带有预先对准调节光学器件的显微镜制造技术

一种用于检查样本的显微镜，其被配置为接收第一光源或第二光源。第一光源被配置为通过第一光瞳发射第一输出光，并且第二光源被配置为通过不同于第一光瞳的第二光瞳发射第二输出光。该显微镜包括框架、源物镜以及第一和第二光学组件。第一和第二光学组件可拆卸地连接到框架。第一光学组件包括第一组光学元件，其被配置为将第一输出光传递到源物镜的成像光瞳，第二光学组件包括第二组光学元件，其被配置为将第二输出光传递到成像光瞳。置为将第二输出光传递到成像光瞳。置为将第二输出光传递到成像光瞳。

【技术实现步骤摘要】
带有预先对准调节光学器件的显微镜


[0001]本公开一般涉及显微镜，更具体地，涉及具有预先对准调节光学器件以适应多个光输入源的显微镜系统和方法。

技术介绍

[0002]光谱仪(有时称为分光镜)是一种仪器，其中固体、液体或气体样本被照射，通常使用不可见光，例如光谱的红外区域中的光照射。然后捕获并分析来自样本的光以揭示有关样本特征的信息。例如，可以用在波长范围内具有已知强度的红外光照射样本，然后可以捕获由样本透射和/或反射的光以与照射光进行比较。然后研究捕获的光谱(例如，光强度与波长数据关系)可以说明样本吸收照射光的波长，这又可以产生关于样本中存在的化学键以及因此它的组成和其他特征的信息。为了说明，从已知组成的参考样本获得的光谱库是可用的，并且通过将测量的光谱与这些参考光谱进行匹配，然后可以确定从中获得测量光谱的样本的组成。
[0003]光谱显微镜包括光谱仪和光学显微镜，它们将进行光谱测量的能力结合到光学显微镜中。因此，用户可以使用光谱显微镜来查看样本上感兴趣区域的图像(通常以放大形式)，并且还从感兴趣区域上的一个或多个位置获得光谱数据。光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检查样本的显微镜，所述显微镜被配置为接收第一光源或第二光源，第一光源被配置为通过第一输出光瞳发射第一输出光，并且第二光源被配置为通过第二输出光瞳发射第二输出光，所述显微镜包括：框架；与所述框架可固定连接的源物镜；第一光学组件，其包括：第一板，其被配置为可拆卸地连接到所述框架，以及第一组光学元件，其被配置为将第一输出光传递到所述源物镜，其中第一组光学元件可固定地定位在第一板上以将第一光源的第一输出光瞳与所述源物镜的成像光瞳光学对准；和第二光学组件，其包括：第二板，其被配置为可拆卸地连接到所述框架，以及第二组光学元件，其被配置为将第二输出光传递到所述源物镜，其中第二组光学元件可固定地定位在第二板上以将第二光源的第二输出光瞳与所述源物镜的所述成像光瞳光学对准。2.根据权利要求1所述的显微镜，其中离开所述第一光学组件的光和离开所述第二光学组件的光具有相同的共轭距离和准直。3.根据权利要求1或2所述的显微镜，其中所述第一组光学元件和所述第二组光学元件包括至少一个具有离轴非球面的反射器。4.根据权利要求1所述的显微镜，还包括至少一个反射器，所述至少一个反射器可固定地连接到所述框架以使从所述第一光学组件或所述第二光学组件发射的光朝向所述源物镜传递。5.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述源物镜将光导向样本。6.根据权利要求5所述的显微镜，还包括可固定地连接到所述框架的检测器，用于收集穿过所述样本的光。7.根据权利要求1所述的显微镜，其中第一输出光和第二输出光是红外光。8.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述第一光源和所述第二光源中的至少一个输出调制光。9.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述显微镜是分光显微镜。10.根据权利要求1所述的显微镜，其中第一组光学元件和第二组光学元件中的至少一个包括第一凹面反射器和第二凹面反射器以及凸面反射器，其中第一输出光或第二输出光依次到达所述第一凹面反射器、所述凸面反射器和所述第二凹面反射器。11.一种用显微镜检查样本的方法，所述方法包括：将第一光源可拆卸地连接到所述显微镜的框架；通过将第一光学组件的第一板可拆卸地连接到所述框架，将第一光学组件可拆卸地连接到所述显微镜的框架，其中第一光学组件包括可固定地定位在第一板上的第一组光学元件，以及第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y，
申请(专利权)人：热电科学仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：