【技术实现步骤摘要】
高纯气体用弹簧隔膜式气瓶阀
[0001]本技术涉及气瓶阀
,特别涉及一种高纯气体用弹簧隔膜式气瓶阀,可安装于各规格的气瓶或管路上,阀门仅做开关阀使用。
技术介绍
[0002]中国的半导体行业起步较晚,对应的半导体行业上游用材料诸如高纯、超高纯气体等大部分依靠进口,同样,相应的气体用设备如气瓶阀等也较多的依赖进口。相同问题也存在于各种检测行业,如食品、医药、化妆品、冶金、检验检疫等会应用气体(标准气、混合气等)进行相关检测,很多标准气体也依赖进口。
[0003]半导体行业以及检测行业等对高纯、超高纯气体以及标准气和混合气等气体的纯度要求非常高,气体纯度的下降或者混合气组分的改变都会导致应用行业的良品率的降低或者检测行业的不准确,这就要求除了气体生产环节以外,在气体的储存、转运环节等,必须保证气体不被外界气体所污染,所以作为气瓶密封的阀门,气瓶阀的密封性以及内部优化设计至关重要。
[0004]目前有中国专利授权公告号CN213982038U公开了一种隔膜式钢瓶阀,但是该专利的阀芯是嵌装在阀杆底部,在阀门的使 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.高纯气体用弹簧隔膜式气瓶阀,包括阀体、压盖螺母、下阀杆、上阀杆,所述阀体上设置有气体入口、气体出口和下阀杆活动腔,所述下阀杆通过弹性组件浮动设置在所述下阀杆活动腔内,其特征在于,所述下阀杆的底部嵌装有阀座,所述下阀杆的底部外周还设置有一把阀座锁紧在下阀杆的底部的阀座夹持螺母,所述气体入口与阀座对应的密封面设置为凸出密封面,所述压盖螺母设置在所述阀体上,所述压盖螺母中部旋有上阀杆,所述上阀杆的顶部设置有手轮组件,所述上阀杆的底部通过传动组件以及膜片与所述下阀杆的顶部连接。2.如权利要求1所述的高纯气体用弹簧隔膜式气瓶阀,其特征在于,所述传动组件包括推力块以及设置在所述推力块与上阀杆的底部之间的传动块,所述推力块的底部外周设置有第一让位槽,所述压盖螺母的底部内周设置有与所述第一让位槽配合的第二让位槽,所述第一让位槽和第二让位槽之间设置有与膜片密封配合的垫片。3.如权利要求2所述的高纯气体用弹簧隔膜式气瓶阀,其特征在于,所述垫片的底部设置为与膜片密封配合的上凹弧形密封面。4.如权利要求1所述的高纯气体...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。