一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，包括底板、电路板、滑轨、传输插头、测量套组；底板上有多个开孔；开孔尺寸小于电路板尺寸；电路板固定连接在底板上；每个电路板中央固定连接有传输插头；滑轨呈直角螺旋状固定连接在电路板上；传输插头位于滑轨中心线上；测量套组包括测头、连接杆、传输插座；本装置可以多测头测量，提高测量效率的同时，在某个测头无法正常工作时，其他测头可替补工作，降低测量数据报废率；设置了滑轨可避免拆卸移位时对测头造成的功能性损伤，减少后续维护成本，并且调位更加灵活快捷。并且调位更加灵活快捷。并且调位更加灵活快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头


[0001]本技术涉及机械
，尤其涉及一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头。

技术介绍

[0002]微纳米测量技术主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术，与广义的测量技术相比，它具有被测量的尺度小以及以非接触测量手段为主等主要特点，常选用原子力显微镜进行测量工作，可在大气和液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测；原子力显微镜工作原理为：使用弹性悬臂(对微弱力非常敏感)上的针尖在样品表面作光栅式扫描，针尖与被测样品之间的作用力与距离有依赖关系，在恒力模式下针尖与样品之间作用力恒定，根据针尖上下运动的轨迹即可得到样品几何量相关信息，达到测量的目的。
[0003]现有技术公开的用于微纳米几何量测量的装置，大多数仅包含一个测头，在测量过程中需要悬臂频繁移动，一方面测量时间长，另一方面当测头在使用过程中损坏时，会导致测量数据作废重新来过，整体测量效率低；少部分多测头的测量装置，在检测不同尺寸的样品工件时需要拆卸测头调整位置，在拆卸过程中可能会对测头及悬臂造成功能性损伤，影响后续测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，其特征在于，包括底板(1)、电路板(2)、滑轨(3)、传输插头(4)、测量套组(5)；所述底板(1)上有多个开孔；所述开孔尺寸小于电路板(2)尺寸；所述电路板(2)固定连接在底板(1)上；每个所述电路板(2)中央固定连接有传输插头(4)；所述滑轨(3)呈直角螺旋状固定连接在电路板(2)上；所述传输插头(4)位于滑轨(3)中心线上；所述测量套组(5)包括测头(501)、连接杆(502)、传输插座(503)；装置使用时，所述测量套组(5)可根据测量样品的尺寸在滑轨(3)上滑动调整位置，达到不同的测量需求。2.如权利要求1所述用于微纳米几何量测量的阵列式测头，其特征在于，所述电路板(2)后侧焊接排针，排针从底板(1)开孔处露出，通过导线与后续的信号接收装置相连；所述电路板(2)与传输插头(4)通过内部线路相连传输数据；所述滑轨(3)上方与电路板(2)固定连接，下方开口宽度与测量套组(5)中连接杆(502)截面直径一致；所述滑轨(3)与连接杆(502)贴合，连接杆(502)可带动测量套组(5)在滑轨(3)上滑动；滑轨(3)的起点处可根据测量需求，随时增加或减少测量套组(5)数量；所述传输插头(4)的尺寸与测量套组(5)中传输插座(503)插孔尺寸吻合；所述传输插头(4)插入传输插座(503)后，传输插座...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑜，于佃清，王玥，姚兴宇，陈姗姗，张硕，
申请(专利权)人：辽宁省计量科学研究院，
类型：新型
国别省市：