而在附图中示出的形状、尺寸、比例、角度、数量等仅仅是示例，本专利技术并不限于此。在整个申请中相似的参考标记表示相似的元件。此外，在本专利技术下面的描述中，可省略对已知相关技术的详细解释，以避免不必要地使本专利技术的主题模糊不清。在此使用的诸如“包括”、“具有”和“包含”之类的术语一般旨在允许添加其他组件，除非这些术语与术语“仅”一起使用。
[0034]即使没有明确说明，组分仍被解释为包含通常的误差范围。
[0035]当使用诸如“在
……
上”、“在
……
上方”、“在
……
下方”和“在
……
之后”之类的术语描述两部分之间的位置关系时，可在这两个部分之间设置一个或多个部分，除非这些术语与术语“紧接”或“直接”一起使用。
[0036]当一元件或层设置在另一元件或层“上”时，该一元件或层可直接设置在另一元件或层上或者在它们之间可插置其他元件或其他层。
[0037]尽管使用术语“第一”、“第二”等描述各种组件，但这些组件不受这些术语限制。这些术语仅仅是用于区分一个组件与其他组件。因此，在本专利技术的技术构思内，下面提到的第一组件可以是第二组件。
[0038]在整个申请中相同的参考标记通常表示相同的元件。
[0039]为了便于说明示出了附图中所示的每个组件的尺寸和厚度，本专利技术不限于图示的组件的尺寸和厚度。
[0040]本专利技术的各实施方式的特征可彼此部分或整体地结合或组合，并且可在技术上以各种方式互锁和操作，这些实施方式可彼此独立地实施，或者彼此关联地实施。
[0041]下文中，将参照附图详细描述根据本专利技术的各示例性实施方式。
[0042]图1是根据本专利技术第一示例性实施方式的电致发光显示装置的框图。
[0043]参照图1，根据本专利技术第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电致发光显示装置，包括：基板，所述基板包括有源区以及非有源区，所述有源区具有发光区；设置在所述基板上的平坦化层；设置在所述平坦化层上的发光元件；缓冲层，所述缓冲层设置在所述发光元件上并且在其表面中具有多个孔；以及设置在所述缓冲层上的氢陷阱层。2.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述发光元件包括：阳极；设置在所述阳极上的发光单元；以及设置在所述发光单元上的阴极。3.根据权利要求2所述的电致发光显示装置，还包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管设置在所述基板上并且电连接至所述阳极，其中所述薄膜晶体管包括具有氧化物半导体的半导体层。4.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述多个孔在平面上具有棋盘形状，并且每个孔具有圆形形状。5.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述缓冲层包括铝氧化物，所述氢陷阱层包括铝。6.根据权利要求2所述的电致发光显示装置，其中所述缓冲层被设置为延伸至所述非有源区的一部分，以覆盖所述阴极。7.根据权利要求6所述的电致发光显示装置，其中所述缓冲层具有沿着所述阴极的倾斜侧表面的倾斜部。8.根据权利要求1所述的电致发光显示装置，其中所述多个孔设置在除了所述发光区之外的区域中的所述缓冲层的表面中。9.根据权利要求8所述的电致发光显示装置，其中所述缓冲层设置在除了所述发光区之外的区域中。10.根据权利要求9所述的电致发光显示装置，其中所述氢陷阱层设置在除了所述发光区之外的区域中。11.根据权利要求10所述的电致发光显示装置，其中所述电致发光显示装置被配置为顶部发光型。12.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑多娟，张哲荣，边尙模，金贤，黄裕智，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：