一种用于部件的加热保温的复合层结构和加热保温方法技术

本申请公开了一种用于部件的加热保温的复合层结构，包括：包覆在部件外侧的接触层；设置在接触层外侧的用于提供热量的加热层；以及设置在加热层外侧的保温层；其中：所述接触层由柔性导热材质构成，所述柔性导热材质能够适应部件的外部形状而变形，以紧密贴合所述部件的外部形状。根据本申请的用于部件的加热保温的复合层结构，能够紧密贴合待加热保温的部件，导热均匀，加热保温效果好，使用安全。使用安全。使用安全。

【技术实现步骤摘要】
一种用于部件的加热保温的复合层结构和加热保温方法


[0001]本申请涉及部件的加热保温技术，尤其涉及一种用于外部形状不规则的部件的加热保温的复合层结构和相应的加热保温的方法。

技术介绍

[0002]通常半导体制程工艺(CVD、PVD、ETCH)的尾气系统中会使用管道加热技术，便于防止生成物在管道凝结堵塞管道，保障设备正常运行，减少对后端阀门、真空计、真空泵的损害。由于上述管道需被经常拆卸，当采用加热包进行管道加热时，特别是对特殊形状的管道和容器，加热包的贴合效果会极大影响加热保温效果。
[0003]现有加热包贴合管道部分的导热接触层多为高温玻纤布或玻纤布涂覆导热硅胶，实际包裹管道时贴合效果差，导热不均匀，特别是对于外部形状不规则的管道，例如截面为方形的管道、L型管道或阀门等，在部件的拐角等部位会形成拱形接触，造成管道一些部位并未与加热保温材料充分接触，使得实际接触面积会大为减少，导致保温加热效果变差；另外，高温玻纤布空隙大或反复使用易磨损导致加热丝裸露，会出现漏电等故障，导致设备异常停机。进一步地，由于加热包的加热保温效果不好，还会导致本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于部件的加热保温的复合层结构，包括：包覆在部件外侧的接触层；设置在接触层外侧的用于提供热量的加热层；以及设置在加热层外侧的保温层；其中：所述接触层由柔性导热材质构成，所述柔性导热材质能够适应部件的外部形状而变形，以紧密贴合所述部件的外部形状。2.根据权利要求1所述的复合层结构,其中，所述接触层包括易塑性导热材料层和位于易塑性导热材料层两侧的用于密封易塑性导热材料层的柔性密封层，所述易塑性导热材料层包括掺杂导热石墨粉的导热硅脂或掺杂导热石墨粉的凝胶。3.根据权利要求1所述的复合层结构,其中，所述接触层包括易塑性导热材料层和位于易塑性导热材料层两侧的用于密封易塑性导热材料层的柔性密封层，所述易塑性导热材料层为镓铟锡合金材料或镓锡合金材料，合金的配比满足合金材料在高于预定保温温度时呈液态，在温度降至预定保温温度时固化成固态。4.根据权利要求3所述的复合层结构,其中，当预定保温温度在150度左右，选择镓铟锡合金材料时，合金的配比为：镓7％
‑
25％、铟5％
‑
27％锡...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖志，朱明星，王伟明，李华，
申请(专利权)人：江苏宜兴德融科技有限公司，
类型：发明
国别省市：