制造系统处的时间约束管理技术方案

提供一种用于制造系统处的时间约束管理的方法。接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求。所述操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作。确定要在所述操作集合期间处理的候选基板的第一集合。针对候选基板的第一集合运行在第一时间周期内的操作集合的第一模拟。所述模拟产生第一模拟输出，所述第一模拟输出指示直到第一时间周期的结束在模拟的操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目。在制造系统处启动操作集合以在第一时间周期内处理第一数目个候选基板。一数目个候选基板。一数目个候选基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造系统处的时间约束管理


[0001]本揭示案的实施方式大体而言涉及制造系统，且更特定地涉及时间约束管理。

技术介绍

[0002]在基板成为制成品(例如，晶片、电子元件等)之前，可根据各自在制造系统的工具处执行的操作的集合来处理基板。在一些情形下，一或更多个操作可能经受时间约束。时间约束是指在一操作完成之后用以完成后续操作的特定时间量。举例而言，可根据其中在基板表面上沉积第一材料的第一操作及其中在第一材料上沉积第二材料的第二操作来处理基板。第一操作及第二操作可能经受时间约束，其中第二材料将在特定时间量内沉积在第一材料上，否则第一材料会开始劣化且基板无法用以生产制成品(亦即，变得不可用)。时间约束窗是指用以完成引发时间约束的操作(称作启动操作)的特定时间量及完成启动操作之后用以完成一后续操作(称作结束操作)的时间量。在一些情形下，可在该启动操作与该结束操作之间执行一或更多个操作。
[0003]在大多数情形下，当基板到达工具处时无法开始针对基板的操作，因为工具可能正在处理其他基板。如此，制造系统的操作员(例如，工业工程师、工艺工程师、系统工程师等)为操作排程(schedule)以在特定时间运行，以便满足与该操作相关联的时间约束。举例而言，操作员可延迟对基板执行操作，直至用以执行与时间约束相关联的操作的每一工具集具有在时间约束窗内执行该操作的容量。
[0004]在一些情形下，第一时间约束窗的结束操作亦可为第二时间约束窗的启动操作。在此些情形下，制造系统的操作员可为第一时间约束窗的启动操作排程以在特定时间开始，以便满足第一时间约束窗的第一时间约束及第二时间约束窗的第二时间约束。在其他情形下，一操作可为第一时间约束窗及第二时间约束窗两者的结束操作。在此些情形下，操作员可为第一时间约束窗及第二时间约束窗的启动操作排程以在特定时间开始，以便满足第一时间约束窗的第一时间约束及第二时间约束窗的第二时间约束。
[0005]随着制造系统变得更复杂，更多操作经受时间约束。为了给基板排程以在启动操作处开始，操作员(例如，使用计算系统)考虑可由该启动操作引发的所有时间约束。为了虑及可由该启动操作引发的所有时间约束，操作员考虑可执行启动操作、结束操作及其间每一操作的每一工具的容量。在一些情形下，包括该启动操作的时间约束窗可对应于相当长的时间量(例如，6小时、8小时、12小时、24小时等)。操作员可能难以虑及在未来相当长的时间量内制造系统的每一工具的每一时间约束及容量。对于一些计算系统而言，此种考虑可被归类为非确定性多项式时间困难(non
‑
deterministic polynomial
‑
time hard；NP)问题。如此，操作员可能无法成功地对基板排程以在操作集合的每一启动操作处开始以使得可满足每一时间约束。因此，基板可能违反操作集合的时间约束并变得不可用。变得不可用的每一基板可能会降低总体系统处理量并导致总体系统潜时增长。

