【技术实现步骤摘要】
一种氮气柜的除灰装置及其除灰方法
[0001]本专利技术属于氮气柜
,具体地说,涉及一种氮气柜的除灰装置及其除灰方法。
技术介绍
[0002]氮气柜不锈钢氮气柜设备根据应用要求,可配置不同的控制功能,被广泛应用在微电子,半导体等行业,普通型氮气柜:有箱体,密封门,流量仪,可调节活动层板,脚轮支脚组成,棱角清晰,外观亮丽。
[0003]氮气柜:柜体框架采用不锈钢镜面板制作,四周镶透明玻璃,外观明亮,能直观了解柜内物件现状,层板可调设计存储大小不同物件,也可配置成控制型氮气柜;
[0004]目前氮气柜使用时间长了之后会积攒大量灰尘,灰尘过多会使氮气柜不易散热,且易造成安全隐患,然而,目前市面上的氮气柜除尘装置,在对氮气柜进行灰尘清理时,通常通过喷气嘴配合吸尘泵将氮气柜清理掉的灰尘排放外界,缺少对清理掉的灰尘清理过滤清理,使得直接排放外界的灰尘,容易对大气环境造成污染。
技术实现思路
[0005]本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足,提供一种可以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种氮气柜的除灰装置及其除灰方法。
[0006]为解决上述技术问题,本专利技术采用技术方案的基本构思是:
[0007]一种氮气柜的除灰装置,包括柜体,还包括:转动连接在所述柜体内壁的转动盘,其中,所述柜体侧壁设有用于驱动转动盘转动的驱动组件;喷气嘴一,固定连接在所述转动盘上;曲轴,固定套接在所述驱动组件上;活塞组件,连接在所述柜体侧壁,且与所述曲轴转动连接,所述活塞组件用于持续 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮气柜的除灰装置,包括柜体(1),其特征在于,还包括:转动连接在所述柜体(1)内壁的转动盘(205),其中,所述柜体(1)侧壁设有用于驱动转动盘(205)转动的驱动组件;喷气嘴一(310),固定连接在所述转动盘(205)上;曲轴(304),固定套接在所述驱动组件上;活塞组件(3),连接在所述柜体(1)侧壁,且与所述曲轴(304)转动连接,所述活塞组件(3)用于持续向喷气嘴一(310)供气;过滤冷却箱(4),固定连接在所述柜体(1)侧壁,所述过滤冷却箱(4)内设有储水腔(401);吸气泵(404),固定安装在所述柜体(1)侧壁;集尘罩(406),固定连接在所述柜体(1)内壁;管道一(405),其一端与吸气泵(404)输入端固定连通,另一端与集尘罩(406)固定连通;管道二(407),固定连接在所述过滤冷却箱(4)侧壁,所述管道二(407)其一端与吸气泵(404)输出端固定连通,另一端贯穿于储水腔(401)内,所述管道二(407)贯穿于储水腔(401)内的一端设有出气孔(408);活性炭滤网(504),滑动连接在所述过滤冷却箱(4)内,其中,所述过滤冷却箱(4)侧壁设有用于驱动活性炭滤网(504)产生振荡的振荡组件;连接座(702),滑动连接在所述柜体(1)内,其中,所述柜体(1)内设有用于驱动连接座(702)移动的驱动机构;喷气嘴二(801),固定连接在所述连接座(702)上;管道三(8),固定连接在所述柜体(1)侧壁,所述管道三(8)其一端与过滤冷却箱(4)内腔固定连通,另一端与喷气嘴二(801)固定连通。2.根据权利要求1所述的一种氮气柜的除灰装置,其特征在于,驱动所述转动盘(205)转动的驱动组件包括电机(2)、转轴一(201)、转轴二(203),所述转轴一(201)与转轴二(203)均转动连接在柜体(1)侧壁上,所述转轴一(201)上固定套接有齿轮一(202),所述转轴二(203)上固定套接有齿轮二(204),所述齿轮一(202)与齿轮二(204)啮合连接,所述电机(2)固定安装在柜体(1)侧壁,所述转轴一(201)与电机(2)的输出端固定连接。3.根据权利要求2所述的一种氮气柜的除灰装置,其特征在于,所述活塞组件(3)包括活塞筒(301),以及滑动连接在所述活塞筒(301)内的活塞盘(302),所述活塞盘(302)上转动连接有活塞杆(303),所述曲轴(304)固定套接在转轴一(201)上,所述活塞杆(303)远离活塞盘(302)的一端与曲轴(304)转动连接,所述活塞筒(301)固定连通有导管一(305),所述转动盘(205)上设有与喷气嘴一(310)固定连通的环形管(309),所述转轴一(201)上开设有与环形管(309)固定连通的中空腔(308),所述转轴二(203)上设有旋转接头(307),所述活塞筒(301)通过导管二(306)与旋转接头(307)相连通。4.根据权利要求1所述的一种氮气柜的除灰装置,其特征在于,驱动所述活性炭滤网(504)产生振荡的振荡组件包括转轴三(505)、叶轮一(507)、凸轮(506)、限位导向组件,所述限位导向组件连接在过滤冷却箱(4)内壁,所述活性炭滤网(504)滑动连接在限位导向组件...
【专利技术属性】
技术研发人员:金敏,
申请(专利权)人:苏州辉可达精密金属制品有限公司,
类型:发明
国别省市:
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