电感器的制造方法及电子零件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种电感器的制造方法以及包括通过上述制造方法制作电感器的工序的、包含电感器的电子零件的制造方法，所述电感器的制造方法包括：形成第1磁性层的工序；及在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个不连续层并且在上述不连续层的不连续部形成另一个的工序，上述第2磁性层的厚度比上述导电性层的厚度厚，所述电感器的制造方法还包括在因上述第2磁性层与上述导电性层的厚度不同而产生的槽部形成第3磁性层的工序。产生的槽部形成第3磁性层的工序。产生的槽部形成第3磁性层的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电感器的制造方法及电子零件的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种电感器的制造方法及电子零件的制造方法。

技术介绍

[0002]电感器(inductor)为各种电子零件中所包含的无源电子元件。作为具备包含电感器的电子零件的电子电路的制造方法，以往使用了在印制基板上安装电子零件作为离散零件的方法。相对于此，近年来，为了进一步提高集成密度，正在研究制作在多层基板内安装电子零件的部件内置基板。并且，为了少量多品种生产、柔性器件用途等，正在研究通过印刷制作电子零件的方法、所谓的印刷电子学。在这些制作方法中，由于电子零件的结构适于平面结构，因此作为电感器通常使用螺旋电感器等平面电感器。
[0003]对于电子零件的电感器，通常通过将线圈与磁性材料组合来提高电感。但是，对于部件内置基板及印刷电子学中的平面电感器，未对制造工序等进行充分的研究，通常使用了仅包含线圈且不包含磁性材料的空芯电感器。相对于此，近年来，正在研究组合导电性层和磁性层来制作平面电感器(参考专利文献1)。
[0004]以往技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2015
‑
50290号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术课题
[0008]与仅包含线圈且不包含磁性材料的空芯电感器相比，组合导电性层和磁性层而成的电感器具有能够发挥高电感的倾向。若能够进一步提高这种电感器的电感，则有助于提高电子零件及电子电路的性能，因此优选。
[0009]本专利技术的一方式的目的在于提供一种能够制造组合导电性层和磁性层而成的电感器且能够显示高电感的电感器的方法。
[0010]用于解决技术课题的手段
[0011]本专利技术的一方式涉及一种电感器的制造方法，其包括：
[0012]形成第1磁性层的工序；及
[0013]在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个不连续层并且在上述不连续层的不连续部形成另一个的工序，
[0014]上述第2磁性层的厚度比上述导电性层的厚度厚，
[0015]上述电感器的制造方法还包括在因上述第2磁性层与上述导电性层的厚度不同而产生的槽部形成第3磁性层的工序。
[0016]在一方式中，在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个不连续层并且在上述不连续层的不连续部形成另一个的工序为可以在第1磁性层上形成第2磁性层的不连续层并且在第2磁性层的不连续层的不连续部形成导电性层的工序。
[0017]在一方式中，上述不连续层可以为涡旋状图案。
[0018]在一方式中，可以通过涂布含有磁性粒子的组合物来进行上述第2磁性层的形成及上述第3磁性层的形成。
[0019]在一方式中，上述含有磁性粒子的组合物的涂布可以通过点胶机涂布上述含有磁性粒子的组合物。
[0020]在一方式中，上述含有磁性粒子的组合物可以为含有磁性粒子及树脂的磁性树脂组合物。
[0021]在一方式中，上述磁性粒子可以为金属粒子。
[0022]在一方式中，上述金属粒子可以包含Ni及Fe。
[0023]在一方式中，上述金属粒子还可以包含Mo。
[0024]在一方式中，可以通过涂布导电性组合物来进行上述导电性层的形成。
[0025]在一方式中，上述导电性组合物的涂布可以通过点胶机涂布上述导电性组合物。
[0026]本专利技术的一方式涉及一种包括通过上述制造方法制作电感器的工序的、包含电感器的电子零件的制造方法。
[0027]专利技术效果
[0028]根据本专利技术的一方式，能够提供一种组合导电性层和磁性层而成的电感器且能够制造电感优异的电感器的电感器的制造方法。并且，根据本专利技术的一方式，能够提供一种包括通过该等制造方法制作电感器的工序的、包含电感器的电子零件的制造方法。
