【技术实现步骤摘要】
一种用于物理气相沉积设备的靶材供料装置
[0001]本专利技术属于真空沉积
，具体涉及一种用于物理气相沉积设备的靶材供料装置。
技术介绍
[0002]热障涂层是航空发动机热端部件热防护的关键技术，电子束物理气相沉积方法是目前高性能热障涂层制备领域最为常用的制备方法。随着对发动机涡轮叶片涂覆热障涂层的生产效率需求的不断提升，用于熔化蒸发涂层原料靶材的电子枪的功率也持续增加。目前，常用的靶材电子枪的功率已经达到100
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300kW，靶材的消耗量达到100
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200kg/h。涂层的蒸发与沉积工艺都是在真空设备中进行，国内外热障涂层生产单位使用的电子束物理气相沉积设备在换装新靶材前，需要将整个靶材室甚至是沉积室破真空，难以满足高生产效率下靶材的供给需求。因此，靶材填装的便捷性和效率就成为制约物理气相沉积设备整机生产效率的因素之一。
[0003]另外，在靶材熔化蒸发过程中产生的碎屑或靶渣，也会影响到整个热障涂层制程的连续性。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于物理气相沉积设备的靶材供料装置，其特征在于，包括真空沉积腔体（1）、水冷坩埚（3）、一个以上装有靶材（2）的靶材筒（4）、靶材托板（6）、靶材顶升杆（7）、靶材废料清理装置、靶材填装装置，其中水冷坩埚（3）、靶材筒（4）和靶材托板（6）均位于真空沉积腔体（1）中，靶材（2）的熔化蒸发以及涂层的沉积均发生在真空沉积腔体（1）中，水冷坩埚（3）以固定连接方式设置于真空沉积腔体（1）的腔体中心区域内，所述靶材筒（4）依次排列，并可沿靶材托板（6）做受控往复运动，靶材托板（6）用于承托靶材（2），靶材顶升杆（7）可在真空沉积腔体（1）的底部上下穿行且和真空沉积腔体（1）的底部形成真空密封，靶材托板（6）在水冷坩埚（3）的埚口正下方位置开有孔，便于靶材顶升杆（7）的上下运动，所述靶材废料清理装置位于水冷坩埚（3）的正下方，负责将靶材余量以及靶材碎屑清理出沉积工作的区域，所述靶材填装装置位于真空沉积腔体（1）的下方，用于在真空沉积腔体免破真空的情况下给空靶材筒填装新靶材。2.根据权利要求1所述的用于物理气相沉积设备的靶材供料装...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢志航，王斌，钱凌翼，
申请(专利权)人：无锡乘风航空工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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