一种含羧基的树脂酸金、负性光刻有机金浆料及其制备方法技术

一种含羧基的树脂酸金，如化学式（iii），其是由甲基丙烯酸和2

【技术实现步骤摘要】
一种含羧基的树脂酸金、负性光刻有机金浆料及其制备方法


[0001]本专利技术属于集成电路制造业用电子浆料
，涉及一种含羧基的树脂酸金、负性光刻有机金浆料及其制备方法。

技术介绍

[0002]微电子产品小型化、轻量化的要求，促使电子封装技术向高集成度、高封装密度的方向发展，这就要求电路中导体线条和线间距越来越小、分辨率越来越高。丝网印刷的极限分辨率为40~50
µ
m，如何升级印刷工艺达到更高的精度和分辨率将会成为产业最重要的技术高地。研究者发现将光刻技术与印刷工艺相结合是提高电极精度的有效的解决方案。方案之一是先将浆料烧结在基底上，随后在其表面覆盖光刻胶，经过光刻工艺等一系列流程得到精细的电极图形（一种通过光刻工艺实现细线宽的厚膜布线技术[J].微电子学,2002(06):435
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437）。另一种方案则是直接赋予了浆料光刻胶的性能，将感光金属浆料均匀涂抹在板上后，用光刻形成所需的图案，最后烧结形成图案（CN201080027528.8）。相对于先烧结后光刻的方案，能够直接进行光刻的感光浆料更具优势。目前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含羧基的树脂酸金，其特征在于，化学式如（iii）所示：其中，n1、n2、n3的和为50~300的整数，n1与n2、n3的和的比值为1：9~5：5，其中，n2可以为0，n2和n3的比值为0：10~7：3。2.一种权利要求1所述的含羧基树脂酸金的制备方法，包括如下步骤：步骤1：制备2
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甲基
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丙烯酸噻喃基甲基酯，其化学式如（i）所示：将硫氰化钾溶解在水中，滴加甲基丙烯酸缩水甘油酯的乙醇溶液，反应结束后用萃取剂萃取反应液，萃取液经过洗涤干燥之后，经柱色谱提纯得到（i）；步骤2：制备甲基丙烯酸和2
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甲基
‑2‑
丙烯酸噻喃基甲基酯的共聚物，其化学式如（ii）所示：将甲基丙烯酸和步骤1所得到的2
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甲基
‑2‑
丙烯酸噻喃基甲基酯溶解在甲苯中，滴加偶氮二异丁基的甲苯溶液，80℃反应，反应过程中通氮气保护，反应结束后将反应液倾入甲醇中，过滤、洗涤、干燥得到（ii），其中，n1与n2的和为50~300之间的整数，n1与n2的比值为10：90~50：50；步骤3：制备树脂酸金，其化学式如（iii）所示：将四氯金酸铵溶解在四氢呋喃中，滴加步骤2所得到的（ii）的四氢呋喃溶液，反应结束后将反应液倾入乙醇中，将析出的胶状物依次用热水、乙醇洗涤三次得到褐色粉状物，过滤、干燥得到树脂酸金，其中，n1、n2、n3的和为50~300的整数，n2可以为0，n1：（n2+n3）为10：90~50：50，n2：n3的比值为0：10~7：3。
3.根据权利要求2所述的制备方法，步骤1中，硫氰化钾与甲基丙烯酸缩水甘油酯的摩尔比为3：1~2：1，反应时间为24~48h，反应温度30℃~70℃；步骤2中，甲基丙烯酸与2
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甲基
‑2‑
丙烯酸噻喃基甲基酯的摩尔比...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛探龙，陈峤，罗君，杨志民，赵彦弘，王琰诏，史琦，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：