【技术实现步骤摘要】
漏水检测的防误触发装置和划片机设备
[0001]本专利技术涉及物体加工
，更具体地涉及一种漏水检测的防误触发装置和划片机设备。
技术介绍
[0002]在很多行业中，对于一些待加工件，都需要通过切割工艺对其进行切割。例如，在半导体加工领域，通常采用刀轮切割或激光切割等技术对半导体器件进行切割。传统的刀轮切割方式由于材料的硬度问题(如SiC莫氏硬度9.5，接近金刚石硬度)限制了其生产效率并增加了切割成本(切割一片SiC晶圆需要用一把刀具)，且存在外观崩边要求严苛和切割后潜在裂纹风险等问题，使得传统刀轮切割方式没有经济效益优势，故使用激光切割成为了最优解决方案。
[0003]而传统的激光切割，业内主要以激光隐形切割技术为主，其主要是将激光光束聚集在待加工件内部，形成改质层(爆炸点连接区域)，通过精确控制点与点之间的距离，在内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片，从而使彼此相邻的晶粒分离。
[0004]切割待加工件时会导致切割区域温度升高，尤其是采用激光切割，由于激光聚焦的能量较大，使得切割区域温度上升迅速，这容...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种漏水检测的防误触发装置，其特征在于，包括：检测线模块、漏水检测电路模块和处理模块，其中，所述检测线模块包括两条检测线，所述两条检测线各自的一端相互连接，另一端分别连接在所述漏水检测电路模块中；所述处理模块用于采集所述漏水检测电路模块在预设节点处的电压，以判断所述电压的当前电压值是否处于漏水电压范围内，在所述当前电压值处于所述漏水电压范围内时确定所述两条检测线处于因漏水而短路的漏水状态；以及在所述当前电压值自所述漏水电压范围到达正常电压范围中的预设电压的过程中持续确定所述两条检测线处于所述漏水状态，在所述当前电压值自所述漏水电压范围到达所述预设电压之后继续超出所述预设电压时确定所述两条检测线处于非漏水状态；其中，所述正常电压范围与所述漏水电压范围非重叠。2.根据权利要求1所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，所述处理模块包括第一比较子模块，其中，所述第一比较子模块，用于采集所述漏水检测电路模块在所述预设节点处的电压，并将采集到的所述电压的当前电压值与漏水预设电压值进行比较，在所述当前电压值小于所述漏水预设电压值时输出对应的漏水结果信号；以及在所述当前电压值自小于所述漏水预设电压值上升到达所述预设电压的过程中持续输出所述漏水结果信号，在所述当前电压值上升到大于所述预设电压时输出对应的非漏水结果信号；其中，所述漏水电压范围为：小于所述漏水预设电压值；所述漏水预设电压值小于所述预设电压。3.根据权利要求2所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，所述处理模块还包括控制子模块；所述控制子模块，用于根据所述漏水结果信号确定两条所述检测线处于所述漏水状态。4.根据权利要求3所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，所述处理模块还包括：第一隔离传输模块，所述第一隔离传输模块，用于串接在所述控制子模块的输入端和所述第一比较子模块的输出端之间，以将所述控制子模块和所述第一比较子模块进行电气隔离，并同时将所述第一子模块输出的所述漏水结果信号和所述非漏水结果信号传输至所述控制子模块的输入端。5.根据权利要求2所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，所述处理模块还包括：第一提示子模块，所述第一提示子模块，连接所述第一比较子模块的输出端，用于在所述第一比较子模块输出所述漏水结果信号时发出第一提示信息。6.根据权利要求1
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5任一项所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，所述两条检测线与所述漏水检测电路模块形成闭合回路；所述处理模块，还用于根据所述电压判断所述两条检测线是否处于至少一条检测线存在断路的断路状态，所述预设节点在所述漏水状态和所述断路状态时的电压不同。7.根据权利要求6所述的漏水检测的防误触发装置，其特征在于，
所述处理模块，还用于判断采集到的所述电压的当前电压值是否处于断路电压范围内，在所述当前电压值处于所述断路电压范围内时确定所述两条检测线处于所述断路状态，以及在所述当前电压值处于所述断路电压范围外时确定所述两条检测线处于非断路状态；所述正常电压范围、所述断路电压范围与所述漏水电压范围非重叠。8...
【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞忠，徐旭，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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