大功率腔内三倍频紫外激光器制造技术

大功率腔内三倍频紫外激光器，属全固态激光技术领域，包括基频波腔镜、Ｑ开关、基频激光输出模块等部件；上述各部件分别固定在各自的基座上，在基板上依次放置基频波腔镜、Ｑ开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；分别构成基频光谐振腔、二倍频光谐振腔和三倍频光谐振腔；三个谐振腔共轴，用外壳将整个装置罩在基板上。本发明专利技术采用简单的直线腔型，高效、大功率且结构简单紧凑，使用方便，安装调试容易，便于工程化推广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及全固态激光技术领竑特别涉及一种输出准连续紫外光的大功率腔内三倍频 紫外激光器。
技术介绍
由于具有高分辨和对材料强吸收等特点，紫外相干光源在超高密度光驱、保密通讯、现 代生物技术、密材料加工、紫外固化、光刻、光印刷、医疗以及科学研究等领域具有广泛的 应用前景。近年来，随着对小型电子产品和微电子元器件需求的日益增长，聚合物材料的精 密处理日渐成为激光在工业应用中发展最快的应用领域之一。紫外激光是处理广泛应用于微 电子元器件工业中的塑料(如聚酰亚胺)和金属(如铜)等材料的理想工具，被广泛应用于 多层、高密度印刷电路板PCB的精密打孔设备市场，市场前景十分广阔。目前，普遍使用的紫外激光器主要有气体紫外激光器和全固态紫外激光器。气体紫外 激光器在使用中具有明显的缺点，如设备占地面积大、稳定性差、寿命短、高能耗和高设备 费用，需要定期更换有毒的气体或液体染料等。而全固态紫外激光器由于具有结构紧凑、稳 定性好、寿命长、光束质量好以及成本低等特点，成为近年来人们研究的热点。常用的产生三次谐波的全固态激光技术包括腔外和频技术和腔内和频技术。腔外和频产 生的三次谐波光比较稳定，易于调试本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大功率腔内三倍频紫外激光器，包括基频波腔镜、Ｑ开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；上述各部件分别固定在各自的基座上，其特征在于在基板上依次放置基频波腔镜、Ｑ开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；由基频波腔镜、Ｑ开关、基频激光输出模块和三次谐波输出镜构成基频光谐振腔；由二向色镜、二倍非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成二倍频光谐振腔；由三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成三倍频光谐振腔；基频光谐振腔、二倍频光谐振腔和三倍频光谐振腔共轴，用外壳将整个...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何京良，张百涛，黄海涛，杨见飞，徐金龙，王海霞，刘善德，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：88[]