材料回收装置及蒸镀装置制造方法及图纸

本申请涉及一种材料回收装置及蒸镀装置。该材料回收装置包括内衬层和溶剂供给组件。所述内衬层上设置有多个第一通孔。所述内衬层限定出用于容纳蒸镀材料的蒸镀腔。所述溶剂供给组件被配置为容纳和提供溶解剂，并使所述溶解剂经所述第一通孔流动至所述蒸镀腔的内壁，以溶解附着于所述蒸镀腔内壁上的蒸镀材料。上述装置在回收蒸镀材料时，无需手动刮取内衬层上的蒸镀材料，使材料回收更简单，降低了人力成本，同时，溶解剂溶解蒸镀材料的方式，能够比较清洁地、完整地回收内衬层上的蒸镀材料，从而提高了材料回收率。提高了材料回收率。提高了材料回收率。

【技术实现步骤摘要】
材料回收装置及蒸镀装置


[0001]本申请涉及蒸镀
，特别是涉及一种材料回收装置及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]目前，有机发光二极管(OLED，Organic Light
‑
Emitting Diode)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，把有机材料填入蒸镀组件中，在真空环境中，升温加热，使有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到基板上，形成相应的的有机膜层，从而制备成OLED器件，然而，在蒸镀时，其腔室内衬附着大量的有机材料，因而容易造成材料浪费。为了提高有机材料的利用率，比较常规的方式是：采用铲刀对腔室内衬上的附着材料进行初步刮取收集，然后进行浸出，最后将收集的材料提纯再利用。然而，上述方式存在收集附着材料的方法比较复杂，且回收的工作效率较低的问题。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够使材料回收更简单的材料回收装置及蒸镀装置。
[0004]第一方面，本申请提供一种材料回收装置，包括内衬层和溶剂供给组件。所述内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种材料回收装置，其特征在于，包括：内衬层，所述内衬层限定出用于容纳蒸镀材料的蒸镀腔，所述内衬层上设置有多个第一通孔；溶剂供给组件，所述溶剂供给组件被配置为容纳和提供溶解剂，并使所述溶解剂经所述第一通孔流动至所述蒸镀腔的内壁，以溶解附着于所述蒸镀腔的内壁上的蒸镀材料。2.根据权利要求1所述的材料回收装置，其特征在于，所述内衬层朝向蒸镀腔的一侧设置有辅助层，所述辅助层上设置有多个第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通；优选地，所述辅助层的材质包括聚四氟乙烯；优选地，各所述第一通孔在所述内衬层上均匀排布；优选地，各所述第二通孔在所述辅助层上均匀排布；优选地，所述内衬层和所述辅助层的孔隙率介于5％
‑
20％。3.根据权利要求1所述的材料回收装置，其特征在于，所述内衬层包括相互连接的顶部和侧部，所述顶部和所述侧部的连接处设置有导流部，所述导流部用于将所述顶部上的溶液导流至所述侧部上。4.根据权利要求3所述的材料回收装置，其特征在于，所述导流部上设有弧形导流面，所述弧形导流面的一端与所述顶部的内壁面连接，所述弧形导流面的另一端与所述侧部的内壁面连接。5.根据权利要求1
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王传俊，刘全宝，金跃康，王芝香，曹慧，毋炳辉，蒋明华，彭兆基，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：