带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片及其制备方法。滤光片为多孔氧化铝薄膜的孔为孔径４０～６０ｎｍ的直线型通孔，其孔壁上置有两层以上的分叉孔，分叉孔的孔径为２０～４０ｎｍ，其与直线型通孔间的夹角为５０～７０度，分叉孔间的直线型通孔构成的主干层和分叉孔构成的分叉层呈周期性变化，薄膜的厚度为６０～１８０μｍ；滤光片用于５００～１５００ｎｍ波段的光线的过滤；方法为将铝片置于浓度为０．２～０．４Ｍ的酸溶液中，于弧齿波电压下阳极氧化至少５ｍｉｎ，其中，弧齿波电压的波幅为２２～５０Ｖ、波前沿为４５度、波周期为２．５～３．５ｍｉｎ，制得带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，所述的铝片的纯度为≥９９．９％，所述的于弧齿波电压下阳极氧化１４～２０ｈ。它可对５００～１５００ｎｍ波段的光线进行有选择的过滤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种带有分叉孔的多孔氧化铝薄膜滤光片，包括多孔氧化铝薄膜，其特征在于：所述多孔氧化铝薄膜的孔为直线型通孔，所述直线型通孔的孔径为４０～６０ｎｍ，其孔壁上置有两层以上的分叉孔，所述分叉孔的孔径为２０～４０ｎｍ，其与直线型通孔间的夹角为５０～７０度，所述分叉孔间的直线型通孔构成的主干层和分叉孔构成的分叉层呈周期性变化，所述薄膜的厚度为６０～１８０μｍ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑文俊，费广涛，王彪，吴兵，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]