一种X射线探测器的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种X射线探测器的制作方法。本发明专利技术通过采用异方性导电胶作为粘结层，将钙钛矿层与ITO玻璃基板异质集成，可以很好地避免因钙钛矿层和基底热膨胀系数不同导致的钙钛矿层脱落的问题发生。同时，采用ACA胶作为粘结层，能够提供更强的粘结力，使制作的器件具有更好的力学稳定性。件具有更好的力学稳定性。件具有更好的力学稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线探测器的制作方法


[0001]本专利技术涉及X射线探测器
，尤其涉及一种X射线探测器的制作方法。

技术介绍

[0002]平板X射线探测器在医学成像、无损检测和安全检查等各种应用中具有重要意义。卤化物钙钛矿由于其高X射线阻挡能力、低陷阱密度和长载流子寿命的特性，有望用于半导体直接X射线探测器。当前被广泛研究的卤化物钙钛矿已经在半导体直接探测中展现出了极大的优势和广阔的前景。目前，半导体面阵探测器的制备主要有两种方式，一种是直接在基板上均匀制备X射线吸收层，另一种是将X射线吸收层通过异质集成的方式与基板结合起来。然而，由于钙钛矿层和基板的热膨胀系数相差很大，因此，在退火的过程中容易产生因膨胀和收缩导致基板和钙钛矿层之间发生脱落或者产生气孔的现象，严重影响其应用。同时，一些基板往往不耐高温，这大大限制了钙钛矿层的退火温度。

技术实现思路

[0003]本专利技术通过提供一种X射线探测器的制作方法，解决了现有技术中在退火的过程中容易产生因膨胀和收缩导致基板和钙钛矿层之间发生脱落或者产生气孔的现象的技术问题。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线探测器的制作方法，其特征在于，包括：将ITO玻璃浸入丙酮中清洗；按预设比例称量FAI、MAI、PbI2放入球磨罐中，向所述球磨罐中加入反溶剂球磨；对球磨完毕后的浆料进行干燥处理；取干燥后的粉末放入压片机，制成钙钛矿层；将ACA胶滴在所述清洗后的ITO玻璃上；将所述钙钛矿层覆盖到有ACA胶的ITO玻璃上；将所述覆盖有钙钛矿层的ITO玻璃进行退火，之后冷却至室温。2.如权利要求1所述的X射线探测器的制作方法，其特征在于，在所述将ITO玻璃浸入丙酮中清洗之前，还包括：向所述ITO玻璃中加入去离子水和洗洁精，超声清洗30min，然后用去离子水冲洗。3.如权利要求1所述的X射线探测器的制作方法，其特征在于，在所述将ITO玻璃浸入丙酮中清洗之后，还包括：取出清洗之后的ITO玻璃用无水乙醇冲洗，用氮气枪吹干后用Plasma...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛广达，唐江，刘志强，何欣，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：