固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率及耐化学性优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法包括：膜形成工序，将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜；曝光工序，选择性地曝光膜；显影工序，通过显影液对曝光后的膜进行显影而形成图案；处理工序，使处理液与上述图案接触；以及加热工序，对上述处理工序后的图案进行加热，上述显影液及上述处理液中的至少一者包含选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法。

技术介绍

[0002]聚酰亚胺等树脂的耐热性及绝缘性等优异，因此适用于各种用途。作为上述用途并无特别限定，但是若举出实际安装用半导体器件为例，则可以举出将包含这些树脂的图案用作绝缘膜或密封材料的材料或保护膜的情况等。并且，包含这些树脂的图案也可以用作可挠性基板的基底膜或覆盖膜等。
[0003]例如，在上述用途中，聚酰亚胺等环化树脂以包含聚酰亚胺前体等环化树脂的前体的感光性树脂组合物的形态使用。
[0004]将这种感光性树脂组合物例如通过涂布等而适用于基材上，之后根据需要进行曝光、显影、加热等，从而能够将包含环化树脂(例如，聚酰亚胺前体被酰亚胺化的树脂)的固化物形成于基材上。
[0005]感光性树脂组合物能够通过公知的涂布方法等而适用，能够通过显影而形成微细的图案、复杂的形状的图案等，因此可以说固化物的设计自由度高等制造上的适应性优异。从除了聚酰亚胺等所具有的高性能以外这种制造本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固化物的制造方法，其包括：膜形成工序，将包含环化树脂的前体、光聚合引发剂及3官能以上的聚合性化合物的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜；曝光工序，选择性地曝光所述膜；显影工序，通过显影液对曝光后的所述膜进行显影而形成图案；处理工序，使处理液与所述图案接触；以及加热工序，对所述处理工序后的图案进行加热，所述显影液及所述处理液中的至少一者包含选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。2.根据权利要求1所述的固化物的制造方法，其中，所述处理液为淋洗液。3.根据权利要求1或2所述的固化物的制造方法，其中，所述处理工序为使用所述处理液清洗所述图案的淋洗工序。4.根据权利要求1至3中任一项所述的固化物的制造方法，其中，所述显影液相对于所述显影液的总质量包含50质量％以上的有机溶剂。5.根据权利要求1至4中任一项所述的固化物的制造方法，其中，所述处理液包含选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。6.根据权利要求1至5中任一项所述的固化物的制造方法，其中，所述碱包含有机碱。7.根据权利要求1至6中任一项所述的固化物的制造方法，其中，所述碱包含仲胺或叔胺。8.根据权利要求1至7中任一项所述的固化物的制造方法，其中，所述环化树脂的前体为包含下述式(2)所表示的重复单元的聚酰亚胺前体，式(2)中，A1及A2分别独立地表示氧原子或
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【专利技术属性】
技术研发人员：高岛美沙树，岛田和人，野崎敦靖，佐藤直树，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：