技术实现思路

[0006]描述的实施方式中的一些涵盖一种方法，该方法包括接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求。该操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作。该方法进一步包括确定将在该操作集合期间处理的候选基板的第一集合。该方法进一步包括针对候选基板的第一集合运行在第一时间周期内的该操作集合的第一模拟。该第一模拟产生第一模拟输出，该第一模拟输出指示直到第一时间周期的结束在模拟的操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目。该方法进一步包括在制造系统处启动操作集合以在第一时间周期内处理第一数目个候选基板。
[0007]在一些实施方式中，存储器及耦接至该存储器的处理设备。该处理设备用于接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求。该操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作。该处理设备进一步用以确定将在操作集合期间处理的候选基板的第一集合。处理设备进一步用以针对候选基板的第一集合运行在第一时间周期内的操作集合的第一模拟。该第一模拟产生第一模拟输出，该第一模拟输出指示直到第一时间周期的结束在模拟的操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目。处理设备进一步用以在制造系统处启动操作集合以在第一时间周期内处理第一数目个候选基板。
[0008]在一些实施方式中，一种非暂时性计算机可读储存介质包括指令，当由处理设备执行时，这些指令导致处理设备接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求。该操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作。该处理设备进一步用以确定将在操作集合期间处理的候选基板的第一集合。处理设备进一步用以针对候选基板的第一集合运行在第一时间周期内的操作集合的第一模拟。该第一模拟产生第一模拟输出，该第一模拟输出指示直到第一时间周期的结束在模拟的操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目。处理设备进一步用以在制造系统处启动操作集合以在第一时间周期内处理第一数目个候选基板。
附图说明
[0009]在附图的诸图中通过实例的方式而非通过限制的方式绘示出本揭示案，在附图中，相同附图标记指示类似元件。应注意，在本揭示案中对“一”或“一个”实施方式的不同引用未必是指同一实施方式，且此种引用意指至少一个。
[0010]图1为根据本揭示案的方面的绘示生产环境的方块图。
[0011]图2为根据本揭示案的方面的用于时间约束管理的方法的流程图。
[0012]图3为根据本揭示案的方面的用于时间约束管理的另一方法的流程图。
[0013]图4根据本揭示案的方面绘示经受一或更多个时间约束的操作集合。
[0014]图5根据本揭示案的方面绘示用以向制造系统的使用者提供一或更多个模拟输出的图形用户界面(graphical user interface；GUI)。
[0015]图6为根据某些实施方式的绘示计算机系统的方块图。
具体实施方式
[0016]本文揭示的实施方式包括用于制造系统中的时间约束管理的方法及系统。在一些
工艺中，可在制造系统的各个站点处执行一系列操作。举例而言，可执行一系列操作以在基板表面上沉积涂层(或多个涂层)并将三维图案蚀刻至涂层中。在一些情形下，该系列操作中的一或更多者可经受时间约束。时间约束可指在制造系统处执行操作之后将要在特定时间量内完成后续操作的限制或协定。举例而言，制造系统可经受时间约束，其中在基板表面上沉积涂层之后要在特定数目个小时(例如，12小时)内对基板执行蚀刻工艺。若未满足时间约束(例如，若未在特定数目个小时内执行蚀刻工艺)，则基板可能变得有缺陷且不可用。
[0017]本揭示案的实施方式针对在制造系统处管理时间约束。处理设备(诸如执行时间约束窗管理器(例如，图1的时间约束窗管理器110)的处理设备)可接收用以启动将在制造系统处运行的操作的请求，其中一或更多个操作经受时间约束。鉴于时间约束，处理设备可确定能在特定时间周期内在制造系统处成功处理的基板的数目。