附图说明
[0029]图1A是电感器的制造工序的一例的说明图。
[0030]图1B是电感器的制造工序的一例的说明图。
[0031]图1C是电感器的制造工序的一例的说明图。
[0032]图1D是电感器的制造工序的一例的说明图。
具体实施方式
[0033][电感器的制造方法][0034]本专利技术的一方式涉及一种电感器的制造方法。上述电感器的制造方法包括：形成第1磁性层的工序；及在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个不连续层并且在上述不连续层的不连续部形成另一个的工序，上述第2磁性层的厚度比上述导电性层的厚度厚，上述电感器的制造方法还包括在因上述第2磁性层与上述导电性层的厚度不同而产生的槽部形成第3磁性层的工序。
[0035]通过上述电感器的制造方法制造的电感器通常可以称为平面电感器、平面型电感器等。通过第1磁性层、第2磁性层及第3磁性层覆盖导电性层的上下表面及侧面，由此该等电感器能够显示比空芯电感器高的电感。
[0036]在本专利技术及本说明书中，“磁性”是指铁磁性(ferromagnetic property)，“导电性”是指导电的性质，具体而言，体积电阻率为1
×
10
‑1Ω
·
m以下。
[0037]在本专利技术及本说明书中，“不连续层”是指在俯视下在层内包含不连续部、即间隙的层。相对于此，“连续层”是指在俯视下在层内不包含不连续部、即间隙的层。不连续层例
如可以为涡旋状图案。对于涡旋状图案，涡旋形状并无特别限定，例如可例示后述的图1所示的形状等。例如，如图1所示，作为从涡旋的一个端部到另一个端部连续的带状图案，能够形成不连续层。
[0038]图1A～图1D是电感器的制造工序的一例的说明图。在各图中，上方的图是俯视图，下方的图是剖视图。将图1A～图1D统称为“图1”。以下，参考图1，对上述电感器的制造方法进行进一步详细说明。但是，附图所示的实施方式为例示，本专利技术并不限定于例示的实施方式。
[0039]＜第1磁性层的形成＞
[0040]第1磁性层例如能够形成于基板(未图示)上而作为连续层(图1A中，第1磁性层M1)。作为基板，能够使用能够通常用作平面电感器的基板的基板。作为该等基板的具体例，能够举出树脂制基板、金属制基板、玻璃环氧基板、硅基板等各种基板。作为树脂制基板，可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等聚酯、聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等丙烯酸酯、环状聚烯烃、三乙酰纤维素(TAC)、聚醚硫化物(PES)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚醚酮、聚酰亚胺等各种树脂的膜。对于这些树脂膜，能够参考日本特开2015
‑
187260号公报的0081～0086段。并且，对于基板，也能够参考日本特开2015
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187260号公报的0102～0104段。作为基板，优选绝缘基板。在此，“绝缘性”是指不符合在前面记载的导电性。基板的厚度例如可以在5～2000μm的范围内。但是，基板的厚度根据电感器的用途确定即可，并不限定于上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电感器的制造方法，其包括：形成第1磁性层的工序；及在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个的不连续层并且在所述不连续层的不连续部形成第2磁性层及导电性层中的另一个的工序，所述第2磁性层的厚度比所述导电性层的厚度厚，所述制造方法还包括在因所述第2磁性层与所述导电性层的厚度不同而产生的槽部形成第3磁性层的工序。2.根据权利要求1所述的电感器的制造方法，其中，在第1磁性层上形成第2磁性层及导电性层中的任一个的不连续层并且在所述不连续层的不连续部形成第2磁性层及导电性层中的另一个的工序为在第1磁性层上形成第2磁性层的不连续层并且在该第2磁性层的不连续层的不连续部形成导电性层的工序。3.根据权利要求1或2所述的电感器的制造方法，其中，所述不连续层为涡旋状图案。4.根据权利要求1至3中任一项所述的电感器的制造方法，其包括通过涂布含有磁性粒子的组合物来进行所述第2磁性层的形成及所述第3磁性层的形成的工...

【专利技术属性】
技术研发人员：见上竜雄，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：