一种掺杂二氧化钒薄膜及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及新材料技术领域，特别涉及一种掺杂二氧化钒薄膜及其制备方法和应用。本发明专利技术公开了一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，属于无机化学和功能材料制备技术领域。本发明专利技术采用超声雾化法制备二氧化钒薄膜，具体是将四价钒盐溶液和一定比例的掺杂剂、成膜剂混合，得到前驱液，然后再将前驱液通过超声雾化形成雾滴并沉积在基材上，然后在惰性气氛下进行热分解，制得掺杂二氧化钒薄膜。采用本发明专利技术的方法所制得掺杂二氧化钒薄膜，操作简单，表面均匀，可以应用于相变器件领域。可以应用于相变器件领域。可以应用于相变器件领域。

【技术实现步骤摘要】
一种掺杂二氧化钒薄膜及其制备方法和应用


[0001]本专利技术涉及新材料
，特别涉及一种掺杂二氧化钒薄膜及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]二氧化钒(VO2)是目前报道最多以及应用最广的一种钒氧化物，具有VO2(A)、VO2(B)、VO2(C)、VO2(D)、VO2(M)、VO2(R)、VO2(T)和VO2(P)等多种同素异构体。其中VO2(M)是目前研究最多的物相，自1959年MorinF.J.首次发现其具有半导体
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金属相变以来，己经证实光、热、电、应力等都可诱导VO2(M)发生相变，伴随晶体结构、电阻率、光学等特性的巨大变化。发生相变时其晶体结构从单斜相变成四方金红石相，电阻率发生3个数量级以上的突变，从相变前的半导体变成了金属；光学性能方面，相变前后也从对红外光的高透过变成了高反射。
[0003]当前，VO2主要以薄膜的形式应用于智能窗、光电开关、抗激光辐射和抗静电图层等领域，这些年来，科研工作者不断地对VO2薄膜的制备工艺和参数进行研究，调节其相变温度、红外调控能力以及光透过率等。目前，VO2薄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将钒盐溶于去离子水溶剂中，在搅拌状态下加入掺杂剂和成膜剂，得到充分分散的前驱体溶液；其中钒盐浓度为0.1～2mol/L，掺杂元素按照原子百分比为1～15at％添加，成膜剂按照质量的0.5～5wt％添加；通过超声喷雾的方式将获得的前驱体溶液形成雾滴并沉积在基材上；将喷有前驱体溶液的基材在惰性气氛或真空下进行煅烧，最终得到掺杂二氧化钒薄膜。2.根据权利要求1所述的一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，所述掺杂元素为钨、钼、铌、镧、铋、氟或锰其中一种或两种。3.根据权利要求1所述的一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，所述钒盐为草酸氧钒、二氯氧钒、醋酸氧钒、乙酰丙酮氧钒或乙二醇氧钒其中的一种。4.根据权利要求1所述的一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，所述成膜剂为聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚乙二醇或聚丙烯酸其中的一种。5.根据权利要求1所述的一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：文俊维，刘波，李德福，李文靓，
申请(专利权)人：成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司，
类型：发明
国别省市：