举例而言，处理设备可识别将在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，包括：接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求，其中所述操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作；确定将在所述操作集合期间处理的第一多个候选基板；对所述第一多个候选基板运行在第一时间周期内的所述操作集合的第一模拟，其中所述第一模拟产生第一模拟输出，所述第一模拟输出指示直到所述第一时间周期的结束在模拟的所述操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目；及鉴于所述第一模拟输出，在所述制造系统处启动所述操作集合以在所述第一时间周期内处理所述第一数目个候选基板。2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：基于所述操作集合中的各自具有所述一或更多个时间约束的所述一或更多个操作中的每一操作来确定一组时间约束窗；及识别所述一组时间约束窗中的最大时间约束窗，其中所述第一时间周期对应于与所述最大时间约束窗相关联的时间量。3.如权利要求1所述的方法，其中在所述制造系统处启动所述操作集合以处理所述第一数目个候选基板的步骤包括：针对所述操作集合中的第一操作设定基板计数器值以对应于候选基板的所述第一数目，其中所述基板计数器值定义在所述第一时间周期内将在所述第一操作处启动的在所述制造系统处的基板的总数目。4.如权利要求3所述的方法，进一步包括：接收用以启动将在所述制造系统处运行的所述操作集合的第二请求；确定将在所述操作集合期间处理的第二多个候选基板；对所述第二多个基板运行在第二时间周期内的所述操作集合的第二模拟，其中所述第二模拟产生第二模拟输出，所述第二模拟输出指示直到所述第二时间周期的结束在模拟的所述操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第二数目；及更新针对所述操作集合的所述第一操作的所述基板计数器值以对应于候选基板的所述第二数目。5.如权利要求1所述的方法，其中所述第一模拟进一步产生第二模拟输出，所述第二模拟输出指示所述制造系统的制造设备的额外基板处理容量，所述额外基板处理容量对应于在所述第一时间周期内在所述制造设备处能成功处理的基板的数目，且其中所述方法进一步包括：基于所述制造设备的所述额外基板处理容量，确定候选基板的第二数目，其中启动所述操作集合以在所述第一时间周期内处理所述第一数目个候选基板及所述第二数目个候选基板。6.如权利要求5所述的方法，进一步包括：基于候选基板的所述第二数目识别将在所述操作集合期间处理的第二多个候选基板；对所述第一多个候选基板及所述第二多个基板运行在所述第一时间周期内的所述操作集合的第二模拟，其中所述第二模拟产生第三模拟输出，所述第三模拟输出指示直到所述第一时间周期的结束在模拟的所述操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板
的第三数目；及确定候选基板的所述第三数目是否对应于候选基板的所述第一数目与候选基板的所述第二数目的总和，其中响应于确定候选基板的所述第三数目对应于候选基板的所述第一数目与候选基板的所述第二数目的总和而启动所述操作集合以处理所述第一数目个候选基板及所述第二数目个候选基板。7.如权利要求1所述的方法，其中针对所述操作集合中的一操作的所述一或更多个时间约束各自包括在完成所述操作之后用以完成所述多个操作中的一或更多个后续操作的时间量。8.如权利要求1所述的方法，其中所述第一模拟包括被配置为模拟如下各者中的至少一者的启发式模拟：在所述操作集合期间正在处理的一或更多个基板；所述制造系统的一或更多个制造设备的状态；与所述制造系统处的基板相关联的工艺配方中的一或更多个操作；或由操作员在所述制造系统处执行的动作。9.一种系统，包括：存储器；及处理设备，耦接至所述存储器，所述处理设备用以：接收用以启动将在制造系统处运行的操作集合的第一请求，其中所述操作集合包括各自具有一或更多个时间约束的一或更多个操作；确定将在所述操作集合期间处理的第一多个候选基板；对所述第一多个候选基板运行在第一时间周期内的所述操作集合的第一模拟，其中所述第一模拟产生第一模拟输出，所述第一模拟输出指示直到所述第一时间周期的结束在模拟的所述操作集合中的每一操作期间已成功处理的候选基板的第一数目；及鉴于所述第一模拟输出，在所述制造系统处启动所述操作集合以在所述第一时间周期内处理所述第一数目个候选基板。10.如权利要求9所述的系统，其中所述处理设备进一步用以：基于所述操作集合中的各自具有所述一或更多个时间约束的所述一或更多个操作中的每一操作来确定一组时间约束窗；及识别所述一组时间约束窗中的最大时间约束窗，其中所述第一时间周期对应于与所述最大时间约束窗相关联的时间量。11.如权利要求9所述的系统，其中为了在所述制造系统处启动所述操作集合以处理所述第一数目个候选基板，所述处理设备用以：针对所述操作集合中的第一操作设定基板计数器值以对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：