具有改进的频率调制响应的半导体激光器制造技术

技术编号:37784854 阅读:23 留言:0更新日期:2023-06-09 09:15
提供一种半导体激光器,包括具有限定横向p

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有改进的频率调制响应的半导体激光器

技术介绍

[0001]半导体激光二极管是目前最高效、最紧凑和最具成本效益的激光源,这些特性使它们在许多应用中非常受欢迎。它们直接由电流驱动,并且可以高速调制。
[0002]半导体激光器的优点是其可调谐性。改变施加到半导体激光器的电流导致半导体材料的折射率的变化。这改变了激光腔内的谐振条件,并且由激光器发射的光的光学频率发生偏移。通常情况下,激光器由连续电流驱动,在该电流中加入相对较弱的电流变化,以调谐其输出光学频率或调制此光学频率。
[0003]半导体激光器的驱动电流的调制与随后输出激光束的光学频率的调制之间的关系取决于激光器的频率调制(FM)响应。激光的FM响应中的不均匀性可能导致输出光束的光学频率的不必要的畸变。
[0004]仍然需要具有对FM响应的改进控制的激光器。

技术实现思路

[0005]根据一个方面,提供了一种半导体激光器,包括:
[0006]‑
单模激光腔,包括限定横向p

n结并具有纵向光传播方向的半导体层的堆叠;
[0007]‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体激光器,包括:

单模激光腔,包括限定横向p

n结并具有纵向光传播方向的半导体层的堆叠;

多个电极,每个电极沿纵向光传播方向耦合到激光腔的对应部分,每个对应部分限定放大部分或调制部分中一个;

一个或多个DC源,每个DC源耦合到与所述放大部分相关联的电极,并可操作以将p

n结正向偏置到透明以上,以便在相关联的放大部分中提供增益;以及

一个或多个调制信号源,每个调制信号源耦合到与所述调制部分相关联的电极,并可操作以跨透明以下的所述p

n结施加调制信号,调制信号提供半导体激光器的输出光学频率的调制;其中,每个调制部分以光伏模式操作。2.根据权利要求1所述的半导体激光器,其中单模激光腔包括支撑半导体层的堆叠的衬底,并且半导体层的堆叠沿横向于光传播方向的第一方向包括:a.一个或多个连续的p掺杂层;b.一个或多个连续的n掺杂层;以及C.在p掺杂层和n掺杂层之间延伸的一个或多个连续的有源层。3.根据权利要求2所述的半导体激光器,其中半导体层的堆叠具有沿第一方向的折射率分布,被配置为对具有接近于有源层的最大光学强度的光学模式提供引导。4.根据权利要求2或3所述的半导体激光器,其中单模激光腔包括在垂直于第一方向并垂直于光传播方向的第二方向上的限制结构,限制结构被配置为沿第二方向限制光和电流。5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体激光器,其中单模激光腔进一步包括被配置为沿光传播方向提供光学反馈的反射结构。6.根据权利要求5所述的半导体激光器,其中反射结构以分布式反馈配置和分布式布拉格反射器配置中的一种布置。7.根据权利要求5所述的半导体激光器,其中反射结构包括分布式布拉格...

【专利技术属性】
技术研发人员:希勒瓦
申请(专利权)人:特拉克森有限公司
类型:发明
国别省市:

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