激光干涉仪制造技术

本发明专利技术提供激光干涉仪，能够实现光学系统的小型化及对准作业的容易化。激光干涉仪的特征在于具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，使用振动元件对第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光；受光元件，接收第二激光及第三激光并输出受光信号，第三激光包含第一激光被测定对象物反射而生成的采样信号；光耦合器，具有使第一激光分叉的功能、以及使第二激光与第三激光的合流光分叉的功能；第一准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第二准直器，使被光耦合器分叉的第一激光平行化；第一光布线；第二光布线；第三光布线；以及第四光布线。以及第四光布线。以及第四光布线。

【技术实现步骤摘要】
激光干涉仪


[0001]本专利技术涉及激光干涉仪。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，作为测定物体的振动速度的装置，公开了激光振动仪。在该激光振动仪中，向被测定物照射激光，根据受到多普勒频移的散射激光测量振动速度。
[0003]具体而言，专利文献1所记载的激光振动仪具备像压电元件这样的振动元件。振动元件根据振动频率而使激光的频率偏移。另外，被测定物也根据其振动状态而使激光的频率偏移。在振动元件及被测定物中分别受到频移的光作为返回光返回到半反射镜。在半反射镜中，使返回光反射而射入光检测器，并将激光的一部分反射，在反射镜中反射后再次透过，作为参照光射入光检测器。而且，利用光检测器对返回光和参照光进行光混合，电性取出拍频。然后，通过调频波解调器和信号处理装置检测被测定物的振动作为频率的位移，并进行数值化。
[0004]专利文献1所记载的激光振动仪具备像射出激光的半导体激光器、半反射镜、偏振分束器、λ/4板、反射镜、振动元件、光检测器这样的光学要素。其中，偏振分束器使从激光器射出的光透过而射入振动元件之后使其反射，射入被测定物，进而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，使用所述振动元件对所述第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光；受光元件，接收所述第二激光及第三激光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被测定对象物反射而生成的采样信号；光耦合器，所述第一激光、所述第二激光以及所述第三激光射入所述光耦合器，所述光耦合器具有使所述第一激光分叉的功能、以及使所述第二激光与所述第三激光的合流光分叉的功能；第一准直器，使被所述光耦合器分叉出的一方的所述第一激光平行化，并朝向所述光调制器射出；第二准直器，使被所述光耦合器分叉出的另一方的所述第一激光平行化，并朝向所述测定对象物射出；第一光布线，将所述激光光源与所述光耦合器光学连接，使从所述激光光源射出的所述第一激光射入所述光耦合器；第二光布线，将所述受光元件与所述光耦合器光学连接，使被所述光耦合器分叉的所述合流光射入所述受光元件；第三光布线，将所述第一准直器与所述光耦合器光学连接；以及第四光布线，将所述第二准直器与所述光耦合器光学连接。2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，所述光耦合器是光纤型耦合器，所述第一光布线、所述第二光布线、所述第三光布线以及所述第四光布线是光纤。3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪具有：可动的传感器头部；以及主体部，所述激光光源、所述光调制器、所述受光元件、所述光耦合器、所述第一准直器以及所述第二准直器设置于所述传感器头部。4.根据权利要求3所述的激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪具备设置于所述传感器头部的载置用基板，所述激光光源、所述光调制器、所述受光元件、所述光耦合器、所述第一准直器以及所述第二准直器载置于所述载置用基板。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：林畅仁，山田耕平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：