一种单晶炉连续加料装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于单晶炉加料设备领域，具体为一种单晶炉连续加料装置及其使用方法，包括固定底板和输送软管，所述固定底板的顶端面上固定连接有装置外壳，所述装置外壳内安装有下料粉碎组件、高效研磨组件和循环输送组件，所述下料粉碎组件通过固定杆与高效研磨组件连接，所述高效研磨组件与循环输送组件相连接，解决了现有的单晶炉连续加料装置在使用过程中，虽能够进行连续加料，但在加料过程中，不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行便捷稳定的间歇等量下料，因此在加料过程中，不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行稳定配比使用，并且不能够有效避免一次性大量下料导致装置内部堵塞，或者石英坩埚内部原料溢出。或者石英坩埚内部原料溢出。或者石英坩埚内部原料溢出。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉连续加料装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及单晶炉加料设备领域，具体为一种单晶炉连续加料装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]半导体产业的快速发展促使单晶炉的生产具有连续性，高效性，且需要节省拉晶生产的成本，在单晶炉第一次投料时，由于硅料呈固态颗粒状，在石英坩埚内成堆积状态，但是在经过高温熔化后，多晶硅原料和掺杂剂变成液态，体积会比原来的固态的体积大幅缩小，石英坩埚的上部还会有很大的空间，这样会造成拉出的晶棒长度不够长，因此需要配合使用连续加料装置进行多次加料工作，多次加料可以在硅料融化成液体后，继续增加硅料，使石英坩埚内的硅液尽量盛满，这样可以在充分利用石英坩埚的体积，一次拉出长的硅棒，因为石英坩埚的一次使用寿命是200小时左右，在使用寿命内，可以多次加料，尽可能的拉出多根晶棒；而现有的单晶炉连续加料装置在使用过程中，虽能够进行连续加料，但在加料过程中，不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行便捷稳定的间歇等量下料，因此在加料过程中，不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行稳定配比使用，并且不能够有效避免一次性大量下料导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉连续加料装置，包括固定底板（1）和输送软管（8），其特征在于；所述固定底板（1）的顶端面上固定连接有装置外壳（2），所述装置外壳（2）内安装有下料粉碎组件（3）、高效研磨组件（5）和循环输送组件（6），所述下料粉碎组件（3）通过固定杆（4）与高效研磨组件（5）连接，所述高效研磨组件（5）与循环输送组件（6）相连接，所述输送软管（8）上固定连接有固定板（9），所述固定板（9）上转动连接有第一螺纹杆（10），所述第一螺纹杆（10）上螺纹连接有夹持板（11），所述固定底板（1）的顶端面上安装固定有液压杆（12），所述液压杆（12）的顶端固定连接有限位板（13），所述限位板（13）限位滑动连接在装置外壳（2）上，所述限位板（13）上固定连接有支撑杆（14），所述支撑杆（14）内螺纹连接有第二螺纹杆（15），所述第二螺纹杆（15）的底端转动连接有安装板（16），所述安装板（16）的底端面上安装固定有万向轮（17），所述下料粉碎组件（3）包括导向板（301），所述导向板（301）固定连接在装置外壳（2）内，所述导向板（301）上螺纹连接有往复丝杆（302），所述往复丝杆（302）的顶端连接在第一伺服电机（303）的输出端，所述第一伺服电机（303）固定连接在衔接架（304）的顶端，所述导向板（301）固定在装置外壳（2）内部中间部位，所述往复丝杆（302）的中心轴线与装置外壳（2）的中心轴线位于同一竖直中心线上。2.根据权利要求1所述一种单晶炉连续加料装置，其特征在于：所述衔接架（304）限位滑动连接在导向板（301）上，所述衔接架（304）的侧端开设有输送槽（305），所述装置外壳（2）内固定连接有存储箱（306），所述存储箱（306）对称分布在装置外壳（2）的两侧，所述存储箱（306）的底部侧端贯穿开设有下料槽（307），所述衔接架（304）的内部侧端面与导向板（301）的侧端面相贴合，所述衔接架（304）的侧端面与存储箱（306）的侧端面相贴合，所述输送槽（305）对称分布在衔接架（304）的两侧，所述输送槽（305）的底端面呈倾斜状，所述输送槽（305）的长度大于下料槽（307）的长度。3.根据权利要求2所述一种单晶炉连续加料装置，其特征在于：所述往复丝杆（302）的底端固定连接有转盘（308），所述转盘（308）上固定连接有粉碎刀片（309），所述转盘（308）的底端面上固定连接有固定杆（4），所述粉碎刀片（309）等角度分布在转盘（308）上，所述固定杆（4）的底部呈倾斜状。4.根据权利要求1所述一种单晶炉连续加料装置，其特征在于：所述高效研磨组件（5）包括研磨球（501）和研磨框（507），所述研磨球（501）固定连接在固定杆（4）的底端，所述研磨球（501）上开设有连接槽（502），所述连接槽（502）内固定连接有第一伸缩套杆（503），所述第一伸缩套杆（503）内固定连接有复位弹簧（504），所述第一伸缩套杆（503）的顶端固定连接有连接板（505），所述连接板（505）滑动连接在连接槽（502）内，所述连接板（505）上固定连接有第一研磨块（506），所述研磨球（501）的直径小于研磨框（507）的内径，所述连接槽（502）设置有两组，每组连接槽（502）设置有五个，两组连接槽（502）对称分布在研磨球（501）的上下两侧，五个连接槽（502）等角度分布在研磨球（501）上，所述连接槽（502）通过第一伸缩套杆（503）与第一研磨块（506）一一对应，所述第一研磨块（506）呈半圆球状，所述连接槽（502）的内部侧端面与连接板（505）的侧端面相贴合。5.根据权利要求4所述一种单晶炉连续加料装置，其特征在于：所述研磨框（507）固定连接在装置外壳（2）的内部底端面上，所述研磨框（507...

【专利技术属性】
技术研发人员：马君健，蔡一茂，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
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